| 岩崎 正博 | Studies on Etching and Surface Modification Processing Using Nonequilibrium Atmospheric-Pressure Remote Plasma |
| 原 安寛 | Development of Low Energy Beam Source and Application to Damageless Surface Modification Processes |
| 大林 友視 | カーボンナノウォールからの電界放出とその表面処理効果に関する研究 |
| 河野 悟司 | 量産型300mmエッチング装置によるフルオロカーボンプラズマ中のラジカルの挙動に関する研究 |
| 近藤 真悟 | カーボンナノウォールの初期成長過程の解明に関する研究 |
| 佐々木 元 | ULSI配線形成におけるプラズマプロセス誘起low-k膜ダメージ解析及びその修復に関する研究 |
| 高橋 栄治 | パルス変調UHF SiH4/H2プラズマによるナノ結晶シリコンの室温高速堆積に関する研究 |
| 丸山 茂敏 | カーボンナノウォールの高速成長およびに形状制御に関する研究 |
| 李 明龍 | VHF容量結合型プラズマを用いたSiN膜の低温形成及び有機ELへの応用に関する研究 |
| 町野 琢磨 | 超臨界CO2を用いたカーボンナノウォールへの新規白金ナノ粒子担持法に関する研究 |
| 阿部 祐介 | ラジカルプロセス装置における水素ラジカルの挙動に関する研究 |
| 黒田 裕樹 | 有機low-k膜の超微細エッチングに関する研究 |
| 木村 哲也 | 300mmエッチング装置によるフルオロカーボンプラズマ中のチャンバー内壁の影響に関する研究 |
| 斉藤 良太 | 有機low-k膜のエッチング基礎反応過程の解明に関する研究 |
| 竹内 拓也 | ATRを用いた発光性シリコンナノ微粒子の結合状態の解明に関する研究 |
| 松平 雄人 | 新規な超高密度非平衡大気圧リモートプラズマ中の酸素原子ラジカル絶対密度計測に関する研究 |
| 三國 裕之 | カーボンナノウォールの選択成長に関する研究 |