1. Toshinari Ueyama
    DPS2016 Young Researcher Award
    38th international Symposium on Dry Process, 2016年11月21-22日
  2. Takayoshi Tsutsumi
    Award of Encouragement of Research
    The 26th annual meeting of MRS-J, Yokohama, Japan, December 19-22, 2016
  3. 古田凌
    講演奨励賞
    第34回プラズマプロセシング研究会(SPP34)/第29回プラズマ材料科学シンポジウム,2017年1月18日
  4. 古田凌、石川健治
    注目講演,16a-313-7
    第64回応用物理学会春期学術講演会, 2017年3月14-17日
  5. Timothy Brubaker
    Best presentation award, 04aB08O
    ISPlasma2017/IC-PLANTS2017, March 1 - 5, 2017
  6. Naoyuki Kurake
    APEX spotlights
    Appl. Phys. Express 9 096201, Aug. 4, 2016
  7. Naoyuki Kurake
    Excellent student Award
    IEEE Nagoya Section, March 2017
  8. 市川 知範
    電気学会東海支部長賞
    2017年3月1日