| 乾 裕俊 (Hirotoshi INUI) |
Studies on Surface Treatments Using Nonequilibrium High Density Atmospheric Pressure Plasmas 高密度大気圧非平衡プラズマを用いた表面処理に関する研究 |
| 山口 剛 (Tsuyoshi YAMAGUCHI) |
Advanced Laser Applications for New Process Technologies and Diagnostics of Reactive Plasmas 反応性プラズマの新プロセス技術と気相診断のための先進レーザ応用） |
| 高橋 俊次 (Toshitsugu TAKAHASHI) |
将来の超大規模集積回路製造における絶縁膜のための環境調和型プラズマエッチング装置に関する研究 |
| 川嶋 翔 | 水素ラジカル注入型プラズマ源を用いた微結晶シリコン薄膜作製における気相解析及び膜質評価に関する研究 |
| 木野 徳重 | プラズマ化学気相堆積法を用いた太陽電池用カーボン薄膜の結晶構造及び電気的特性の制御 |
| 下枝 弘尚 | プラズマ照射によるカーボンナノウォールの微細加工及びナノ構造制御に関する研究 |
| 鈴木 俊哉 | サブナノメーター制御される微細加工技術の構築とその主要因子の解明に関する研究 |
| 浅野 高平 | プラズマアッシングにおける多孔質低誘電率層間絶縁膜の表面反応機構に関する研究 |
| 安 ミンヨン | グリーンエッチングプロセス中の気相粒子計測 |
| 九鬼 淳 | プラズマ励起化学気相堆積プロセスにおけるアモルファスカーボン膜の光学的・電気的特性制御 |
| 古室 達也 | DCバイアス重畳二周波容量結合型プラズマにおけるエッチング反応機構に関する研究 |
| 米谷 亮祐 | 窒化ガリウム（GaN）のダメージフリー加工実現に向けた表面反応機構に関する研究 |
| 福島 敦史 | SiH4/H2プラズマ化学気相堆積法における気相ラジカルのシリコン薄膜結晶性への影響に関する研究 |
| 堀部 剛良 | 超臨界プロセスを用いた機能性ナノ微粒子の合成と評価 |