1. Home
  2. 実績
  3. 受賞
  4. 2007年度

2007

  1. 山本 洋(Hiroshi YAMAMOTO)
    H2プラズマによるSiOCH低誘電率膜へのダメージ評価とダメージ発生機構の解明
    2007年秋季第68回応用物理学会学術講演会
    応用物理学会講演奨励賞受賞
  2. Wakana Takeuchi
    The 5th International Symposium on Advanced Plasma Processes and Diagnostics & the 1st International Symposium on Flexible Electronics Technology
    Best Student Oral Presentation Award

(c)2024 石川・田中研究室