博士論文

堤 隆嘉 Study on atomic-scale plasma process based on substrate-temperature control by frequency-domain low-coherence interferometry
周波数領域型低コヒーレンス干渉を用いた基板温度制御による原子スケールでのプラズマ加工プロセスに関する研究
近藤 祐介 Studies on control of active species and design of gas molecules for etching of dielectric films in fluorocarbon and related-gas plasmas
ガスデザインによるフルオロカーボンプラズマ中の活性種及び絶縁膜エッチング特性の制御

修士論文

梁 思潔 バイオ医療創成に向けたAC励起非平衡大気圧プラズマ中の活性種生成機構の解明
張 彦 超微細エッチングプロセスにおけるプラズマ誘起レジスト表面反応機構の解明とその制御
天野 智貴 液中プラズマ法を用いたナノグラフェンの高速合成と燃料電池への応用に関する研究
中村 将之 プラズマ化学気相堆積法によるアモルファスカーボン膜の成膜とその電気的特性に関する研究
加古 隆 次世代GaNパワーデバイスのダメージレスエッチングとその反応機構の解明
徐 達 プラズマ化学成長法によるフッ素化アモルファスカーボン膜の成長と太陽電池への応用
三輪 佳大 高効率薄膜太陽電池作製に向けたラジカル制御プラズマ化学気相成長法の開発とその成膜機構の解明

卒業論文

高井 慎之介 ラジカル支援有機金属化学気相成長法による高品質Ⅲ族窒化物の低温成長に関する研究
吉武 尚輝 反応性イオンエッチングによるガラス基板の高精度加工とバイオナノデバイス応用に関する研究
古田 凌 マルチプレックスコヒーレントアンチストークスラマン散乱顕微鏡を用いたプラズマ誘起生体組織の挙動解析に関する研究
佐藤 俊一 太陽電池応用に向けたフッ素化アモルファスカーボンの微細構造制御とその電気特性に関する研究
栗原 卓也 液中プラズマを用いた燃料電池用白金代替触媒微粒子の合成とその電気化学特性に関する研究
戸波 卓也 高速液中原子間力顕微鏡を用いたプラズマ照射液中における脂質二重膜の形態変化に関する研究
内藤 建一 遷移金属微粒子とカーボンナノウォールの複合材料の合成とその燃料電池触媒への応用に関する研究