Invited talk 堀 勝先端プラズマ計測技術が拓くナノプロセス 堀 勝大学から見た知的クラスターとは 堀 勝, 平松 美根男カーボンナノウォールの創製と応用 堀 勝明日の仕事に役に立つ大気圧プラズマ技術の基礎と実例 堀 勝フレキシブルデバイス用プラズマプロセスとダメージ評価 堀 勝大気圧プラズマ源によるシリコン酸化膜・有機膜の超高速エッチング技術 堀 勝, 平松 美根男カーボンナノウォールの創成とFEDへの応用 高島 成剛, 堀 勝ラジカル計測・制御による自律型ナノプロセスの開発 堀 勝プラズマ診断技術、大気圧プラズマ技術と産業応用 堀 勝45/32nm時代のエッチング技術 堀 勝, 平松 美根男超臨界CVDを用いたカーボンナノ構造体へのナノPt粒子形成とデバイスへの応用 堀 勝プラズマによる産業革新 堀 勝自律型四次元大気圧プラズマ製造装置に関する研究開発 堀 勝プラズマ計測の基礎 堀 勝プラズマバイオニクスの創成と進展 高島 成剛, 堀 勝大気圧プラズマの表面処理への応用－洗浄･親水・撥水・切削・耐磨耗－ 堀 勝リモートプラズマ試験機のラジカル絶対密度 堀 勝リモートプラズマ試験機のラジカル絶対密度 高島 成剛, 堀 勝分光分析を用いたプラズマナノ科学に基づくプロセス開発 堀 勝明日の仕事に役立つプラズマエッチングの基礎と実例―半導体プロセスを中心として― 高島 成剛, 堀 勝自律型ナノ製造装置とプラズマ応用技術について 堀 勝先進プラズマ計測科学に基づいた大気圧プラズマ有機膜ナノエッチングプロセス 堀 勝「学会・大学・科学館・小・中学校の連携による最新科学技術教材の開発」成果報告 堀 勝プラズマエッチングの基礎から最先端研究まで 堀 勝最先端プラズマ装置の概略とプラズマ応用センターへの展望 堀 勝プラズマCVDによるカーボンナノウォールの配向成長 堀 勝大気圧プラズマを用いた半導体デバイスプロセス General 原 安寛, 高島 成剛, 山川 晃司, 田 昭治, 加納 浩之, 菅井 秀郎, 堀 勝高速原子源の開発と特性評価 岩崎 正博, 伊藤 昌文, 屋良 卓也, 上原 剛, 堀 勝大気圧非平衡パルスプラズマを用いた大型液晶用ガラス基板クリーニングプロセスと気相診断 出口 高啓, 平松 美根男, 堀 勝マイクロ波プラズマCVD法を用いた自己組織化円錐形状を有するカーボンナノチューブ膜 近藤 真悟, 河合 信次, 山川 晃司, 加納 浩之, 平松 美根男, 堀 勝ラジカル注入型プラズマCVD法を用いたカーボンナノウォールにおける初期成長過程の解析 森 貴照, 平松 美根男, 山川 晃司, 竹田 圭吾, 堀 勝電子ビーム励起プラズマCVD法を用いたカーボンナノウォールの形成 丸山 茂敏, 山川 晃司, 加納 浩之, 平松 美根男, 堀 勝様々な基板上でのカーボンナノウォールの作製 加藤 慧, 佐々木 元, 高島 成剛, 山川 晃司, 平松 美根男, 堀 勝カーボンナノウォール作製用ラジカル注入型フルオロカーボン／水素VHFプラズマ中のラジカル計測 大林 友視, 山川 晃司, 加納 浩之, 平松 美根男, 堀 勝カーボンナノウォールからの電解電子放出における水素プラズマ処理効果 町野 琢磨, 中村 匡利, 山川 晃司, 平松 美根男, 堀 勝電解電子放出特性におけるカーボンナノウォールへの高分散白金微粒子担持効果 佐々木 元, 高島 成剛, 堀 勝真空紫外吸収分光法を用いた炭素原子絶対密度算出法の確立 堀 勝, 竹田 圭吾, 高島 成剛, 塩澤 俊彦, 壁 義郎, 北川 淳一, 中西 俊雄Si酸化プロセス用量産型希ガス添加酸素表面波プラズマの気相診断 高橋 栄治, 伊藤 優, 知京 豊裕, 堀 勝パルス変調UHFプラズマを用いたシリコンナノ微粒子の室温堆積 李 明龍, 松原 丈晃, 今枝 弘幸, 竹田 圭吾, 増元 祐介, 森 竜雄, 多田 重和, 堀 勝VHF SiH4/NH3プラズマを用いた有機EL用パッシベーション膜の低温形成とHe添加によるバリア性の向上 高橋 俊次, 高島 成剛, 賈 学英, 山川 晃司, 田 昭治, 加納 浩之, 堀 勝コンパクトプローブの開発とH,N,O及びCの計測 橘 善洋, 山下 瞬, 太田 貴之, 伊藤 昌文, 高島 成剛, 東島 康裕, 加納 浩之, 田 昭治, 堀 勝コンパクトマルチマイクロホロー光源を用いたスパッタプロセス中の多元素同時モニタリング 内田 三郎, 高島 成剛, 深沢 正永, 大島 啓示, 長畑 和典, 辰巳 哲也, 堀 勝N2/H2混合ガスプラズマを用いたLow-k膜エッチングにおけるダメージ評価 橘 善洋, 山下 瞬, 太田 貴之, 伊藤 昌文, 高島 成剛, 東島 康裕, 加納 浩之, 田 昭治, 堀 勝スパッタプロセス中の多元素同時モニタリング 高雄 悟, 河村 和幸, 太田 貴之, 伊藤 昌文, 東島 康裕, 加納 浩之, 西澤 典彦, 堀 勝微小キャビティを用いた吸収分光センサシステムの開発 小西 隆二郎, 葉田 督治, 太田 貴之, 伊藤 昌文, 高島 成剛, 東島 康裕, 加納 浩之, 田 昭治, 堀 勝近赤外域における光ファイバ型吸収分光センサの開発 堀 勝低次元カーボン系チャネルエンジニアリング －窒素ガス添加によるカーボンナノウォールの電気伝導特性の制御－ 特定領域研究シリコンナノエレクトロニクスの新展開―ポストスケーリングテクノロジー― 高島 成剛, 堀 勝低次元カーボン系チャネルエンジニアリング －カーボンナノウォール形成プラズマにおける原子状ラジカルの挙動－ 特定領域研究シリコンナノエレクトロニクスの新展開―ポストスケーリングテクノロジー― 野田 章夫, 平松 美根男, 堀 勝SiO2へのカーボンナノウォールの形状転写 乾 裕俊, 出野 琢也, 藤原 裕之, 増田 淳, 近藤 道雄, 平松 美根男, 堀 勝大気圧マイクロプラズマを用いたシリコンダイシング技術 山本 洋, 高島 成剛, 河内 良太, 高橋 俊次, 田 昭治, 堀 勝100MHz容量結合型水素・窒素混合ガスプラズマエッチングプロセス(I) 高島 成剛, 内田 三郎, 深沢 正永, 大島 啓示, 長畑 和典, 辰巳 哲也, 堀 勝二周波励起容量結合型プラズマエッチングプロセスにおける真空紫外光、紫外光、ラジカル、イオンによるLow-k膜へのダメージ(III) 深沢 正永, 辰巳 哲也, 長畑 和典, 内田 三郎, 高島 成剛, 堀 勝, 上出 幸洋N-H系プラズマによるSiOCHダメージの抑制 李 明龍, 松原 丈晃, 竹田 圭吾, 増本 祐介, 森 竜雄, 多田 重和, 早川 晴仁, 堀 勝VHF容量結合型プラズマを用いたSiN膜の低温形成及び有機デバイス保護膜への応用 林友視, 山川 晃司, 加納 浩之, 平松 美根男, 堀 勝カーボンナノウォールへのMgOコーティングとその電界電子放出特性 町野 琢磨, 中村 匡利, 山川 晃司, 平松 美根男, 堀 勝電界電子放出特性におけるカーボンナノウォールへの金属微粒子担持効果 竹内 和歌奈, 浦 雅登, 徳田 豊, 平松 美根男, 加納 浩之, 堀 勝カーボンナノウォール成長における添加ガス効果 加藤 慧, 佐々木 元, 高島 成剛, 平松 美根男, 堀 勝VHFプラズマを用いたカーボンナノウォール作製時におけるラジカル密度計測 丸山 茂敏, 山川 晃司, 加納 浩之, 平松 美根男, 堀 勝ラジカル注入プラズマCVD法によるカーボンナノウォールの形状制御 近藤 真悟, 山川 晃司, 平松 美根男, 堀 勝ラジカル注入プラズマCVD法を用いて作製したカーボンナノウォールのエッチング特性 森 貴照, 平松 美根男, 山川 晃司, 竹田 圭吾, 堀 勝電子ビーム励起プラズマCVD法を用いたカーボンナノウォールの形成 山川 晃司, 田 昭治, 片桐 俊郎, 加納 浩之, 平松 美根男, 堀 勝ラジカル注入プラズマCVD装置によるカーボンナノウォールの高速成長 井関 紗千子, 青松 哲純, 太田 貴之, 伊藤 昌文, 加納 浩之, 東島 康裕, 堀 勝非平衡大気圧プラズマを用いたミドリカビ菌の殺菌処理法の開発 竹田 圭吾, 高島 成剛, 塩澤 俊彦, 壁 義郎, 北川 淳一, 中西 敏雄, 堀 勝量産型表面波励起プラズマ装置における添加希ガス種によるSi酸化プロセスへの影響 小田 繁尚, 近藤 博基, 原 安寛, 高島 成剛, 酒井 朗, 小川 正毅, 財満 鎭明, 堀 勝, 田 昭治, 加納 浩之高密度ラジカルソースの開発とラジカル窒化プロセスへの応用 岩崎 正博, 伊藤 昌文, 屋良 卓也, 上原 剛, 堀 勝大気圧非平衡プラズマによる大面積クリーニングプロセスと気相診断(II) 佐々木 元, 高島 成剛, 堀 勝真空紫外吸収分光法による炭素原子絶対密度算出法の確立 橘 善洋, 山下 瞬, 太田 貴之, 伊藤 昌文, 高島 成剛, 東島 康裕, 加納 浩之, 田 昭治, 堀 勝コンパクトマルチマイクロホロー光源を用いたスパッタプロセスの解析 原 安寛, 高島 成剛, 山川 晃司, 田 昭治, 加納 浩之, 豊田 浩孝, 菅井 秀郎, 堀 勝高速ラジカルプロセス(II) -高速ArおよびNラジカルの挙動 大林 友視, 山川 晃司, 加納 浩之, 平松 美根男, 堀 勝The Effect of MgO Coating on Carbon Nanowalls for Field Emission 竹内 和歌奈, 浦 雅登, 徳田 豊, 平松 美根男, 加納 浩之, 堀 勝Effect of Doped Carbon Nanowalls by Nitrogen Addition 近藤 真悟, 山川 晃司, 平松 美根男, 堀 勝Ar/H2 Plasma Etching Effect of Carbon Nanowalls Using Radical Injection Plasma Enhanced CVD 町野 琢磨, 山川 晃司, 平松 美根男, 堀 勝Supporting Dispersed Pt Nanoparticles on CNWs and the Field Emission Measurement 野田 章夫, 平松 美根男, 堀 勝Pattern Transfer of Carbon Nanowalls into SiO2 Film 出口 高啓, 平松 美根男, 堀 勝Fabrication of Aligned Carbon Nanotube Film with Self-Assembled Conical Tips Using Microwave Plasma-Enhanced CVD 加藤 慧, 佐々木 元, 高島 成剛, 山川 晃司, 平松 美根男, 堀 勝Measurements of Radical Density in VHF Fluorocarbon/Hydrogen Plasma with Radical Injection Used for Carbon Nanowall Fabrication 井関 紗千子, 青松 哲純, 太田 貴之, 伊藤 昌文, 加納 浩之, 東島 康裕, 堀 勝Effect of O2 Addition on Sterilization of Penicillium Digitatum Using Non-Equilibrium Atmospheric Pressure 乾 裕俊, 出野 琢也, 藤原 裕之, 増田 淳, 近藤 道雄, 平松 美根男, 堀 勝Study of Silicon Dicing Process Using Atmospheric Pressure Microplasma 岩崎 正博, 竹田 圭吾, 伊藤 昌文, 宮本 栄司, 屋良 卓也, 上原 剛, 堀 勝Measurement of O(3P) Concentration in Nonequilibrium Atmospheric-Pressure Pulsed Remote O2/N2 Plasma 山本 洋, 高島 成剛, 竹田 圭吾, 河内 良太, 高橋 俊次, 田 昭治, 堀 勝Behaviors of H and N Radicals in 100MHz Capacitively Coupled Plasma Using H2/N2 Mixture Gases for the Organic Low Dielectric Constant Film Etching 原 安寛, 高島 成剛, 山川 晃司, 田 昭治, 加納 浩之, 豊田 浩孝, 菅井 秀郎, 堀 勝Development and Characteristics of Fast Radical Source H2/N2 Mixture Gases for the Organic Low Dielectric Constant Film Etching 高島 成剛, 高橋 俊次, 山川 晃司, 田 昭治, 加納 浩之, 堀 勝Development of Atomic Radical Monitoring Probe and Its Application to Spatial Distribution Measurements in Material Process Plasmas 佐々木 元, 高島 成剛, 堀 勝Measurement Technique of Absolute Carbon Atom Density Using Vacuum Ultraviolet Absorption Spectroscopy with Microdischarge Hollow Cathode Lamp 内田 三郎, 高島 成剛, 深沢 正永, 大島 啓示, 長畑 和典, 辰巳 哲也, 堀 勝Plasma Damages on Low-k Films due to VUV Light, UV Light, Radical and Ion in Etching Process 竹田 圭吾, 高島 成剛, 壁 義郎, 北川 淳一, 中西 俊雄, 堀 勝Effect of Species in Gas-Phase on Plasma Oxidation Process with Oxygen Based Surface Wave Plasma Diluted by Rare Gas 李 明龍, 松原 丈晃, 堀 勝Formation of SiN Films on Si Substrates at Low Temperature using VHF-CCP and Improvement of the Properties 高橋 栄治, 知京 豊裕, 堀 勝Low Temperature Deposition of Silicon Nanoparticles using Pulse-Modulated UHF SiH4/H2 Plasma 鞠 揮, 太田 貴之, 伊藤 昌文, 佐々木 実, 羽根 一博, 堀 勝Etching Profile Characteristics of ICP Pre-Etched Micro Cavities on (111) Silicon Wafer 近藤 博基, 小田 繁尚, 高島 成剛, 酒井 朗, 小川 正毅, 財満 鎭明, 堀 勝, 田 昭治, 加納 浩之Development of New High-Density Radical Sources and its Application to Radical Nitridation of Ge Surfaces 橘 善洋, 太田 貴之, 伊藤 昌文, 高島 成剛, 東島 康裕, 加納 浩之, 田 昭治, 堀 勝Development of Light Source for Simultaneous Monitoring of Multi Elements using Micro Hollow Cathode Plasma 堀 勝低次元カーボン系チャネルエンジニアリング 町野 琢磨, 山川 晃司, 平松 美根男, 堀 勝超臨界CO2/有機金属を用いたカーボンナノウォールへの触媒用白金微粒子担持 大林 友視, 山川 晃司, 加納 浩之, 平松 美根男, 堀 勝プラズマ窒化処理を施したカーボンナノウォールからの電界放出 竹内 和歌奈, 徳田 豊, 平松 美根男, 加納 浩之, 堀 勝酸素添加ガスによるカーボンナノウォールの構造制御 山茂 敏, 山川 晃司, 加納 浩之, 平松 美根男, 堀 勝ラジカル注入プラズマCVD法によるカーボンナノウォールの形状制御(II) 高橋 栄治, 知京 豊裕, 堀 勝パルス変調UHF SiH4/H2プラズマを用いたナノシリコン微粒子の室温高速合成（VI） 鞠 揮, 太田 貴之, 伊藤 昌文, 佐々木 実, 羽根 一博, 堀 勝Etching Profile Characteristics of ICP Pre-etched Micro Cavities on (111) Silicon Wafer 竹田 圭吾, 高島 成剛, 壁 義郎, 北川 淳一, 中西 敏雄, 伊藤 仁, 堀 勝パルス変調Ar/O2表面波プラズマにおける酸素原子の振舞い 近藤 真悟, Olivera Stephanovic, 山川 晃司, 田 昭治, 平松 美根男, 堀 勝ラジカルCVDによるカーボン膜成長中のin-situ分光エリプソメトリー解析 西澤 典彦, 堀 勝高エネルギーpsパルスによる超広帯域高精度スーパーコンティニューム光の生成 内田 三郎, 高島 成剛, 斉藤 良太, 深沢 正永, 大島 啓示, 長畑 和典, 辰巳 哲也, 堀 勝二周波励起容量結合型プラズマエッチングプロセスにおける真空紫外光、紫外光、ラジカル、イオンによるLow-k膜へのダメージ(IV) 山本 洋, 高橋 俊次, 竹田 圭吾, 河内 良太, 田 昭治, 関根 誠, 堀 勝H2プラズマによるSiOCH低誘電率膜へのダメージ評価とダメージ発生機構の解明（I） 柴田 英美, 岡本 秀一, 関根 誠, 堀 勝代替フルオロカーボンガスを用いたlow-k膜エッチングプロセス(IV) 太田 貴之, 橘 善洋, 伊藤 昌文, 高島 成剛, 東島 康裕, 加納 浩之, 田 昭治, 堀 勝マルチマイクロホローカソード光源の開発（Ⅱ） 岩崎 正博, 松平 雄人, 伊藤 昌文, 宮本 栄司, 屋良 卓也, 上原 剛, 堀 勝大気圧非平衡パルスプラズマを用いた大面積クリーニングプロセスにおける酸化種の影響 河野 悟司, 竹田 圭吾, 山川 晃司, 前田 智宏, 堀 勝新規ラジカルプロセスの構築（I） 佐々木 元, 高島 成剛, 竹田 圭吾, 堀 勝フッ素原子絶対密度計測用コンパクト真空紫外吸収分光システムの開発 高島 成剛, 竹田 圭吾, 堀 勝真空紫外レーザ吸収分光法による原子状ラジカル計測用光源の評価 原 安寛, 高島 成剛, 山川 晃司, 田 昭治, 加納 浩之, 豊田 浩孝, 関根 誠, 堀 勝高速ラジカルプロセス(Ⅲ) -N2分子ビーム及びNラジカルビームの挙動- 町野 琢磨, 堀 勝, 加納 浩之, 平松 美根男超臨界CVDを用いたカーボンナノウォールへの触媒用白金微粒子担持 近藤 真悟, 竹内 和歌奈, ステパノヴィッチ オリヴェラ, 山川 晃司, 平松 美根男, 堀 勝ラジカル注入型プラズマCVD法を用いて作成したO2添加CNWの初期成長過程 堀 勝低次元カーボン系チャネルエンジニアリング 竹内 和歌奈, 高島 成剛, 堀 勝カーボンナノウォールの形状制御と電気特性 柏原 雅好, 竹内 和歌奈, 高島 成剛, 堀 勝カーボンナノウォールに対する熱処理による効果