博士論文

福水 裕之 アルミニウム化合物を用いた半導体デバイス製造工程における原子層プロセスに関する研究
Study on atomic layer process of Aluminum compounds for semiconductor device fabrication
谷出 敦 GaNの新しいプラズマ成膜及びエッチングに関する研究
Study on new plasma processes for growth and etching of GaN thin films
磯部 康裕 窒化物半導体パワーデバイスの高性能化とプラズマによる低温成膜技術に関する研究
Study on Performance Enhancement of GaN Power Devices and the Low Temperature Plasma Process Technologies
篠田 和典 高精度等方性エッチングとその半導体デバイス製造への応用に関する研究
Studies on precisely controlled isotropic etching and its application to semiconductor device fabrication

修士論文

大橋 靖之 プラズマ励起化学気相堆積において水素ラジカルおよびイオンがアモルファスカーボン薄膜の電子物性に及ぼす効果
大道 貴裕 窒化ガリウムの塩素プラズマ高温エッチングにおける水素添加のプラズマ誘起ダメージへの影響に関する研究
加藤 拓海 非平衡大気圧プラズマ処理した微細藻類の油滴蓄積活性の解明
中根 一也 シリコン系材料の原子層プラズマエッチングにおける表面改質機構と反応制御に関する研究
倪 嘉偉
Jiawei NI
Analysis of material selectivity of dielectric plasma etching using hydrofluoroethane (C2H3F3)
長谷川 将希 窒化ガリウムの原子層エッチングにおける表面改質機構と反応制御に関する研究
濱地 遼 液中プラズマを用いたカーボンナノ材料の合成及び触媒機能発現に関する研究
前田 昌吾 非平衡プラズマ照射乳酸リンゲル液が培養細胞の代謝に与える効果の解析
劉 洋
Yang LIU
大気圧プラズマ照射した乳酸リンゲル溶液内の非平衡有機酸生成反応機構の解明

卒業論文

伊藤 大貴 Ar,N2,O2混合比制御下における非平衡大気圧プラズマ照射によるプラズマ活性溶液中の反応と抗腫瘍効果の解明
黒川 純平 機械学習を用いたプラズマ化学気相堆積法によるSiN膜の均一性向上
山内 拓海 非平衡大気圧プラズマによる養殖餌料への影響評価
吉江 泰斗 磁気中性線放電フルオロカーボンガスプラズマのシミュレーションと計測
米盛 稜馬 第一原理計算を用いた酸素プラズマによる有機膜エッチング機構の研究