博士論文

今村 翼 先端LSI製造プロセスにおけるO2, CO2, およびCOプラズマを利用したドライエッチングに関する研究
Study on dry etching using O2, CO2, and CO plasma for advanced LSI fabrication process
佐藤 陽介 ガス解離過程の解明に向けた大気圧低温プラズマの研究
Study on low-temperature atmospheric pressure plasma towards elucidation of gas decomposition process
佐藤 陽一郎 レーザーによるガラス貫通電極の形成とその応用に関する研究
Study of Through Glass Via Formation by Laser and Its Applications
大村 光広 3次元メモリデバイス製造における絶縁膜のドライエッチングに関する研究
Study on Dry Etching of Dielectric Films for 3D Memory Device
佐々木 俊行 先端LSI製造プロセスにおける塩素含有プラズマ及びフルオロカーボンを用いた難エッチング材料のドライエッチングに関する研究
Study on dry etching of difficult etching materials using chlorine-containing plasma and fluorocarbon plasma for advanced LSI fabrication process

修士論文

酒井 流星 カーボンナノウォールの構造制御と次世代ナノバイオデバイス応用に関する研究
須田 雄貴 プラズマ活性リンゲル液による細胞応答と抗腫瘍効果物質の解明
森山 達行 日常生活空間洗浄に向けた大気圧プラズマによる臭気物質の室温分解に関する研究
羽澄 匡広 低温領域におけるガス凝縮層を用いたシリコン酸化膜エッチングプロセスに関する研究
尾﨑 敦士 カーボンナノウォールにおける局所微細領域の結晶構造と電子物性に関する研究
織田 祥成 シランカップリング剤の表面吸着反応を用いた高選択性原子層エッチングに関する研究
松村 翔伍 非平衡大気圧プラズマ処理による出芽酵母の発酵能向上と細胞応答メカニズムの解明

卒業論文

小椋 遼 液中プラズマ法を用いた白金代替触媒カーボンナノ材料合成及び窒素比制御による触媒活性発現機構の解明
射場 信太朗 初期成長制御による配向カーボンナノウォールの創成と成長メカニズムの解明
柏倉 慧史 流液システム導入による高効率プラズマ照射溶液作製とその抗腫瘍効果メカニズムの解明
五藤 大智 非平衡大気圧プラズマを用いたポリエチレンテレフタラート生分解活性の向上とメカニズムの解明
橋本 拓海 高機能抗菌素材の創成に向けたカーボンナノウォール側壁の微細構造の解明及び制御
南 吏玖 GaNの原子層エッチングにおけるイオン衝撃によるダメージに関する研究