Invited talk

  1. 堀 勝
    先端プラズマ計測技術が拓くナノプロセス
    , 富山,
    2007年1月 9日, (招待講演 )

  2. 堀 勝
    大学から見た知的クラスターとは
    クラスター・フォーラム2007パネルディスカッション, 愛知県, ポートメッセなごや,
    2007年1月 18日,   (招待講演 )

  3. 堀 勝, 平松 美根男
    カーボンナノウォールの創製と応用
    第24回プラズマプロセシング研究会(SPP-24), 大阪府, 千里ライフサイエンスセンター,
    2007年1月 29-31日,   (招待講演 )

  4. 堀 勝
    明日の仕事に役に立つ大気圧プラズマ技術の基礎と実例
    リアライズ理工センター主催セミナー, 東京都, 総評会館,
    2007年2月 27日, (招待講演 )

  5. 堀 勝
    フレキシブルデバイス用プラズマプロセスとダメージ評価
    大阪大学接合科学研究所特別講演・研究集会「ソフトマテリアル・フレキシブルデバイス技術を探る」, 大阪府, 大阪大学 接合科学研究所荒田記念館,
    2007年3月 19日, (招待講演 )

  6. 堀 勝
    大気圧プラズマ源によるシリコン酸化膜・有機膜の超高速エッチング技術
    技術情報協会主催セミナー「ドライエッチング技術の基礎と半導体デバイス製造への応用」, 東京都, 蒲田PIO,
    2007年3月 20日, (招待講演 )

  7. 堀 勝, 平松 美根男
    カーボンナノウォールの創成とFEDへの応用
    日本化学会第87春季年会, 大阪府, 関西大学 千里山キャンパス,
    2007年3月 25-28日, (招待講演 )

  8. 高島 成剛, 堀 勝
    ラジカル計測・制御による自律型ナノプロセスの開発
    理研シンポジウム第4回スリービーム技術による表面改質と解析, 埼玉県, 理化学研究所,
    2007年7月 27日, p. 5-14 (招待講演 )

  9. 堀 勝
    プラズマ診断技術、大気圧プラズマ技術と産業応用
    プラズマが拓く新しいモノ創り~新機能表面技術へのチャレンジ~, 愛知県, 名古屋市工業研究所,
    2007年8月 22日,   (招待講演 )

  10. 堀 勝
    45/32nm時代のエッチング技術
    Electronic Journal第123回テクニカルセミナー「45/32nmを睨むエッチング技術・徹底解説」, 東京都, 総評会館,
    2007年8月 22日, pp. 9-75 (招待講演 )

  11. 堀 勝, 平松 美根男
    超臨界CVDを用いたカーボンナノ構造体へのナノPt粒子形成とデバイスへの応用
    第68回応用物理学会学術講演会, 北海道, 北海道工業大学,
    2007年9月 4-8日,   (招待講演 )

  12. 堀 勝
    プラズマによる産業革新
    テクノ・フェア名大2007, 愛知県, 名古屋大学,
    2007年9月 7日, pp. 5-18 (招待講演 )

  13. 堀 勝
    自律型四次元大気圧プラズマ製造装置に関する研究開発
    研究交流クラブ第110回定例会「平成18年度完了地域新生コンソーシアム研究開発事業成果報告」, 愛知県, 名古屋銀行協会,
    2007年9月 10日, (招待講演 )

  14. 堀 勝
    プラズマ計測の基礎
    第1回プラズマエレクトロニクスインキュベーションホール, 奥琵琶湖マキノパークホテル&セミナーハウス、高島,
    2007年9月 12-14日, pp. 17-42 (招待講演 )

  15. 堀 勝
    プラズマバイオニクスの創成と進展
    分子研研究会「分子情報通信(Molecular Communication)のサイエンス基盤」, 分子科学研究所、岡崎,
    2007年9月 28-29日,   (招待講演 )

  16. 高島 成剛, 堀 勝
    大気圧プラズマの表面処理への応用-洗浄・親水・撥水・切削・耐磨耗-
    第1回プラズマが拓くものづくり研究会, ナディアパーク、名古屋,
    2007年10月 1日,   (招待講演 )

  17. 堀 勝
    リモートプラズマ試験機のラジカル絶対密度
    第45回スガウェザリング学術講演会, 学士会館、東京,
    2007年10月 19日, pp. 1-2 (招待講演 )

  18. 堀 勝
    リモートプラズマ試験機のラジカル絶対密度
    第46回スガウェザリング学術講演会, 國民會館、大阪,
    2007年11月 9日, pp. 1-2 (招待講演 )

  19. 高島 成剛, 堀 勝
    分光分析を用いたプラズマナノ科学に基づくプロセス開発
    ナノテク部会第21回研究会「若手研究者のためのナノテク材料基礎セミナー」, 信州戸倉山田温泉ホテル清風園、長野,
    2007年11月 17-18日 , pp. 49-61 (招待講演 )

  20. 堀 勝
    明日の仕事に役立つプラズマエッチングの基礎と実例―半導体プロセスを中心として―
    リアライズ理工センター主催セミナー, 総評会館、東京,
    2007年11月 27-28日,   (招待講演 )

  21. 高島 成剛, 堀 勝
    自律型ナノ製造装置とプラズマ応用技術について
    クラスタージャパン2007 テクノフェアビジネス・シーズ発表会, 東京ビッグサイト、東京,
    2007年11月 28-30日, (招待講演 )

  22. 堀 勝
    先進プラズマ計測科学に基づいた大気圧プラズマ有機膜ナノエッチングプロセス
    第23回九州・山口プラズマ研究会, 九州大学、福岡,
    2007年11月 9-10日, pp. 16-18 (招待講演 )

  23. 堀 勝
    「学会・大学・科学館・小・中学校の連携による最新科学技術教材の開発」成果報告
    (独)科学技術振興機構「研究者情報発信活動推進モデル事業」成果報告会, 東京国際交流館、東京,
    2007年11月 23日,   (招待講演 )

  24. 堀 勝
    プラズマエッチングの基礎から最先端研究まで
    キヤノン先端融合研究所主催研究会, キヤノン株式会社下丸子本社、東京,
    2007年11月 26日,   (招待講演 )

  25. 堀 勝
    最先端プラズマ装置の概略とプラズマ応用センターへの展望
    第2回プラズマが拓くものづくり研究会, 名古屋大学VBL、名古屋,
    2007年12月 10日,   (招待講演 )

  26. 堀 勝
    プラズマCVDによるカーボンナノウォールの配向成長
    化学工学会反応工学部会CVD反応分科会カーボンナノチューブミニシンポジウム, メルパルクKYOTO、京都,
    2007年12月 17日,   (招待講演 )

  27. 堀 勝
    大気圧プラズマを用いた半導体デバイスプロセス
    プラズマ・核融合学会第20回専門講習会「大気圧プラズマプロセス技術の基礎と応用」, 東京大学山上会館、東京,
    2007年12月 20日, pp. 31-45 (招待講演 )



General

  1. 原 安寛, 高島 成剛, 山川 晃司, 田 昭治, 加納 浩之, 菅井 秀郎, 堀 勝
    高速原子源の開発と特性評価
    第24回プラズマプロセシング研究会(SPP-24), 大阪府, 千里ライフサイエンスセンター,
    2007年1月 29-31日, pp. 55-56 ( )

  2. 岩崎 正博, 伊藤 昌文, 屋良 卓也, 上原 剛, 堀 勝
    大気圧非平衡パルスプラズマを用いた大型液晶用ガラス基板クリーニングプロセスと気相診断
    第24回プラズマプロセシング研究会(SPP-24), 大阪府, 千里ライフサイエンスセンター,
    2007年1月 29-31日, pp. 57-58 ( )

  3. 出口 高啓, 平松 美根男, 堀 勝
    マイクロ波プラズマCVD法を用いた自己組織化円錐形状を有するカーボンナノチューブ膜
    第24回プラズマプロセシング研究会(SPP-24), 大阪府, 千里ライフサイエンスセンター,
    2007年1月 29-31日, pp. 85-86 ( )

  4. 近藤 真悟, 河合 信次, 山川 晃司, 加納 浩之, 平松 美根男, 堀 勝
    ラジカル注入型プラズマCVD法を用いたカーボンナノウォールにおける初期成長過程の解析
    第24回プラズマプロセシング研究会(SPP-24), 大阪府, 千里ライフサイエンスセンター,
    2007年1月 29-31日, pp. 91-92 ( )

  5. 森 貴照, 平松 美根男, 山川 晃司, 竹田 圭吾, 堀 勝
    電子ビーム励起プラズマCVD法を用いたカーボンナノウォールの形成
    第24回プラズマプロセシング研究会(SPP-24), 大阪府, 千里ライフサイエンスセンター,
    2007年1月 29-31日, pp. 93-94 ( )

  6. 丸山 茂敏, 山川 晃司, 加納 浩之, 平松 美根男, 堀 勝
    様々な基板上でのカーボンナノウォールの作製
    第24回プラズマプロセシング研究会(SPP-24), 大阪府, 千里ライフサイエンスセンター,
    2007年1月 29-31日, pp. 95-96 ( )

  7. 加藤 慧, 佐々木 元, 高島 成剛, 山川 晃司, 平松 美根男, 堀 勝
    カーボンナノウォール作製用ラジカル注入型フルオロカーボン/水素VHFプラズマ中のラジカル計測
    第24回プラズマプロセシング研究会(SPP-24), 大阪府, 千里ライフサイエンスセンター,
    2007年1月 29-31日, pp. 97-98 ( )

  8. 大林 友視, 山川 晃司, 加納 浩之, 平松 美根男, 堀 勝
    カーボンナノウォールからの電解電子放出における水素プラズマ処理効果
    第24回プラズマプロセシング研究会(SPP-24), 大阪府, 千里ライフサイエンスセンター,
    2007年1月 29-31日, pp. 99-100 ( )

  9. 町野 琢磨, 中村 匡利, 山川 晃司, 平松 美根男, 堀 勝
    電解電子放出特性におけるカーボンナノウォールへの高分散白金微粒子担持効果
    第24回プラズマプロセシング研究会(SPP-24), 大阪府, 千里ライフサイエンスセンター,
    2007年1月 29-31日, pp. 101-102 ( )

  10. 佐々木 元, 高島 成剛, 堀 勝
    真空紫外吸収分光法を用いた炭素原子絶対密度算出法の確立
    第24回プラズマプロセシング研究会(SPP-24), 大阪府, 千里ライフサイエンスセンター,
    2007年1月 29-31日, pp. 157-158 ( )

  11. 堀 勝, 竹田 圭吾, 高島 成剛, 塩澤 俊彦, 壁 義郎, 北川 淳一, 中西 俊雄
    Si酸化プロセス用量産型希ガス添加酸素表面波プラズマの気相診断
    第24回プラズマプロセシング研究会(SPP-24), 大阪府, 千里ライフサイエンスセンター,
    2007年1月 29-31日, pp. 159-160 ( )

  12. 高橋 栄治, 伊藤 優, 知京 豊裕, 堀 勝
    パルス変調UHFプラズマを用いたシリコンナノ微粒子の室温堆積
    第24回プラズマプロセシング研究会(SPP-24), 大阪府, 千里ライフサイエンスセンター,
    2007年1月 29-31日, pp. 183-184 ( )

  13. 李 明龍, 松原 丈晃, 今枝 弘幸, 竹田 圭吾, 増元 祐介, 森 竜雄, 多田 重和, 堀 勝
    VHF SiH4/NH3プラズマを用いた有機EL用パッシベーション膜の低温形成とHe添加によるバリア性の向上
    第24回プラズマプロセシング研究会(SPP-24), 大阪府, 千里ライフサイエンスセンター,
    2007年1月 29-31日, pp. 339-340 ( )

  14. 高橋 俊次, 高島 成剛, 賈 学英, 山川 晃司, 田 昭治, 加納 浩之, 堀 勝
    コンパクトプローブの開発とH,N,O及びCの計測
    第24回プラズマプロセシング研究会(SPP-24), 大阪府, 千里ライフサイエンスセンター,
    2007年1月 29-31日, pp. 351-352 ( )

  15. 橘 善洋, 山下 瞬, 太田 貴之, 伊藤 昌文, 高島 成剛, 東島 康裕, 加納 浩之, 田 昭治, 堀 勝
    コンパクトマルチマイクロホロー光源を用いたスパッタプロセス中の多元素同時モニタリング
    第24回プラズマプロセシング研究会(SPP-24), 大阪府, 千里ライフサイエンスセンター,
    2007年1月 29-31日, pp. 353-354 ( )

  16. 内田 三郎, 高島 成剛, 深沢 正永, 大島 啓示, 長畑 和典, 辰巳 哲也, 堀 勝
    N2/H2混合ガスプラズマを用いたLow-k膜エッチングにおけるダメージ評価
    第24回プラズマプロセシング研究会(SPP-24), 大阪府, 千里ライフサイエンスセンター,
    2007年1月 29-31日, pp. 377-378 ( )

  17. 橘 善洋, 山下 瞬, 太田 貴之, 伊藤 昌文, 高島 成剛, 東島 康裕, 加納 浩之, 田 昭治, 堀 勝
    スパッタプロセス中の多元素同時モニタリング
    EIS-Cluster 第2回 産学連携研究成果発表会, 和歌山県, ルミエール華月殿,
    2007年2月 2日, p. 2 ( )

  18. 高雄 悟, 河村 和幸, 太田 貴之, 伊藤 昌文, 東島 康裕, 加納 浩之, 西澤 典彦, 堀 勝
    微小キャビティを用いた吸収分光センサシステムの開発
    EIS-Cluster 第2回 産学連携研究成果発表会, 和歌山県, ルミエール華月殿,
    2007年2月 2日, p. 4 ( )

  19. 小西 隆二郎, 葉田 督治, 太田 貴之, 伊藤 昌文, 高島 成剛, 東島 康裕, 加納 浩之, 田 昭治, 堀 勝
    近赤外域における光ファイバ型吸収分光センサの開発
    EIS-Cluster 第2回 産学連携研究成果発表会, 和歌山県, ルミエール華月殿,
    2007年2月 2日, p. 5 ( )

  20. 堀 勝
    低次元カーボン系チャネルエンジニアリング -窒素ガス添加によるカーボンナノウォールの電気伝導特性の制御- 特定領域研究シリコンナノエレクトロニクスの新展開―ポストスケーリングテクノロジー―
    第一回成果報告会, 東京工業大学、横浜,
    2007年3月 14-15日, ( )

  21. 高島 成剛, 堀 勝
    低次元カーボン系チャネルエンジニアリング -カーボンナノウォール形成プラズマにおける原子状ラジカルの挙動- 特定領域研究シリコンナノエレクトロニクスの新展開―ポストスケーリングテクノロジー―
    第一回成果報告会, 東京工業大学、横浜,
    2007年3月 14-15日 , ( )

  22. 野田 章夫, 平松 美根男, 堀 勝
    SiO2へのカーボンナノウォールの形状転写
    第54回応用物理学会関係連合講演会, 青山学院大学相模原キャンパス,
    2007年3月 27-30日, 27a-H-10 ( )

  23. 乾 裕俊, 出野 琢也, 藤原 裕之, 増田 淳, 近藤 道雄, 平松 美根男, 堀 勝
    大気圧マイクロプラズマを用いたシリコンダイシング技術
    第54回応用物理学会関係連合講演会, 青山学院大学相模原キャンパス,
    2007年3月 27-30日, 27a-H-4 ( )

  24. 山本 洋, 高島 成剛, 河内 良太, 高橋 俊次, 田 昭治, 堀 勝
    100MHz容量結合型水素・窒素混合ガスプラズマエッチングプロセス(I)
    第54回応用物理学会関係連合講演会, 青山学院大学相模原キャンパス,
    2007年3月 27-30日, 27p-H-5 ( )

  25. 高島 成剛, 内田 三郎, 深沢 正永, 大島 啓示, 長畑 和典, 辰巳 哲也, 堀 勝
    二周波励起容量結合型プラズマエッチングプロセスにおける真空紫外光、紫外光、ラジカル、イオンによるLow-k膜へのダメージ(III)
    第54回応用物理学会関係連合講演会, 青山学院大学相模原キャンパス,
    2007年3月 27-30日, 27p-H-6 ( )

  26. 深沢 正永, 辰巳 哲也, 長畑 和典, 内田 三郎, 高島 成剛, 堀 勝, 上出 幸洋
    N-H系プラズマによるSiOCHダメージの抑制
    第54回応用物理学会関係連合講演会, 青山学院大学相模原キャンパス,
    2007年3月 27-30日, 27p-H-8 ( )

  27. 李 明龍, 松原 丈晃, 竹田 圭吾, 増本 祐介, 森 竜雄, 多田 重和, 早川 晴仁, 堀 勝
    VHF容量結合型プラズマを用いたSiN膜の低温形成及び有機デバイス保護膜への応用
    第54回応用物理学会関係連合講演会, 青山学院大学相模原キャンパス,
    2007年3月 27-30日, 27p-M-15 ( )

  28. 林友視, 山川 晃司, 加納 浩之, 平松 美根男, 堀 勝
    カーボンナノウォールへのMgOコーティングとその電界電子放出特性
    第54回応用物理学会関係連合講演会, 青山学院大学相模原キャンパス,
    2007年3月 27-30日, 27p-ZR-11 ( )

  29. 町野 琢磨, 中村 匡利, 山川 晃司, 平松 美根男, 堀 勝
    電界電子放出特性におけるカーボンナノウォールへの金属微粒子担持効果
    第54回応用物理学会関係連合講演会, 青山学院大学相模原キャンパス,
    2007年3月 27-30日, 27p-ZR-12 ( )

  30. 竹内 和歌奈, 浦 雅登, 徳田 豊, 平松 美根男, 加納 浩之, 堀 勝
    カーボンナノウォール成長における添加ガス効果
    第54回応用物理学会関係連合講演会, 青山学院大学相模原キャンパス,
    2007年3月 27-30日, 28a-ZR-4 ( )

  31. 加藤 慧, 佐々木 元, 高島 成剛, 平松 美根男, 堀 勝
    VHFプラズマを用いたカーボンナノウォール作製時におけるラジカル密度計測
    第54回応用物理学会関係連合講演会, 青山学院大学相模原キャンパス,
    2007年3月 27-30日, 28a-ZR-5 ( )

  32. 丸山 茂敏, 山川 晃司, 加納 浩之, 平松 美根男, 堀 勝
    ラジカル注入プラズマCVD法によるカーボンナノウォールの形状制御
    第54回応用物理学会関係連合講演会, 青山学院大学相模原キャンパス,
    2007年3月 27-30日, 28a-ZR-6 ( )

  33. 近藤 真悟, 山川 晃司, 平松 美根男, 堀 勝
    ラジカル注入プラズマCVD法を用いて作製したカーボンナノウォールのエッチング特性
    第54回応用物理学会関係連合講演会, 青山学院大学相模原キャンパス,
    2007年3月 27-30日, 28a-ZR-7 ( )

  34. 森 貴照, 平松 美根男, 山川 晃司, 竹田 圭吾, 堀 勝
    電子ビーム励起プラズマCVD法を用いたカーボンナノウォールの形成
    第54回応用物理学会関係連合講演会, 青山学院大学相模原キャンパス,
    2007年3月 27-30日, 28a-ZR-8 ( )

  35. 山川 晃司, 田 昭治, 片桐 俊郎, 加納 浩之, 平松 美根男, 堀 勝
    ラジカル注入プラズマCVD装置によるカーボンナノウォールの高速成長
    第54回応用物理学会関係連合講演会, 青山学院大学相模原キャンパス,
    2007年3月 27-30日, 28a-ZR-9 ( )

  36. 井関 紗千子, 青松 哲純, 太田 貴之, 伊藤 昌文, 加納 浩之, 東島 康裕, 堀 勝
    非平衡大気圧プラズマを用いたミドリカビ菌の殺菌処理法の開発
    第54回応用物理学会関係連合講演会, 青山学院大学相模原キャンパス,
    2007年3月 27-30日, 29a-A-29 ( )

  37. 竹田 圭吾, 高島 成剛, 塩澤 俊彦, 壁 義郎, 北川 淳一, 中西 敏雄, 堀 勝
    量産型表面波励起プラズマ装置における添加希ガス種によるSi酸化プロセスへの影響
    第54回応用物理学会関係連合講演会, 青山学院大学相模原キャンパス,
    2007年3月 27-30日, 29a-ZH-10 ( )

  38. 小田 繁尚, 近藤 博基, 原 安寛, 高島 成剛, 酒井 朗, 小川 正毅, 財満 鎭明, 堀 勝, 田 昭治, 加納 浩之
    高密度ラジカルソースの開発とラジカル窒化プロセスへの応用
    第54回応用物理学会関係連合講演会, 青山学院大学相模原キャンパス,
    2007年3月 27-30日, 29a-ZH-9 ( )

  39. 岩崎 正博, 伊藤 昌文, 屋良 卓也, 上原 剛, 堀 勝
    大気圧非平衡プラズマによる大面積クリーニングプロセスと気相診断(II)
    第54回応用物理学会関係連合講演会, 青山学院大学相模原キャンパス,
    2007年3月 27-30日, 30a-C-5 ( )

  40. 佐々木 元, 高島 成剛, 堀 勝
    真空紫外吸収分光法による炭素原子絶対密度算出法の確立
    第54回応用物理学会関係連合講演会, 青山学院大学相模原キャンパス,
    2007年3月 27-30日, 30a-C-7 ( )

  41. 橘 善洋, 山下 瞬, 太田 貴之, 伊藤 昌文, 高島 成剛, 東島 康裕, 加納 浩之, 田 昭治, 堀 勝
    コンパクトマルチマイクロホロー光源を用いたスパッタプロセスの解析
    第54回応用物理学会関係連合講演会, 青山学院大学相模原キャンパス,
    2007年3月 27-30日, 30a-C-8 ( )

  42. 原 安寛, 高島 成剛, 山川 晃司, 田 昭治, 加納 浩之, 豊田 浩孝, 菅井 秀郎, 堀 勝
    高速ラジカルプロセス(II) -高速ArおよびNラジカルの挙動
    第54回応用物理学会関係連合講演会, 青山学院大学相模原キャンパス,
    2007年3月 27-30日, 30a-G-7 ( )

  43. 大林 友視, 山川 晃司, 加納 浩之, 平松 美根男, 堀 勝
    The Effect of MgO Coating on Carbon Nanowalls for Field Emission
    第20回プラズマ材料科学シンポジウム, 名古屋大学野依学術記念交流館,
    2007年6月 21-22日, p. 32 ( )

  44. 竹内 和歌奈, 浦 雅登, 徳田 豊, 平松 美根男, 加納 浩之, 堀 勝
    Effect of Doped Carbon Nanowalls by Nitrogen Addition
    第20回プラズマ材料科学シンポジウム, 名古屋大学野依学術記念交流館,
    2007年6月 21-22日, p. 33 ( )

  45. 近藤 真悟, 山川 晃司, 平松 美根男, 堀 勝
    Ar/H2 Plasma Etching Effect of Carbon Nanowalls Using Radical Injection Plasma Enhanced CVD
    第20回プラズマ材料科学シンポジウム, 名古屋大学野依学術記念交流館,
    2007年6月 21-22日, p. 37 ( )

  46. 町野 琢磨, 山川 晃司, 平松 美根男, 堀 勝
    Supporting Dispersed Pt Nanoparticles on CNWs and the Field Emission Measurement
    第20回プラズマ材料科学シンポジウム, 名古屋大学野依学術記念交流館,
    2007年6月 21-22日, p. 38 ( )

  47. 野田 章夫, 平松 美根男, 堀 勝
    Pattern Transfer of Carbon Nanowalls into SiO2 Film
    第20回プラズマ材料科学シンポジウム, 名古屋大学野依学術記念交流館,
    2007年6月 21-22日, p. 39 ( )

  48. 出口 高啓, 平松 美根男, 堀 勝
    Fabrication of Aligned Carbon Nanotube Film with Self-Assembled Conical Tips Using Microwave Plasma-Enhanced CVD
    第20回プラズマ材料科学シンポジウム, 名古屋大学野依学術記念交流館,
    2007年6月 21-22日, p. 40 ( )

  49. 加藤 慧, 佐々木 元, 高島 成剛, 山川 晃司, 平松 美根男, 堀 勝
    Measurements of Radical Density in VHF Fluorocarbon/Hydrogen Plasma with Radical Injection Used for Carbon Nanowall Fabrication
    第20回プラズマ材料科学シンポジウム, 名古屋大学野依学術記念交流館,
    2007年6月 21-22日, p. 41 ( )

  50. 井関 紗千子, 青松 哲純, 太田 貴之, 伊藤 昌文, 加納 浩之, 東島 康裕, 堀 勝
    Effect of O2 Addition on Sterilization of Penicillium Digitatum Using Non-Equilibrium Atmospheric Pressure
    第20回プラズマ材料科学シンポジウム, 名古屋大学野依学術記念交流館,
    2007年6月 21-22日, p. 48 ( )

  51. 乾 裕俊, 出野 琢也, 藤原 裕之, 増田 淳, 近藤 道雄, 平松 美根男, 堀 勝
    Study of Silicon Dicing Process Using Atmospheric Pressure Microplasma
    第20回プラズマ材料科学シンポジウム, 名古屋大学野依学術記念交流館,
    2007年6月 21-22日, p. 55 ( )

  52. 岩崎 正博, 竹田 圭吾, 伊藤 昌文, 宮本 栄司, 屋良 卓也, 上原 剛, 堀 勝
    Measurement of O(3P) Concentration in Nonequilibrium Atmospheric-Pressure Pulsed Remote O2/N2 Plasma
    第20回プラズマ材料科学シンポジウム, 名古屋大学野依学術記念交流館,
    2007年6月 21-22日, p. 86 ( )

  53. 山本 洋, 高島 成剛, 竹田 圭吾, 河内 良太, 高橋 俊次, 田 昭治, 堀 勝
    Behaviors of H and N Radicals in 100MHz Capacitively Coupled Plasma Using H2/N2 Mixture Gases for the Organic Low Dielectric Constant Film Etching
    第20回プラズマ材料科学シンポジウム, 名古屋大学野依学術記念交流館,
    2007年6月 21-22日, p. 95 ( )

  54. 原 安寛, 高島 成剛, 山川 晃司, 田 昭治, 加納 浩之, 豊田 浩孝, 菅井 秀郎, 堀 勝
    Development and Characteristics of Fast Radical Source H2/N2 Mixture Gases for the Organic Low Dielectric Constant Film Etching
    第20回プラズマ材料科学シンポジウム, 名古屋大学野依学術記念交流館,
    2007年6月 21-22日, p. 100 ( )

  55. 高島 成剛, 高橋 俊次, 山川 晃司, 田 昭治, 加納 浩之, 堀 勝
    Development of Atomic Radical Monitoring Probe and Its Application to Spatial Distribution Measurements in Material Process Plasmas
    第20回プラズマ材料科学シンポジウム, 名古屋大学野依学術記念交流館,
    2007年6月 21-22日, p. 101 ( )

  56. 佐々木 元, 高島 成剛, 堀 勝
    Measurement Technique of Absolute Carbon Atom Density Using Vacuum Ultraviolet Absorption Spectroscopy with Microdischarge Hollow Cathode Lamp
    第20回プラズマ材料科学シンポジウム, 名古屋大学野依学術記念交流館,
    2007年6月 21-22日, p. 102 ( )

  57. 内田 三郎, 高島 成剛, 深沢 正永, 大島 啓示, 長畑 和典, 辰巳 哲也, 堀 勝
    Plasma Damages on Low-k Films due to VUV Light, UV Light, Radical and Ion in Etching Process
    第20回プラズマ材料科学シンポジウム, 名古屋大学野依学術記念交流館,
    2007年6月 21-22日, p. 103 ( )

  58. 竹田 圭吾, 高島 成剛, 壁 義郎, 北川 淳一, 中西 俊雄, 堀 勝
    Effect of Species in Gas-Phase on Plasma Oxidation Process with Oxygen Based Surface Wave Plasma Diluted by Rare Gas
    第20回プラズマ材料科学シンポジウム, 名古屋大学野依学術記念交流館,
    2007年6月 21-22日, p. 104 ( )

  59. 李 明龍, 松原 丈晃, 堀 勝
    Formation of SiN Films on Si Substrates at Low Temperature using VHF-CCP and Improvement of the Properties
    第20回プラズマ材料科学シンポジウム, 名古屋大学野依学術記念交流館,
    2007年6月 21-22日, p. 116 ( )

  60. 高橋 栄治, 知京 豊裕, 堀 勝
    Low Temperature Deposition of Silicon Nanoparticles using Pulse-Modulated UHF SiH4/H2 Plasma
    第20回プラズマ材料科学シンポジウム, 名古屋大学野依学術記念交流館,
    2007年6月 21-22日, p. 118 ( )

  61. 鞠 揮, 太田 貴之, 伊藤 昌文, 佐々木 実, 羽根 一博, 堀 勝
    Etching Profile Characteristics of ICP Pre-Etched Micro Cavities on (111) Silicon Wafer
    第20回プラズマ材料科学シンポジウム, 名古屋大学野依学術記念交流館,
    2007年6月 21-22日, p. 126 ( )

  62. 近藤 博基, 小田 繁尚, 高島 成剛, 酒井 朗, 小川 正毅, 財満 鎭明, 堀 勝, 田 昭治, 加納 浩之
    Development of New High-Density Radical Sources and its Application to Radical Nitridation of Ge Surfaces
    第20回プラズマ材料科学シンポジウム, 名古屋大学野依学術記念交流館,
    2007年6月 21-22日, p. 128 ( )

  63. 橘 善洋, 太田 貴之, 伊藤 昌文, 高島 成剛, 東島 康裕, 加納 浩之, 田 昭治, 堀 勝
    Development of Light Source for Simultaneous Monitoring of Multi Elements using Micro Hollow Cathode Plasma
    第20回プラズマ材料科学シンポジウム, 名古屋大学野依学術記念交流館,
    2007年6月 21-22日, p. 137 ( )

  64. 堀 勝
    低次元カーボン系チャネルエンジニアリング
    科学研究費補助金特定領域研究「シリコンナのエレクトロニクスの新展開」―ポストスケーリングテクノロジー―第2回全体会議, 愛知県, メルパルク名古屋,
    2007年8月 9-10日, ( )

  65. 町野 琢磨, 山川 晃司, 平松 美根男, 堀 勝
    超臨界CO2/有機金属を用いたカーボンナノウォールへの触媒用白金微粒子担持
    第68回応用物理学会学術講演会, 北海道, 北海道工業大学,
    2007年9月 4-8日,   ( )

  66. 大林 友視, 山川 晃司, 加納 浩之, 平松 美根男, 堀 勝
    プラズマ窒化処理を施したカーボンナノウォールからの電界放出
    第68回応用物理学会学術講演会, 北海道, 北海道工業大学,
    2007年9月 4-8日,   ( )

  67. 竹内 和歌奈, 徳田 豊, 平松 美根男, 加納 浩之, 堀 勝
    酸素添加ガスによるカーボンナノウォールの構造制御
    第68回応用物理学会学術講演会, 北海道, 北海道工業大学,
    2007年9月 4-8日,   ( )

  68. 山茂 敏, 山川 晃司, 加納 浩之, 平松 美根男, 堀 勝
    ラジカル注入プラズマCVD法によるカーボンナノウォールの形状制御(II)
    第68回応用物理学会学術講演会, 北海道, 北海道工業大学,
    2007年9月 4-8日,   ( )

  69. 高橋 栄治, 知京 豊裕, 堀 勝
    パルス変調UHF SiH4/H2プラズマを用いたナノシリコン微粒子の室温高速合成(VI)
    第68回応用物理学会学術講演会, 北海道, 北海道工業大学,
    2007年9月 4-8日,   ( )

  70. 鞠 揮, 太田 貴之, 伊藤 昌文, 佐々木 実, 羽根 一博, 堀 勝
    Etching Profile Characteristics of ICP Pre-etched Micro Cavities on (111) Silicon Wafer
    第68回応用物理学会学術講演会, 北海道, 北海道工業大学,
    2007年9月 4-8日,   ( )

  71. 竹田 圭吾, 高島 成剛, 壁 義郎, 北川 淳一, 中西 敏雄, 伊藤 仁, 堀 勝
    パルス変調Ar/O2表面波プラズマにおける酸素原子の振舞い
    第68回応用物理学会学術講演会, 北海道, 北海道工業大学,
    2007年9月 4-8日,   ( )

  72. 近藤 真悟, Olivera Stephanovic, 山川 晃司, 田 昭治, 平松 美根男, 堀 勝
    ラジカルCVDによるカーボン膜成長中のin-situ分光エリプソメトリー解析
    第68回応用物理学会学術講演会, 北海道, 北海道工業大学,
    2007年9月 4-8日,   ( )

  73. 西澤 典彦, 堀 勝
    高エネルギーpsパルスによる超広帯域高精度スーパーコンティニューム光の生成
    第68回応用物理学会学術講演会, 北海道, 北海道工業大学,
    2007年9月 4-8日,   ( )

  74. 内田 三郎, 高島 成剛, 斉藤 良太, 深沢 正永, 大島 啓示, 長畑 和典, 辰巳 哲也, 堀 勝
    二周波励起容量結合型プラズマエッチングプロセスにおける真空紫外光、紫外光、ラジカル、イオンによるLow-k膜へのダメージ(IV)
    第68回応用物理学会学術講演会, 北海道, 北海道工業大学,
    2007年9月 4-8日,   ( )

  75. 山本 洋, 高橋 俊次, 竹田 圭吾, 河内 良太, 田 昭治, 関根 誠, 堀 勝
    H2プラズマによるSiOCH低誘電率膜へのダメージ評価とダメージ発生機構の解明(I)
    第68回応用物理学会学術講演会, 北海道, 北海道工業大学,
    2007年9月 4-8日,   ( )

  76. 柴田 英美, 岡本 秀一, 関根 誠, 堀 勝
    代替フルオロカーボンガスを用いたlow-k膜エッチングプロセス(IV)
    第68回応用物理学会学術講演会, 北海道, 北海道工業大学,
    2007年9月 4-8日,   ( )

  77. 太田 貴之, 橘 善洋, 伊藤 昌文, 高島 成剛, 東島 康裕, 加納 浩之, 田 昭治, 堀 勝
    マルチマイクロホローカソード光源の開発(Ⅱ)
    第68回応用物理学会学術講演会, 北海道, 北海道工業大学,
    2007年9月 4-8日,   ( )

  78. 岩崎 正博, 松平 雄人, 伊藤 昌文, 宮本 栄司, 屋良 卓也, 上原 剛, 堀 勝
    大気圧非平衡パルスプラズマを用いた大面積クリーニングプロセスにおける酸化種の影響
    第68回応用物理学会学術講演会, 北海道, 北海道工業大学,
    2007年9月 4-8日,   ( )

  79. 河野 悟司, 竹田 圭吾, 山川 晃司, 前田 智宏, 堀 勝
    新規ラジカルプロセスの構築(I)
    第68回応用物理学会学術講演会, 北海道, 北海道工業大学,
    2007年9月 4-8日,   ( )

  80. 佐々木 元, 高島 成剛, 竹田 圭吾, 堀 勝
    フッ素原子絶対密度計測用コンパクト真空紫外吸収分光システムの開発
    第68回応用物理学会学術講演会, 北海道, 北海道工業大学,
    2007年9月 4-8日,   ( )

  81. 高島 成剛, 竹田 圭吾, 堀 勝
    真空紫外レーザ吸収分光法による原子状ラジカル計測用光源の評価
    第68回応用物理学会学術講演会, 北海道, 北海道工業大学,
    2007年9月 4-8日,   ( )

  82. 原 安寛, 高島 成剛, 山川 晃司, 田 昭治, 加納 浩之, 豊田 浩孝, 関根 誠, 堀 勝
    高速ラジカルプロセス(Ⅲ) -N2分子ビーム及びNラジカルビームの挙動-
    第68回応用物理学会学術講演会, 北海道, 北海道工業大学,
    2007年9月 4-8日,   ( )

  83. 町野 琢磨, 堀 勝, 加納 浩之, 平松 美根男
    超臨界CVDを用いたカーボンナノウォールへの触媒用白金微粒子担持
    第18回日本MRS学術シンポジウム, 東京都, 日本大学,
    2007年12月 7-9日, H-14-M p. 196 ( )

  84. 近藤 真悟, 竹内 和歌奈, ステパノヴィッチ オリヴェラ, 山川 晃司, 平松 美根男, 堀 勝
    ラジカル注入型プラズマCVD法を用いて作成したO2添加CNWの初期成長過程
    第18回日本MRS学術シンポジウム, 東京都, 日本大学,
    2007年12月 7-9日, F-01-M p. 164 ( )

  85. 堀 勝
    低次元カーボン系チャネルエンジニアリング
    科学研究費補助金特定領域研究「シリコンナのエレクトロニクスの新展開」―ポストスケーリングテクノロジー―第三回全体会議, 愛知県, メルパルク名古屋,
    2007年12月 21-22日, ( )

  86. 竹内 和歌奈, 高島 成剛, 堀 勝
    カーボンナノウォールの形状制御と電気特性
    科学研究費補助金特定領域研究「シリコンナのエレクトロニクスの新展開」―ポストスケーリングテクノロジー―第三回全体会議, 愛知県, メルパルク名古屋,
    2007年12月 21-22日, ( )

  87. 柏原 雅好, 竹内 和歌奈, 高島 成剛, 堀 勝
    カーボンナノウォールに対する熱処理による効果
    科学研究費補助金特定領域研究「シリコンナのエレクトロニクスの新展開」―ポストスケーリングテクノロジー―第三回全体会議, 愛知県, メルパルク名古屋,
    2007年12月 21-22日, ( )