博士論文

劉 沢鋮
Zecheng LIU
次世代パワーデバイスにおける窒化ガリウムの低ダメージ加工に向けた高温プラズマエッチングに関する研究
Study on plasma etching of GaN at high temperatures for damageless fabrication of next-generation power devices
倉家 尚之 非平衡大気圧プラズマ照射培養液内における 生体および化学反応に関する研究
Study on biomedical and chemical reactions in culture medium irradiated with non-equilibrium atmospheric pressure plasmas
大矢 欣伸 半導体エッチング装置における高周波と直流の重畳印加によるフルオロカーボンガスプラズマの特性及び酸化膜のエッチングメカニズムに関する研究
Study on Characteristics of Fluorocarbon Gas Plasma with Superposition of Radio Frequencies and Direct Current and Etching Mechanisms of SiO2 in Semiconductor Etching Equipment

修士論文

浅野 敦紀 電子デバイス材料の高精度・低損傷エッチングに向けた表面反応素過程に関する研究

佐藤 俊一

ラジカル注入型プラズマ支援化学気相堆積法における時間変調プロセスによるアモルファスカーボン膜の微細構造および電子物性の制御に関する研究
高井 慎之介 ラジカル支援有機金属化学気相成長法による窒化インジウムの低温結晶成長に関する研究
田中 彗貴 カーボンナノウォール足場上での電気刺激重畳による細胞応答制御に関する研究
戸波 卓也 プラスマ活性培養液が生体材料表面に誘起する形態変化の液中高原子間力顕微鏡による動的観察と反応ダイナミクスの解明
内藤 建一 次世代高効率燃料電池の実現に向けたカーボンナノウォール触媒電極のナノ構造制御と表面反応機構の解明
古田 凌 プラズマ誘起細胞応答の分子イメージングによる動的解析
吉武 尚輝 プラズマによるガラス基材の加工とバイオデバイスへの応用

卒業論文

市川 知範 高効率分化誘導の実現に向けたカーボンナノウォール上での細胞接着機構の解明
勝野 楓 バイオ応用を目指した高電子密度プラズマ源の開発
武田 直己 絶縁膜エッチング用ハイドロフルオロカーボンの高性能代替ガスの研究
細井 祐吾 プラズマ活性培養液内の活性酸素窒素種制御と細胞応答の解明
村上 開士 1細胞分析デバイス応用のためのガラス微細加工における流体現象に関する研究
山岡 壮太郎 プラズマ活性培養液が生細胞表面のレオロジーに及ぼす影響の解明