Invited talk 堀 勝プラズマ診断技術の最新動向 堀 勝プラズマ医療・分子システム科学 堀 勝プラズマナノ工学研究センターにおけるナノ・バイオプロセス研究と支援事例 堀 勝独創的研究が創出するプラズマ材料イノベーション 堀 勝プラズマ医療科学の潮流 石川 健治GaNプラズマ誘起ダメージの修復 堀 勝先端エッチング技術の最新動向徹底解説 石川 健治水素ラジカルのポリマー表面反応の実時間・その場電子スピン共鳴(ESR)解析 林 俊雄, 石川 健治, 関根 誠, 堀 勝計算化学を用いたプロセスプラズマ中の反応解析 石川 健治, 田中 宏昌, 橋爪 博司, 竹田 圭吾, 近藤 博基, 関根 誠, 堀 勝プラズマ誘起バイオマテリアルの表面反応とプラズマ医療への展開 近藤 博基, 堀 勝プラズマ誘起ナノプロセスの進展と放射光実験への期待 堀 勝プラズマで「がん」を治すはなし 堀 勝最先端プラズマ科学が拓く電子デバイス・機能材料プロセッシング 石川 健治実践的プラズマ計測手法 堀 勝最先端プラズマプロセスにおける計測・制御 堀 勝最先端プラズマ科学研究が拓く未来医療と健康 ～工学と医学と農水産学の融合～ 石川 健治プラズマ照射液相の実験的解析 堀 勝プラズマ生命科学が拓く未来社会 堀 勝医療イノベーション創出にむけたプラズマ技術への期待 General 盧 翌, 小林 明子, 石川 健治, 近藤 博基, 関根 誠, 堀 勝 プラズマ支援原子層堆積法によるSiO2低温成長機構に関する研究 孫 昿達, 竹田 圭吾, 石川 健治, 近藤 博基, 関根 誠, 堀 勝大気圧プラズマを用いたミスト化学気相堆積法によるSiO2絶縁膜の低温形成 近藤 博基, 下枝 弘尚, 石川 健治, 平松 美根男, 関根 誠, 堀 勝カーボンナノウォールの結晶構造に対するラジカル酸化効果(Ⅲ) 孫 昿達, 竹田 圭吾, 石川 健治, 近藤 博基, 関根 誠, 堀 勝大気圧プラズマ化学気相堆積法による超撥水薄膜の形成 小島 和晃, 安藤 睦, 竹田 圭吾, 石川 健治, 太田 貴之, 伊藤 昌文, 堀 勝コヒーレントアンチストークスラマン散乱分光法を用いたナノグラフェン合成用液中プラズマの診断 堤 隆嘉, 竹田 圭吾, 石川 健治, 近藤 博基, 太田 貴之, 伊藤 昌文, 関根 誠, 堀 勝非接触基板温度計測システムを用いたプラズマプロセス中の基板温度および熱流速計測 鈴木 俊哉, 福永 裕介, 竹田 圭吾, 近藤 博基, 石川 健治, 関根 誠, 堀 勝プロセス履歴のチャンバー壁表面損失確率への影響とH2/N2プラズマ中のラジカル密度の時間変化 鈴木 陽香, 中野 優, 伊藤 仁, 関根 誠, 堀 勝, 豊田 浩孝パルスマイクロ波励起大気圧ラインプラズマの空間分解計測 中野 優, 鈴木 陽香, 伊藤 仁, 関根 誠, 堀 勝, 豊田 浩孝メートル級マイクロ波大気圧ラインプラズマの均一性評価 天野 智貴, 近藤 博基, 竹田 圭吾, 石川 健治, 太田 貴之, 伊藤 昌文, 平松 美根男, 加納 浩之, 関根 誠, 堀 勝液中プラズマで合成したナノグラフェンを用いた燃料電池用電極の安定性 内田 儀一郎, 竹中 弘祐, 宮崎 敦史, 川端 一史, 節原 裕一, 竹田 圭吾, 石川 健治, 堀 勝大気圧誘電体バリア放電プラズマジェットにおける反応性粒子生成挙動 - 放電周波数に対す効果 - 宮脇 雄大, 王 浩然, 石川 健治, 近藤 祐介, 竹田 圭吾, 近藤 博基, 堀邊 英夫, 関根 誠, 堀 勝プラズマプロセス中のポリメタクリル酸メチル（PMMA）表面の実時間・その場電子スピン共鳴法による反応解析 張 彦, 石川 健治, 関根 誠, 深沢 正永, 長畑 和典, 冨谷 茂隆, 辰巳 哲也, 竹田 圭吾, 近藤 博基, 堀 勝プラズマ光と表面の相互作用の解明 加古 隆, 劉 沢セイ, 石川 健治, 小田 修, 竹田 圭吾, 近藤 博基, 関根 誠, 堀 勝CH4/H2プラズマによるGaNの高温エッチング 熊倉 匠, 竹田 圭吾, 石川 健治, 田中 宏昌, 近藤 博基, 加納 浩之, 中井 義浩, 関根 誠, 堀 勝医療・バイオ用AC励起大気圧非平衡プラズマジェットの気相診断 橋爪 博司, 太田 貴之, 堀 勝, 伊藤 昌文酸素ラジカル照射による出芽酵母の増殖制御の解析 橋爪 博司, 岡 有也, 唐渡 卓也, 太田 貴之, 竹田 圭吾, 石川 健治, 堀 勝, 伊藤 昌文酸素ラジカル殺菌におけるミドリカビ胞子の細胞内構造の観察 倉家 尚之, 田中 宏昌, 石川 健治, 中村 香江, 梶山 広明, 吉川 史隆, 近藤 隆, 水野 正明, 竹田 圭吾, 近藤 博基, 関根 誠, 堀 勝大気圧プラズマ照射培養液の電子スピン共鳴(ESR)による解析 唐渡 卓也, 橋爪 博司, 太田 貴之, 堀 勝, 伊藤 昌文中性酸素ラジカル照射による液中殺菌 坂倉 崚亮, 石川 健治, 田中 宏昌, 橋爪 博司, 太田 貴之, 伊藤 昌文, 竹田 圭吾, 近藤 博基, 関根 誠, 堀 勝プラズマ照射した食肉血液成分の電子スピン共鳴解析 梁 思潔, 竹田 圭吾, 近藤 博基, 加納 浩之, 石川 健治, 関根 誠, 堀 勝AC 励起大気圧非平衡 Ar プラズマ生成における 大気ガス巻込みの影響 安藤 睦, 小島 和晃, 竹田 圭吾, 近藤 博基, 石川 健治, 関根 誠, 太田 貴之, 伊藤 昌文, 平松 美根男, 加納 浩之, 堀 勝AC励起アルコール液中プラズマにおけるナノグラフェン合成機構の解析 林 俊雄, 石川 健治, 関根 誠, 堀 勝CF4-x(x=0-3)化合物の超励起状態とイオン化 近藤 祐介, 宮脇 雄大, 竹田 圭吾, 近藤 博基, 田嶋 聡美, 石川 健治, 林 俊雄, 関根 誠, 堀 勝CHxFyプラズマにおける活性種生成過程とエッチング機構の解明(IV) 劉 沢セイ, 加古 隆, 石川 健治, 小田 修, 竹田 圭吾, 近藤 博基, 関根 誠, 堀 勝高温における窒化ガリウム(GaN)のエッチング機構(4) 張 彦, 石川 健治, 竹田 圭吾, 近藤 博基, 関根 誠, 堀 勝Mechanism of Surface Roughness of ArF Photoresist During HBr PlasmaEtching Processes (2) 佐藤 龍仁, 熊谷 慎也, 堀 勝, 佐々木 実MEMS大気圧プラズマ光源の省電力化 田嶋 聡美, 林 俊雄, 石川 健治, 関根 誠, 佐々木 実, 山川 晃司, 堀 勝NOとF2を用いたSiケミカルドライエッチング中のF失活過程の解析(I) 堤 裕理, 水谷 駿介, 木津 良祐, 近藤 博基, 堀 勝, 本田 善央, 天野 浩高密度窒素ラジカル源を用いたRF-MBE法による(111)Si基板上GaNナノワイヤ高速成長 石川 健治, 倉家 尚之, 田中 宏昌, 中村 香江, 近藤 隆, 梶山 広明, 吉川 史隆, 水野 正明, 竹田 圭吾, 近藤 博基, 関根 誠, 堀 勝大気圧プラズマ照射培養液の電子スピン共鳴（ESR）による解析 近藤 隆, 内山 英史, 趙 慶利, 能島 信行, 竹田 圭吾, 石川 健治, 堀 勝大気圧Ar プラズマによる細胞内外の活性酸素生成-EPR スピン捕捉法およびフローサイトメトリーによる検討- Lingyun Jia, Da Xu, Masayuki Nakamura, Hirotsugu Sugiura, Hiroki Kondo, Kenji Ishikawa, Makoto Sekine, Masaru HoriInfluence of annealing on properties of amorphous carbon films grown by plasma-enhanced chemical vapor deposition Sijie Liang, Takumi Kumakura, Keigo Takeda, Hiroki Kondo, Hiroyuki Kano, Kenji Ishikawa, Makoto Sekine, Masaru HoriDiagnostics of reactive species on bio-liquid treatment with AC power excited non-equilibrium atmospheric pressure Ar plasma Keigo Takeda, Kenji Ishikawa, Hiromasa Tanaka, Hiroyuki Kano, Yasuhiro Higashijima, Makoto Sekine, Masaru HoriDiagnostics of AC power excited non-equilibrium atmospheric pressure plasma jet with vacuum ultraviolet spectroscopy Haruka Suzuki, Suguru Nakano, Hitoshi Itoh, Makoto Sekine, Masaru Hori, Hirotaka ToyodaPlasma movement mechanism in pseudo-continuous meter-scale atmospheric-pressure line plasma 杉浦 啓嗣, 賈 凌雲, 徐 達, 中村 将之, 近藤 博基, 関根 誠, 堀 勝プラズマ励起化学気相堆積法で成長したアモルファスカーボン膜の膜構造および電子物性における高周波電力依存性 田嶋 聡美, 林 俊雄, 石川 健治, 関根 誠, 佐々木 実, 山川 晃司, 堀 勝NOとF2を用いたSiケミカルドライエッチング中のF失活過程の解析(II) 盧 翌, 小田 修, 近藤 博基, 石川 健治, 関根 誠, 堀 勝Study on Homo-Epitaxial Growth of GaN by Radical-Enhanced Metal-Organic Chemical Vapor Deposition (REMOCVD) 堤 隆嘉, 福永 裕介, 石川 健治, 竹田 圭吾, 近藤 博基, 太田 貴之, 伊藤 昌文, 関根 誠, 堀 勝高速・高精度基板温度センサとパルス放電による基板温度制御 福永 裕介, 堤 隆嘉, 竹田 圭吾, 石川 健治, 近藤 博基, 関根 誠, 堀 勝基板温度制御による有機Low-k膜のエッチング形状制御 唐渡 卓也, 橋爪 博司, 太田 貴之, 石川 健治, 堀 勝, 伊藤 昌文電子スピン共鳴法による中性酸素ラジカル照射溶液の解析 倉家 尚之, 田中 宏昌, 石川 健治, 中村 香江, 梶山 広明, 吉川 史隆, 近藤 隆, 水野 正明, 竹田 圭吾, 近藤 博基, 関根 誠, 堀 勝大気圧プラズマ照射培養液の抗腫瘍効果作用機序の解析 小林 潤, 山内 啓資, 橋爪 博司, 太田 貴之, 堀 勝, 伊藤 昌文酸素ラジカル照射量による出芽酵母の活性化制御 森 洋介, 西田 圭佑, 橋爪 博司, 太田 貴之, 堀 勝, 伊藤 昌文大気圧酸素ラジカル源によるコウジカビ胞子の殺菌 熊倉 匠, 竹田 圭吾, 田中 宏昌, 秋山 真一, 石川 健治, 近藤 博基, 関根 誠, 堀 勝非平衡大気圧プラズマによるアルテミアの成長への影響に関する研究 藤田 英彦, 太田 貴之, 石川 健治, 竹田 圭吾, 堀 勝ウシ血清アルブミン(BSA)の非平衡大気圧プラズマ照射による質量分析スペクトルの変化 今井 駿, 近藤 博基, 石川 健治, 加納 浩之, 関根 誠, 平松 美根男, 堀 勝白金微粒子担持カーボンナノウォールの電気化学特性 東松 真和, 加島 洋平, 平松 美根男, 近藤 博基, 堀 勝マイクロ波プラズマＣＶＤ法を用いたグラフェンの作製 趙 亨峻, 田嶋 聡美, 近藤 博基, 石川 健治, 関根 誠, 平松 美根男, 堀 勝アルゴン/ フッ素ガスを用いたグラフェンエッジ終端のカーボンナノウォールの化学構造および電気的特性に対する効果 大慶 亮佑, 岩本 翔太, 太田 貴之, 伊藤 昌文, 平松 美根男, 近藤 博基, 堀 勝プラズマCVDによって形成したカーボンナノウォールを用いた燃料電池の作製 堤 隆嘉, 福永 裕介, 石川 健治, 竹田 圭吾, 近藤 博基, 太田 貴之, 伊藤 昌文, 関根 誠, 堀 勝高速・高精度基板温度制御によるエッチング形状 藤田 英彦, 太田 貴之, 石川 健治, 竹田 圭吾, 堀 勝非平衡大気圧プラズマ照射によるアミノ酸の質量分析スペクトルの変化 唐渡 卓也, 橋爪 博司, 太田 貴之, 石川 健治, 堀 勝, 伊藤 昌文微生物殺菌のための酸素ラジカル照射され溶液の電子スピン共鳴解析