博士論文

酒井 流星 Study on structure control of carbon nanowalls and their application to next-generation nano-biodevices
カーボンナノウォールの構造制御と次世代ナノバイオデバイスへの応用に関する研究
孫 昿達 (Kuangda SUN) Study on the etching process of silicon oxide films by cyclic ion irradiation onto a cryogenic condensed etchant layer
シリコン酸化膜の極低温エッチャント凝集層へのサイクルイオン照射によるエッチングプロセスに関する研究
吉江 泰斗 Study on precise control and reaction mechanism for fabrication of High Aspect Ratio feature of silicon Etching by C4F8 and SF6 Gas Modulation Cycle Process using argon plasma
シリコンに高アスペクト比構造を形成するアルゴンプラズマへのC4F8とSF6の交互導入時の遷移過程に生じる反応機構の解析とその制御手法に関する研究
小野 浩毅 Study on the application of silicon carbide as an electrode material for biomedical use
杜 荔茵 (Liyin DU) Study on cancer therapy based on exosomal RNA alterations induced by low-temperature plasma activated solution

修士論文

来島 拓海 プラズマエッチングにおけるフッ素系化学種の付着確率定量化に基づく高アスペクト比構造内輸送機構の解明
平井 俊也 低温下での塩素ラジカル照射、加熱及び水素ラジカル照射時の窒化チタン表面反応機構の解明
土岡 柊斗 SF6・O2プラズマにおける活性種バランス解析に基づくSiトレンチ形状の動的制御エッチングに関する研究
大矢 拓人 ダイヤモンドエッチングにおけるプロセスパラメータとトレンチ形状の相関の評価
髙橋 康太朗 機械学習を用いた発光スペクトルによるメタン水素の混合プラズマのラジカル量の推定手法の研究
山田 真帆
葛 紹云 (Shaoyun Ge)

卒業論文

伊藤 滉 次世代トランジスタへの応用に向けた窒化タンタルの等方性原子層エッチングに関する研究
岩田 大和 Si/SiGe のプラズマ表界面反応特性に関する研究
山下 達也 プラズマで生成される粒子の高アスペクト比ホールにおける輸送機構の研究
森田 光翔 プラズマ活性乳酸リンゲル液と抗がん剤の併用による殺傷効果増強とメカニズムの解明
河地 恵努 プラズマ活性化水がゼブラフィッシュの成長に及ぼす作用機序の解析