博士論文
- 山川 晃司(Koji YAMAKAWA)
- Studies on Development of Microwave Excited Non-equilibrium Atmospheric Pressure Plasma Source and Its Application to Material Processing
修士論文
- 石田 哲朗
- VHF容量結合型プラズマを用いた有機ELデバイス用パッシベーション膜の低温形成に関する研究
- 田村 永児
- VHF60MHzプラズマMOCVDによるMOSゲート絶縁膜HfAlYOの形成
- 堀 直樹
- UHF SiH4/H2 プラズマを用いた有機フィルム上への微結晶シリコン薄膜の形成に関する研究
- 毛利 悠平
- 新規ラジカルビーム装置の構築とエッチングプロセスへの応用
- 山本 昌宏
- パルス変調 UHF SiH4/H2 プラズマCVDによる発光デバイス用ナノ結晶シリコンの高速堆積に関する研究
卒業論文
- 青山 健太郎
- UHF SiH4/H2プラズマ中の気相計測による多結晶シリコン薄膜の形成機構の解明
- 野呂 優樹
- 高密度容量結合プラズマにおけるフルオロカーボンラジカルの温度測定に関する研究
- 町野 琢磨
- 超臨界CO2を用いたカーボンナノウォールの燃料電池応用に関する研究
- 松原 丈晃
- VHF容量結合型プラズマを用いた保護膜の有機ELデバイスへの応用