| 竹内 和歌奈 (Wakana TAKEUCHI) |
Studies on Synthesis of Carbon Nanowalls Using Plasma Enhanced Chemical Vapor Deposition and Their Electrical Properties |
| 大岩 徳久 (Tokuhisa OIWA) |
超大規模集積回路製造における絶縁膜のプラズマエッチングに関する研究 |
| 伊藤 治彦 (Haruhiko ITO) |
低圧誘導結合型プラズマを用いたダイヤモンド形成と炭素原子の挙動に関する研究 Study on diamond formation and behaviors of carbon atoms in low-pressure inductively coupled plasma |
| 安藤 賢一 | レーザートムソン散乱法を用いた二周波容量結合プラズマにおける電子の挙動に関する研究 |
| 柏原 雅好 | カーボンナノウォールの電気伝導特性とその制御に関する研究 |
| 柴田 英美 | 新規フルオロカーボンガスプラズマによる超大規模集積回路層間絶縁膜エッチングプロセスに関する研究 |
| 山本 洋 | 超大規模集積回路におけるSiOCH低誘電率膜へのプラズマダメージ発生機構の解明 |
| 伊谷 佳泰 | カーボンナノウォール成長機構に関する研究 |
| 川嶋 翔 | 60MHz VHF SiH4/H2プラズマ中のHラジカルの挙動に関する研究 |
| 木野 徳重 | 大気非平衡プラズマを用いたアモルファスカーボン膜の成膜と水素添加効果に関する研究 |
| 黒田 俊之 | CF4/N2系大気圧非平衡リモートプラズマを用いた有機材料表面の改質とその反応機構に関する研究 |
| 下枝 弘尚 | 次世代電界効果トランジスタに向けたカーボンナノウォールデバイス作製に関する研究 |
| 鈴木 俊哉 | ポーラスSiOCH膜の大気曝露ダメージに関する研究 |