博士論文

下枝 弘尚 ラジカルとの表面反応によるカーボンナノウォールの構造制御に関する研究
Study on structural control of carbon nanowalls by surface reaction with radicals
鈴木 俊哉 ナノメータ精度加工に向けた自律制御プラズマエッチングプロセスに関する研究
Studies on Plasma Etching Process Based on Autonomous Control for Nano-meter Fabrication
盧 翌
Lu YI
次世代窒化ガリウム系デバイスのためのプラズマ励起有機金属化学気相成長法に関する研究
Study on plasma-enhanced metal-organic chemical vapor deposition for future gallium nitride devices
趙 亨峻
Hyung Jun CHO
電子デバイス応用に向けたカーボンナノウォールのエッジ処理を用いた電気特性ならびに構造の制御
Edge termination effects on electrical characteristics of carbon nanowalls (CNWs) for their electronic device applications
林 和夫 中・高気圧放電の基礎と応用機器の性能向上に関する研究

修士論文

曹 佳棟
Jiadong CAO
窒化ガリウム系化合物半導体の低ダメージエッチングプロセスに関する研究
孫 昿達
Kuangda SUN
大気圧非平衡プラズマ支援ミスト化学気相堆積法を用いたプリンタブルエレクトロニクス用材料プロセスに関する研究
劉 沢鋮
Zecheng LIU
Studies on Damageless High Temperature Plasma Etching Processes and Recovery of Plasma-Induced Damage on Gallium Nitride
王 浩然
Hao WANG
実時間電子スピン共鳴法を用いたフルオロカーボンプラズマによるポリマーの表面反応に関する研究

卒業論文

今井 駿 燃料電池応用に向けた触媒微粒子担持カーボンナノウォールの電気化学特性に関する研究
岩本 一希 次世代GaN系パワーデバイス開発のためのREMOCVDに関する研究
熊倉 匠 非平衡大気圧プラズマ中の活性種が与える生体成長への影響に関する研究
倉家 尚之 プラズマ培養液による選択的アポトーシス誘導プロセスに関する研究
杉浦 啓嗣 STEM-EELS法を用いた太陽電池向けアモルファスカーボン膜の微細構造の解明
福永 裕介 自律制御システムによるサブnm精度の有機材料エッチングに関する研究