Invited talk 堀 勝低温プラズマの基礎と最新情報 堀 勝最先端半導体デバイス製造を牽引し、明るい未来を拓く低温プラズマ科学技術 堀 勝革新的プラズマ医療・バイオ応用の最前線 近藤 隆さまざまな物理刺激に対する生体応答：基礎と医療応用 BRITUN NikolayTowards a deeper understanding of various sputtering processes via density imaging 堀 勝低温プラズマで持続可能な地球環境を実現する 堀 勝低温プラズマで持続可能な地球環境を実現する 石川先生プラズマ概論 Takayoshi Tsutsumi，Makoto Sekine，Masaru Hori，Kenji IshikawaIn-Situ Observation of Surface Reaction and Advanced Process for Damage-Less Atomic Layer Etching 堀 勝半導体プラズマプロセスの本質を語る～プラズマエッチングの基礎と最先端の現状～ 石川 健治，古閑 一憲，伊藤 篤史，國枝 正，魚住 信之
(. 名大，. 九大，. 核融合研，. 奈良先端大，. 東北大)雷！プラズマが駆動する種子内分子動態 Grainge Giles，氏家 凜乃，石川 健治，Leubner Gerhard，中林一美
(. 帯広畜産大学・畜産・植物生産科学，. ロイヤルホロウェイ・ロンドン大，. 名古屋大学・低温プラズマ科学研究センター)プラズマ活性水による発芽促進への多層効果 石川健治nan 石川健治制御された雷ープラズマーによる植物の発芽・成長制御の科学 井上 健一気液界面プラズマの応用と分析 - 微粒子表面改質とラジカル計測 - General 杉本 浩一振動に強く小型軽量＜高エネルギー効率＞な低コスト電池の開発 河野伊吹，石川健治多孔質SiOCHとシリカボールを用いた絶縁膜のプラズマダメージ制御 岩田 大和，堤 隆嘉，井上 健一，石川 健治GAAFETに向けたSi/SiGeへの選択的エッチング 河地恵努，田中 宏昌，秋山 真一非平衡大気圧プラズマを用いた魚類成長促進の可能性 山下達也，堤隆嘉，関根誠，石川健治，田中宏昌高アスペクト比エッチングにおけるイオン中性化確率計測 岩瀬拓巳，石川健治，堀勝，田中宏昌プラズマ照射による種子の成長促進要因 森田光翔，石川健治，堀勝，田中宏昌PALと抗がん剤の併用による抗腫瘍効果の相乗の調査とそのメカニズムの解明 平井 俊也，篠田 和典，グエン ティ トゥイ ガー，井上 健一，堤 隆嘉，石川 健治窒化チタンの熱サイクル原子層エッチング(Thermal-Cyclic ALE) における塩化プロセスのIn-Situ表面反応解析によるメカニズム解明 Mechanism of TiN Chlorination during Thermal-Cyclic Atomic Layer Etching via In-Situ Surface Reaction Analysis 鈴木 陽香，泉 涼太，吉川 隼人，豊田 浩孝多方向画像取得によるプラズマ発光およびシース構造の三次元再構築 高橋 康太朗，安藤 悠介，堤 隆嘉，井上 健一，関根 誠，石川 健治機械学習を活用した中性種スペクトルのリアルタイム解析(2) 布村 正太，今井 祐輔，HSIAO Shih-Nan，堤 隆嘉，堀 勝プラズマ誘起欠陥の発生と修復 ～酸化膜のクライオエッチング～ 三輪 和弘，グエン ティ トゥイ ガー，赤木 大二郎，堀 勝，石川 健治酸素プラズマとギ酸蒸気処理によるPt膜の異方性サイクルエッチング 島津 大隼，平井 俊也，堤 隆嘉，関根 誠，井上 健一，石川 健治電子線支援原子層エッチングにおけるフッ素化GaN 表面の反応性評価 大矢 拓人，トラン トラン グエン，グエンティ トゥイ ガー，井上 健一，堤 隆嘉，石川健治プラズマエッチングによるダイヤモンドトレンチ形状の精密制御 来島 拓海，堤 隆嘉，関根 誠，井上 健一，石川 健治気相中ラジカル組成比がCFxの付着確率に及ぼす影響 土岡 柊斗，井上 健一，堤 隆嘉，関根 誠，石川 健治ラジカル種の深さ依存性がSiエッチング中の側壁保護に与える影響の調査 トラン トラン グエン，岩山 洋士，林 俊雄，井上 健一，堤 隆嘉，石川 健治エッチングガス解離過程の光電子－光イオンコインシデンスによる分析 林 俊雄，石川 健治，関根 誠，堀 勝CF3OCF3分子の電子物性と解離 林 俊雄，石川 健治，関根 誠，堀 勝CF3OC2F5分子の電子物性と解離 山川 太嗣，井上 健一，石川 健治，堀 勝，田中 宏昌NOラジカルの逐次生成に与えるプラズマ照射条件の影響 若司 瞭，キャメリア ミロン，中村香江，石川 健治，堀 勝，田中 宏昌複数回PAL処理による抗腫瘍効果の調査 葛 紹云，水野 寛子，石川 健治，鎌足 雄司，大塚 智裕，原 宏和，伊藤 昌文，堀 勝，田中 宏昌プラズマ処理が抗体-抗原相互作用に与える影響の調査 山本 航大，小栗 楓子，橋本 和宜，村田 富保，田中 宏昌，堀 勝，伊藤 昌文水蒸気添加ラジカル源を用いた活性化乳酸リンゲル液の肺がん細胞の不活性化効果 北川 大慈，清水 健太，志水 元亨，加藤 雅士，西川 泰弘，田中 宏昌，石川 健治，堀 勝，伊藤 昌文酸素ラジカル活性化インドール溶液の殺菌物質の分析 道山 大智，橋爪 博司，田中 宏昌，堀 勝，伊藤 昌文酸素ラジカル活性化乳酸ナトリウム混合表面活性剤溶液による殺菌効果 橋爪 博司，勝又 優子，柴田 有希，水野 寛子，阿部 明子，中村 香江，ミロン カメリア，田中 宏昌，伊藤 昌文，武山 桂子，堀川 英則，田中 はるか，前島 正義，宮下 直人，水野 正明，堀 勝プラズマ活性化溶液を用いたイチゴの病原菌感染防除の検討 川口 幸大，塚越 啓央，田中 宏昌，石川 健治，堀 勝，伊藤 昌文大気圧質量分析法を用いたイネ種皮の酸化窒素ラジカル透過率測定 伊藤 輝喜，橋爪 博司，近藤 隆，石川 健治，堀 勝，田中 宏昌非平衡大気圧プラズマを用いた植物種子の発芽性向上とそのメカニズムの解明 後藤 颯哉，橋爪 博司，田中 宏昌，堀 勝，伊藤 昌文酸素ラジカル活性化乳酸リンゲル液の大腸菌に対する殺菌効果 福井 公輝，田中 宏昌，石川 健治，堀 勝，伊藤 昌文酸素ラジカル照射銅クロロフィリンナトリウム溶液の殺菌効果 清水 健太，北川 大慈，田中 宏昌，石川 健治，堀 勝，伊藤 昌文酸素ラジカル活性化インドール溶液中の長寿命殺菌物質 尾崎 孝太朗，今井 祐輔，今井 友貴，堤 隆嘉，石川 健治，山本 裕司，Wen Wei-Chen，牧原 克典Si0.7Ge0.3/Si/Si0.7Ge0.3積層構造のCF4/H2プラズマエッチングにより形成したSiナノシートの欠陥評価 道山大智，橋爪博司，田中宏昌，堀勝，伊藤昌文酸素ラジカル活性化乳酸ナトリウム混合表面活性剤溶液による カビ胞子に対する殺菌効果 江藤 高志，北川 大慈，田中 宏昌，石川 健治，堀 勝，伊藤 昌文酸素ラジカル照射による液中TryptophanからNFKへの変換効率の照射距離依存性 山本 航大，小栗 楓子，橋本 和宜，村田 富保，田中 宏昌，堀 勝，伊藤 昌文水蒸気添加ラジカル源を用いた肺がん細胞の選択的不活性化効果 野呂 脩皓，山本 航大，田中 宏昌，堀 勝，伊藤 昌文ラジカル源を用いた乳酸リンゲル液成分制御のためのラジカル照射密度測定 川口幸大，塚越啓央，田中宏昌，石川健治，堀勝，伊藤昌文大気圧質量分析法によるイネ種皮の酸化窒素ラジカル透過率評価 ⼭川 太嗣，井上 健⼀，⽯川 健治，堀 勝，⽥中 宏昌医療分野を⾰新するプラズマ活性乳酸リンゲル液中の⼀酸化窒素ラジカルの反応ダイナミクスの解明 田中 文子，水野 正明，豊國 伸哉，梶山 広明，堀 勝，田中 宏昌 (. 名古屋大学・低温プラズマ科学研究センター，. 名古屋大学医学系研究科・附属健康医療ライフデザイン統合研究教育センター，. 名古屋大学医学系研究科・生体反応病理学，. 名古屋大学医学系研究科・産婦人科学)プラズマ活性乳酸リンゲル液による乳がん細胞の選択的細胞毒性機構の解明 後藤颯哉，橋爪博司，田中宏昌，堀勝，伊藤昌文Bactericidal effects of oxygen-radical activated surfactants with different structures Maho Yamada，Kae Nakamura，Hiroaki Kajiyama，Shinya Toyokuni，Masaaki Mizuno，Kenji Ishikawa，Masaru Hori，and Hiromasa Tanaka，山田真帆，中村香江，梶山広明，豊国伸哉.，水野正明，石川健治，堀勝，田中宏昌Effects of Direct Irradiation on Skin Using a Plasma Jet プラズマジェットを用いた皮膚への直接照射による影響 山川 太嗣，井上 健一，石川 健治，堀 勝，田中 宏昌プラズマ活性溶液中における一酸化窒素ラジカルの動態解析 Analysis of radical species in plasma-activated liquid 村谷 珠輝，田渕 圭章，古澤 之裕，近藤 隆，田中 宏昌，石川 健治，堀 勝低温プラズマを用いたがん治療戦略―活性酸素生成特性とDNA損傷応答ー Takuto Oya，Tran Trung Nguyen，Kenichi Inoue，Takayoshi Tsutsumi，and Kenji Ishikawa
大矢拓人，トラン トラン グエン，井上健一，堤隆嘉，石川健治Control of Trench Profiles during Plasma Etching of Diamond プラズマエッチングによるダイヤモンドのトレンチ形状制御 Shaoyun Ge，Hiroko Mizuno，Kenji Ishikawa，Yuji Kamatari，Tomohiro Otsuka，Hirokazu Hara，and Masafumi Ito，Masaru Hori，Hiromasa Tanaka，葛 紹云，水野 寛子，石川 健治，鎌足 雄司，大塚 智裕，原 宏和，伊藤 昌文，堀 勝，田中 宏昌Effects of Plasma Treatment on Intermolecular Interactions プラズマ処理による分子間の相互作用に与える影響 Michael Kin Ting
Mo，Arun Kumar Dhasiyan，Nikolay Britun，Naohiro Shimizu，Osamu Oda，and Masaru HoriEpitaxial Growth of Gallium Oxide (1): High-Density Oxygen Radical Source (HD-ORS) for MBE and PVD 清水 尚博 ダシアン アルン クマル 小田 修，五十嵐 信行，堀 勝酸化ガリウムのエピタキシャル成長(6) ｐ型 Ga 系半導体の 創成 における NiO ドープ拡散層の考察 Consideration of NiO diffusion layers for the creation of p-type Ga-based semiconductors ArunKumar Dhasiyan，Tomoki Takeda，Naofumi Kato，Naohiro Shimizu，Osamu Oda，Masaru HoriEpitaxial Growth of Gallium Oxide (2): Homoepitaxial Growth of β-Ga2O3 on Sn-doped Ga2O3 Substrates Using a Novel High-Density Oxygen Radical Source (HD-ORS) for MBE Arun Kumar Dhasiyan，Tomoki Takeda，Naofumi Kato，Naohiro Shimizu，Osamu Oda，and Masaru HoriEpitaxial Growth of Gallium Oxide (5): Hetero-Epitaxial Growth of Ga2O3 on Si (100) Substrates 小田 修，Dhasiyan Arun Kumar，武田 友樹，加藤 尚文，清水 尚博，堀 勝酸化ガリウムのエピタキシャル成長(4):Si基板の酸化防止のためのウェットエッチングとラングミュア吸着（エピタキシャル成長前処理） 橋爪博司，阿部明子，水野寛子，勝又優子，柴田由希，ミロンカメリア，湯浅元気，東野里江，田中宏昌，廣末庸治，北野英己，前島正義，齋藤邦彰，榊原 均，水野正明，堀 勝プラズマ活性化溶液を用いたイネ幼苗の成長促進効果の検討 Growth promotion of rice young seedlings by plasma-activated solution 林 俊雄，石川健治，関根 誠，堀 勝CF3CH2CF3 分子の電子物性と解離 Electronic properties and dissociation channels of CF3CH2CF3 molecule 林 俊雄，石川健治，関根 誠，堀 勝CF3CHFCHF2 分子の電子物性と解離 Electronic properties and dissociation channels of CF3CHFCHF2 molecule 小野 浩毅，堤 隆嘉，石川 健治，竹内 和歌奈，上原 賢一，安原 重雄，堀 勝，田中 宏昌イオンビームを用いたビニルシランによるSiC の低温成膜 Low-temperature deposition of SiC using vinylsilane with an ion beam 山川 太嗣，井上 健一，石川 健治，堀 勝，田中 宏昌プラズマ照射により誘起される液相中一酸化窒素ラジカルの 逐次生成機構解析 Analysis of the sequential generation mechanism of nitric oxide radicals in liquid phase induced by plasma irradiation 安藤 悠介，Hu Li，Jianping Zhao，松隈 正明，Peter Ventzek，石川 健治水素化アモルファスカーボン膜の真性応力生成メカニズムのデータ駆動型解析 Unveiling the intrinsic stress formation mechanism of hydrogenated amorphous carbon films (a-C:H) through data-driven analysis of ab-initio molecular dynamics study 平井 俊也，篠田 和典，グエン ティ トゥイ ガー，堤 隆嘉，井上 健一，石川 健治塩素ラジカルによる窒化チタン熱サイクル原子層エッチング後 の残留塩素への水素ラジカル照射効果のin-situ表面反応解析 In-situ Surface Reaction Analysis of Hydrogen Radical Irradiation Effects on Residual Chlorine after Thermal-Cyclic Atomic Layer Etching of Titanium Nitride Using Chlorine Radicals. 若司 瞭，田中 文子，キャメリア ミロン，中村 香江，石川 健治，堀 勝，田中 宏昌プラズマ活性乳酸リンゲル液の複数回処理による MCF-7細胞の抗酸化遺伝子の発現量変化 Changes in antioxidant gene expression in MCF-7 cells after repeated treatment with plasma-activated Ringer’s lactate solution 青山 哲也，Camelia Miron，勝又 優子，石川 健治，堀 勝，田中 宏昌PAL内活性有機物に対する細胞応答 Cellular responses to reactive organic substances in PAL 武田 友樹，加藤 尚文，Dhasiyan Arun Kumar，清水 尚博，小田 修，堀 勝酸化ガリウムのエピタキシャル成長 (3):高密度酸素ラジカル源(HD-ORS)を用いた物理蒸着法(PVD)によるSnドープGa₂O₃基板上での β‑Ga₂O₃のホモエピタキシャル成長 佐分利 伊吹，尾崎 孝太朗，今井 友貴，堤 隆嘉，石川 健治，Yamamoto Yuji，Wen Wei-Chen，牧原 克典CF4/H2プラズマ照射がSiおよびSi0.7Ge0.3の表面反応に及ぼす影響 石井 聡太，尾崎 孝太郎，矢野 瑛汰，佐分利 伊吹，今井 友貴，堤 隆嘉，石川 健治，Yamamoto Yuji，Wen Wei-Chen，牧原 克典エピタキシャル成長した Si0.7Ge0.3 薄膜における HBr プラズマによるドライエッチング 北川 大慈，江藤 高志，Cameria Miron，近藤 隆，田中 宏昌，石川 健治，堀 勝，伊藤 昌文同位体標識を用いた酸素ラジカルとトリプトファン間の反応経路の解析 江藤 高志，北川 大慈，野呂 脩皓，田中 宏昌，石川 健治，堀 勝，伊藤 昌文酸素ラジカル処理Trp溶液による細胞増殖促進効果の細胞種依存性 氏家 凜乃，西村 駿佑，井上 健一，石川 健治，中林 一美プラズマ活性水による種子発芽制御と農業利用への可能性 (MC)後藤 颯哉，道山 大智，橋爪 博司，田中 宏昌，堀 勝，伊藤 昌文酸素ラジカル活性化界面活性剤の殺菌における分子構造依存性 野呂 脩皓，山本 航大，田中 宏昌，堀 勝，伊藤 昌文プラズマ活性化乳酸リンゲル液による乳がん細胞の選択的不活性化に おけるラジカルの影響