2006 - 石川・田中研究室

竹田　圭吾	Studies on Diagnostics of Activated Species in Reactive Plasmas and Their Applications to Nano and Micro Fabrications
奥村　智洋	高密度プラズマ源の開発とエッチングプロセスへの応用に関する研究

浦　雅登

カーボンナノウォールの作製と電気的特性の評価に関する研究

伊藤　優

パルス変調UHF SiH₄/H₂プラズマによる発光性ナノ結晶シリコンの高速堆積に関する研究

今枝　弘幸

ラジカル注入型SiH₄/H₂プラズマによる微粒子シリコン薄膜の形成に関する研究

林　孝之

代替フルオロカーボンガスによるlow-k膜エッチングプロセスに関する研究

松原　丈晃

VHF容量結合型プラズマを用いたSiN膜低温形成及び有機EL素子の応用に関する研究

安藤　賢一

レーザートムソン散乱法を用いた量産型300mmエッチング装置における電子の挙動に関する研究

柴田　英美

VHF容量結合プラズマを用いた代替フルオロカーボンガスによるポーラスlow-k膜エッチングプロセスに関する研究

山本　洋

100MHz容量結合型水素・窒素混合ガスプラズマエッチングプロセスに関する研究