| 伊澤 勝 (Masaru IZAWA) |
プラズマエッチングにおける加工制御メカニズムの研 |
| 内田 三郎 (Saburo UCHIDA) |
大規模集積回路プロセスにおける低誘電率膜のエッチング基礎反応に関する研究 |
| 近藤 真悟 (Shingo KONDO) |
Studies on Growth Mechanism of Carbon Nanowalls Formed by Plasma-enhanced Chemical Vapor Deposition |
| 文 昶盛 (Chang Sung MOON) |
Studies on Advanced Plasma Processing for Etching and Deposition Technologies in Fabrication of Microelectronics |
| 阿部 祐介 | 薄膜シリコン太陽電池プロセスプラズマにおける水素ラジカルの挙動に関する研究 |
| 木村 哲也 | 直流バイアスを印加した超高周波容量結合型エッチングプラズマの挙動に関する研究 |
| 黒田 裕樹 | 超大規模集積回路の配線形成におけるラジカル制御超微細エッチングに関する研究 |
| 竹内 拓也 | プラズマエッチングにおけるフォトレジスト表面反応基礎過程に関する研究 |
| 陳 尚 | 高密度ラジカルソースの開発及びSiの欠陥修復への応用 |
| 間瀬 航太 | 超臨界流体を用いたカーボン構造体への白金微粒子合成法に関する研究 |
| 松平 雄人 | 60Hz交流電源を用いた新規大気圧非平衡プラズマによるアモルファスカーボン膜の作製および評価 |
| 三国 裕之 | 単一カーボンナノウォールの作製と電気伝導特性評価 |
| 宮脇 雄大 | 低誘電率層間絶縁膜エッチングにおけるダメージメカニズムに関する研究 |
| 尼﨑 新平 | 超高精度Siプラズマエッチングのための気相及び表面反応過程に関する研究 |
| 加藤 正規 | 非平衡大気圧プラズマにおける原子状ラジカルの挙動とその表面反応に関する研究 |
| 神田 貴幸 | カーボンナノウォールの選択成長とその機構に関する研究 |
| 近藤 祐介 | ULSI低誘電率層間絶縁膜のプラズマエッチングにおける新規ガスケミストリーの構築に関する研究 |
| 鷲見 直也 | レーザートムソン散乱を用いた高精度プラズマエッチングにおける電子密度およびエネルギー分布の計測に関する研究 |
| 安田 幸司 | イオン、ラジカル独立照射によるカーボンナノウォールの成長とその機構解明に関する研究 |