- 関根誠
第15回（2021年度）応用物理学会フェロー表彰「超LSI製造用反応性プラズマエッチング技術の研究開発」
2021年9月21日
- 岩田直幸
優秀講演賞(応用物理学会プラズマエレクトロニクス分科会）
2021年3月17日
- 羽澄匡広
ISPlasma 2021/IC-PLANTS 2021 優秀ショートプレゼン賞
2021年3月11日
- Thi-Thuy-Nga Nguyen
ISPlasma 2021/IC-PLANTS 2021 優秀講演賞
2021年3月11日
- 岩田直幸
ISPlasma 2021/IC-PLANTS 2021 優秀講演賞
2021年3月11日
- 堀 勝
DPS（International Symposium on Dry Process) Nishizawa Award 2020
2021年11月18日
- 大村 光広、橋本 惇一、足立 昴拓、近藤 祐介、石川 勝朗、阿部 淳子、酒井 伊都子、林 久貴、関根 誠、堀 勝
DPS2020 DPS Paper Award
2021年11月18日