Invited talk 堀 勝大気圧プラズマの作成 堀 勝「最先端モノづくり研究の世界拠点としての研究推進」「プラズマナノ工学研究センターの概要」 堀 勝, 文 昶盛, 関根 誠, 竹田 圭吾, 節原 裕一, 白谷 正治集積モニタリングによる低圧 太田 貴之, 伊藤 昌文, 西澤 典彦, 堀 勝低コヒーレンス干渉計を用いた半導体基盤における温度と膜厚の同時計測 堀 勝薄膜シリコン系材料成長時のプロセス診断 堀 勝超高密度大気圧プラズマ技術による表面処理技術の開発～先進プラズマ科学技術による航空機産業のイノベーション～ 堀 勝, 関根 誠プラズマプロセスの将来展望 堀 勝プラズマナノ科学に基づいたカーボンナノウォールの合成と応用 堀 勝多様な電磁波制御によって発展する先進プラズマプロセスの現状と展望 堀 勝プラズマ化学気相堆積法によるカーボンナノ材料合成の基礎と応用 石川 健治, 山崎 聡, 関根 誠, 堀 勝ESR インライン計測による材料エッチング過程の観察 石川 健治, 関根 誠, 堀 勝In line Electron Spin Resonance Study of Plasma-Surface Interaction for plasma etching 太田 貴之, 伊藤 昌文, 堀 勝大気圧プラズマを用いた不活性における真菌の観察 堀 勝大気圧・室温プラズマの基礎・生成法と応用 石川 健治, 関根 誠, 堀 勝半導体プラズマプロセス中の表面反応機構の解析 General 節原 裕一, 趙 研, 竹中 弘祐, 白谷 正治, 関根 誠, 堀 勝傾斜プラズマを用いたプラズマーポリマー相互作用に関するコンビナトリアル解析 渡邊 均, 伴野 雅章, 平松 美根男, 堀 勝カーボンナノウォールの親水・撥水に関する研究 下枝 弘尚, 宮脇 雄大, 竹田 圭吾, 近藤 博基, 平松 美根男, 関根 誠, 堀 勝カーボンナノウォールの結晶構造に対するO２/Arプラズマエッチングの効果 木村 哲也, 山口 剛, 竹田 圭吾, 久保田 和宏, 輿水 地塩, 関根 誠, 堀 勝容量結合型VHFプラズマにおけるDC印加効果 山口 剛, 木村 哲也, 竹田 圭吾, 輿水 地塩, 関根 誠, 堀 勝上部電極へDCバイアスを印加した二周波容量結合型プラズマの振る舞い Behavior of Dual Frequency CCP impressed DC bias to upper electrode 海老塚 昇, 石川 健治, 近藤 博基, 堀 勝, 平原 靖大, 佐藤 修二, 家 正則 大望遠鏡によ る高分散分光観測の展望 木野 徳重, 近藤 真悟, 近藤 博基, 関根 誠, 堀 勝ラジカル注入型PECVDを用いたカーボン膜のバイアス依存性 アルカディウス マリノフスキ, 堀 勝, 関根 誠, リディア ルカシャック, アンジェイ ヤクボフスキ, ダニエル トマシェフスキIntroduction to modeling of a transport mechanism in Single Carbon Nano Wall Field Effect Transistor based on Landauer-Buttiker formalism 陳 尚, 永江 陽一, 石川 健治, 中井 雅文, 加納 浩之, 竹田 圭吾, 近藤 博基, 徳田 豊, 関根 誠, 堀 勝イオン照射誘起深い準位欠陥の水素ラジカルによる不活性化 堀 勝, 竹田 圭吾超高密度60Hz大気圧非平衡プラズマの応用プロセス開発 河合 洋次郎, 本田 善央, 山口 雅史, 天野 浩, 陳 尚, 近藤 博基, 平松 美根男, 堀 勝, 加納 浩之, 山川 晃司, 田 昭治高密度窒素ラジカル源を用いたMBE 法による高速GaNホモ・エピタキシャル成長の実現 石川 健治, 河野 昭彦, 堀邊 英夫, 竹田 圭吾, 近藤 博基, 関根 誠, 堀 勝和周波振動分光(SFG)によるポリフッ化ビニリデンの分極配向特性評価 下枝 弘尚, 近藤 博基, 平松 美根男, 関根 誠, 堀 勝ラジカル照射によるカーボンナノウォールの形態制御 萩野 達也, 乾 裕俊, 加納 浩之, 石川 健治, 竹田 圭吾, 近藤 博基, 関根 誠, 堀 勝エタノールを用いた気液プラズマによるカーボンナノ材料の作製 平岡 丈弘, 太田 貴之, 伊藤 昌文, 西澤 典彦, 東島 康裕, 堀 勝広帯域光源を用いた光ファイバ型キャビティリングダウン分光法の開発 松山 弘樹, 熊谷 慎也, 堀 勝, 佐々木 実MEMS化に適した大気圧プラズマ光源 竹中 弘祐, 趙 研, 節原 裕一, 白谷 正治, 関根 誠, 堀 勝コンビナトリアルプラズマプロセス解析装置を用いたプラズマ・ポリマー相互作用の解析（IV） 趙 研, 竹中 弘祐, 節原 裕一, 白谷 正治, 関根 誠, 堀 勝Ｘ線光電子分光によるプラズマーソフト材料相互作用の解析 －UV-VUV領域の発光がナノ表面に及ぼす影響－ 堤 隆嘉, 太田 貴之, 伊藤 昌文, 平岡 丈弘, 堀 勝周波数領域型低コヒーレンス干渉計を用いた高精度Si基板温度計測 井上 真里, 太田 貴之, 田子多 直樹, 伊藤 昌文, 加納 浩之, 山川 晃司, 堀 勝狭帯域レーザ吸収分光法を用いたマイクロホロカソード放電中のPb原子密度と温度測定 阿部 祐介, 竹田 圭吾, 石川 健治, 近藤 博基, 関根 誠, 堀 勝太陽電池用シリコン薄膜プラズマプロセスにおける水素原子表面損失確率（II） 竹田 圭吾, 堀 勝Ar/O2/H2表面波プラズマを用いたSi酸化プロセスにおける基板バイアス印加効果 Jagath Kularatne, 加納 浩之, 太田 貴之, 伊藤 昌文, 竹田 圭吾, 近藤 博基, 堀 勝大気圧アトマイゼーションプラズマにおけるプラズマ長、Ar流量依存性 井関 紗千子, 太田 貴之, 伊藤 昌文, 加納 浩之, 東島 康裕, 竹田 圭吾, 石川 健治, 近藤 博基, 関根 誠, 堀 勝非平衡大気圧プラズマにおける原子状ラジカルの挙動に関する研究 加藤 正規, 竹田 圭吾, 石川 健治, 近藤 博基, 関根 誠, 堀 勝非平衡大気圧プラズマにおける原子状ラジカルの挙動に関する研究 賈 鳳東, 鷲見 直也, 石川 健治, 加納 浩之, 乾 裕俊, 竹田 圭吾, 近藤 博基, 関根 誠, 堀 勝Spatial distribution measurement of the electron temperature and density of 60 Hz nonequilibrium atmospheric pressure plasma by laser Thomson scattering 尼崎 新平, 竹内 拓也, 竹田 圭吾, 石川 健治, 近藤 博基, 関根 誠, 堀 勝, 櫻井 典子, 林 久貴, 酒井 伊都子, 大岩 徳久SF6/O2プラズマを用いたSiエッチング機構 アルカディウス マリノフスキ, 堀 勝, 関根 誠, 石川 健治, 近藤 博基, 山本 洋, 竹内 拓也, 鈴木 俊哉, 宮脇 雄大, リディア ルカシャック, アンジェイ ヤクボフスキ, ダニエル トマシェフスキRadical Transport Simulation under Roof on Substrate in Processing Plasma 川嶋 翔, 阿部 祐介, 竹田 圭吾, 石川 健治, 近藤 博基, 関根 誠, 堀 勝水素ラジカル注入型プラズマ源を用いた微結晶シリコン薄膜の成膜 野村 卓矢, 浦川 達也, 是永 有輝, 山下 大輔, 松崎 秀文, 古閑 一憲, 白谷 正治, 節原 裕一, 関根 誠, 堀 勝プラズマCVD炭素薄膜の製膜形状の基板温度依存性 森 拓海, 太田 貴之, 伊藤 昌文, 井関 紗千子, 堀 勝プラズマアグリカルチャー（IV） －プラズマ殺菌におけるミドリカビの蛍光観察－ 近藤 博基, 竹内 和歌奈, 廣沢 一郎, 木村 滋, 平松 美根男, 堀 勝シンクロトロンX線を用いたカーボンナノウオールの結晶構造の解析 神田 貴幸, 山川 晃司, 竹田 圭吾, 石川 健治, 近藤 博基, 平松 美根男, 関根 誠, 堀 勝単一カーボンナノウォールの電気特性 近藤 祐介, 宮脇 雄大, 竹田 圭吾, 石川 健治, 近藤 博基, 林 俊雄, 関根 誠, 岡本秀 一, 堀 勝C3F6O代替ガスを用いた絶縁膜の高速エッチングとその機構解明 浅野 高平, 山本 洋, 竹田 圭吾, 石川 健治, 近藤 博基, 関根 誠, 堀 勝O2プラズマ曝露によるポーラスSiOCH 膜へのダメージ発生メカニズム 鷲見 直也, 石川 健治, 河野 昭彦, 堀邊 英夫, 竹田 圭吾, 近藤 博基, 関根 誠, 堀 勝リアルタイム電子スピン共鳴によるプラズマ誘起表面反応の解析 林 俊雄, 石川 健治, 関根 誠, 堀 勝, 河野 明廣, 鄒弘綱ラジカルが発生し易いエッチングガスと分子構造 竹内 拓也, 尼崎 新平, 竹田 圭吾, 石川 健治, 近藤 博基, 豊田 浩孝, 関根 誠, 堀 勝, 康 松潤, 沢田 郁夫フルオロカーボンプラズマビームによるフォトレジスト表面改質層の解析 宮脇 雄大, 近藤 祐介, 竹田 圭吾, 伊東 安曇, 松本 裕一, 近藤 博基, 石川 健治, 関根 誠, 堀 勝ガスデザインに基づいたSiO2膜エッチングとその機構解明（III） 山本 洋, 宮脇 雄大, 竹田 圭吾, 石川 健治, 近藤 博基, 関根 誠, 堀 勝, 伊東 安曇, 松本 裕一C5HF7/O2/ArプラズマによるArFレジスト表面ラフネス発生抑制機構 鈴木 俊哉, 竹田 圭吾, 近藤 博基, 石川 健治, 関根 誠, 堀 勝サブナノメーター形状揺らぎ制御有機膜エッチングのための主要因子の解明 山口 剛, 竹田 圭吾, 輿水 地塩, 近藤 博基, 石川 健治, 関根 誠, 堀 勝二周波容量結合型エッチングプラズマにおける上部電極へのDCバイアス印加効果(III) 乾 裕俊, 吉田 直史, 竹田 圭吾, 近藤 博基, 石川 健治, 関根 誠, 堀 勝H2/Ar大気圧プラズマによる酸化銅還元反応の検討 九鬼 淳, 木野 徳重, 竹田 圭吾, 石川 健治, 近藤 博基, 関根 誠, 堀 勝Ｎ原子注入によるアモルファスカーボン膜の結晶性制御 木野 徳重, 近藤 博基, 石川 健治, 関根 誠, 堀 勝アモルファスカーボン膜の結晶構造に対する成長温度の効果 安田 幸司, 山川 晃司, 近藤 博基, 平松 美根男, 関根 誠, 堀 勝STM/STSによるカーボンナノウォールの核発生過程の観察 渡邊 均, 近藤 博基, 石川 健治, 竹田 圭吾, 関根 誠, 堀 勝, 平松 美根男カーボンナノウォールの成長に対する基板形状の効果 米谷 亮祐, 陳 尚, 竹田 圭吾, 石川 健治, 近藤 博基, 関根 誠, 江川 孝志, 節原 裕一, 天野 浩, 堀 勝高精度Cl2プラズマビームを用いたGaNエッチング表面反応の解明 陳 尚, 米谷 亮祐, 竹田 圭吾, 石川 健治, 近藤 博基, 加納 浩之, 徳田 豊, 関根 誠, 節原 裕一, 江川 孝志, 天野 浩, 堀 勝プラズマによるGaNエッチング損傷と反応機構の解析 堀 勝, 近藤 博基, 竹田 圭吾, 山川 晃司, 田 昭治ホロカソード電子源を用いた電子ビーム励起プラズマプロセス装置の開発と機能性部材への応用 N. Ebizuka, K. Ishikawa, H. Kondo, M. Hori, Y. Hirahara, S. Sato, M. IyeDispersive Optical Elements for TMT N. Ebizuka, H. Yano, S. Abe, J-I. WatanabeComparison on Meteor Observations between HDTV with High Sensitivity and Human Eyes N. Ebizuka, Y. ShigenoExtra-Solar Meteor: Meteors Flying from Outside of the Solar System Y. Setsuhara, K. Cho, K. Takenaka, M. Shiratani, M. Sekine, M. HoriCombinatorial Analyses of Plasma Interactions with Organic Materials Ken Cho, Yuichi Setsuhara, Kosuke Takenaka, Masaharu Shiratani, Makoto Sekine, Masaru HoriEffects of Photo-Irradiations in UV-VUV regions on Chemical Bonding States of Soft Materials Exposed to Plasmas N. Sumi, K. Ishikawa, A. Kono, H. Horibe, K. Takeda, H. Kondo, M. Sekine, M. HoriReal-time electron-spin-resonance measurement of plasma induced surface intearctions K. Yasuda, H. Kondo, M. Sekine, M. HoriObservation of nanographene nucleation on amorphous carbon films by STM/STS T. Kino, H. Kondo, K. Ishikawa, M. Sekine, M. HoriControlled synthesis of amorphous carbon films by radical-injection plasma-enhanced chemical vapor deposition for solar cell