2012

Invited talk

1. 堀 勝, 近藤 博基, 石川 健治, 竹田 圭吾, 関根 誠, 平松 美根男
   カーボンナノウォールの構造制御合成と高次機能化
   第59回応用物理学関係連合講演会, 早稲田大学, 東京都,
   2012年3月 15-18日, 15p-E8-4 (招待講演 )


2. 石川 健治
   プラズマエッチングの原理
   第6回名古屋大学プラズマナノ工学スクール：プラズマプロセスの基礎講義と実践的なプラズマ計測実習, 名古屋大学VBL３階ベンチャーホール,
   2012年8月 10日 (招待講演 )


3. 鈴木 俊哉, Arkadiusz Malinowski, 竹田 圭吾, 近藤 博基, 石川 健治, 節原 裕一, 白谷 正治, 関根 誠, 堀 勝
   有機材料エッチングによる電界電子放出ナノピラーの作成(II), 「講演奨励賞受賞記念講演」
   第73回応用物理学会学術講演会, 愛媛大学城北地区・松山大学文京キャンパス,
   2012年9月 11-14日, (招待講演 )


4. 堀 勝
   プラズマ医療科学創成による未来医療の革新
   第73回応用物理学会学術講演会, 愛媛大学城北地区・松山大学文京キャンパス,
   2012年9月 11-14日, (招待講演 )


5. 堀 勝
   プラズマ気相・表界面反応科学の最前線 ～プラズマと有機・生体との相互作用の解明～
   第60回レオロジー討論会, 名古屋大学東山キャンパス,
   2012年9月 26-28日, (招待講演 )

General

1. 近藤 博基, 安田 幸司, 牧原 克典, 宮崎 誠一, 平松 美根男, 関根 誠, 堀 勝
   走査プローブ顕微鏡によるカーボンナノウォールの初期成長過程の解明
   第59回応用物理学関係連合講演会, 東京都, 早稲田大学,
   2012年3月 15-18日, 16a-A3-11 (口頭 )


2. H. Hashizume, T. Ohta, M. Ito, S. Iseki, F. Jia, K. Takeda, K. Ishikawa, M. Hori
   Inactivation of spores of P. digitatum and its quantitative-evaluation using non-equilibrium atmospheric-pressure high-density oxygen-radical source
   第59回応用物理学関係連合講演会, 東京都, 早稲田大学,
   2012年3月 15-18日, 16a-B8-1 (口頭 )


3. S. Iseki, K. Nakamura, M. Hayashi, H. Tanaka, H. Kondo, H. Kajiyama, H. Kano, F. Kikkawa, M. Hori
   Anti-tumor effects of ovarian cancer cells by nonequilibrium atmospheric pressure plasma
   第59回応用物理学関係連合講演会, 東京都, 早稲田大学,
   2012年3月 15-18日, 16a-B8-4 (口頭 )


4. H. Tanaka, K. Nakamura, S. Iseki, H. Moriyama, H. Kajiyama, K. Ishikawa, H. Kano, F. Kikkawa, M. Mizuno, M. Hori
   Anti-tumor effects of glioma cancer cells by plasma activated medium
   第59回応用物理学関係連合講演会, 東京都, 早稲田大学,
   2012年3月 15-18日, 16a-B8-5 (口頭 )


5. 鈴木 俊哉, Arkadiusz Malinowski, 竹田 圭吾, 近藤 博基, 石川 健治, 節原 裕一, 白谷 正治, 関根 誠, 堀 勝
   有機材料エッチングによる電界電子放出ナノピラーの作成
   第59回応用物理学関係連合講演会, 東京都, 早稲田大学,
   2012年3月 15-18日, 16a-E3-5 (口頭 )


6. 三ツ口 真司, 平松 美根男, 堀部 剛良, 近藤 博基, 堀 勝, 加納 浩之
   燃料電池の電極応用に向けたカーボンファイバペーパ上へのカーボンナノウォールの成長
   第59回応用物理学関係連合講演会, 東京都, 早稲田大学,
   2012年3月 15-18日, 16p-A6-7 (口頭 )


7. 陸 雅, 福島 敦史, 阿部 祐介, 金 淵俊, 竹田 圭吾, 石川 健治, 近藤 博基, 関根 誠, 堀 勝
   水素ラジカル注入型プラズマ源を用いた微結晶シリコン成膜における成膜速度の向上効果
   第59回応用物理学関係連合講演会, 東京都, 早稲田大学,
   2012年3月 15-18日, 16p-A7-8 (口頭 )


8. J. Kularatne, H. Kano, F. Jia, M. Ito, T. Ohta, K. Takeda, K. Ishikawa, H. Kondo, M. Sekine, M. Hori
   Gas Temperature Behavior of Atmospheric Pressure Plasma Used for Metal Element Analysis in Liquid
   第59回応用物理学関係連合講演会, 東京都, 早稲田大学,
   2012年3月 15-18日, 16p-B8-12 (口頭 )


9. K. Tamiya, K. Ishikawa, H. Hashizume, T. Ohta, M. Ito, H. Tanaka, H. Moriyama, K. Takeda, H. Kondo, M. Sekine, M. Hori
   Real time in situ ESR measurements of Penicillium digitatum spores during oxygen radical irradiation
   第59回応用物理学関係連合講演会, 東京都, 早稲田大学,
   2012年3月 15-18日, 16p-B8-2 (口頭 )


10. T. Ohta, H. Hashizume, T. Mori, M. Ito, K. Takeda, M. Hori
    Plasma Agriculture (VI) - Fluorescence analysis of Penicillium digitatum spores on plasma inactivation using non-equilibrium atmospheric pressure plasma
    第59回応用物理学関係連合講演会, 東京都, 早稲田大学,
    2012年3月 15-18日, 16p-B8-3 (口頭 )


11. F. Jia, K. Takeda, K. Ishikawa, H. Kano, K. Jagath, H. Kondo, M. Sekine, M. Hori
    Spatio-temporal behaviours of species generated by atmospheric pressure plasma (1)
    第59回応用物理学関係連合講演会, 東京都, 早稲田大学,
    2012年3月 15-18日, 16p-B8-6 (口頭 )


12. 森山 寛子, 民谷 和浩, 橋爪 博司, 田中 宏昌, 石川 健治, 太田 貴之, 伊藤 昌文, 竹田 圭吾, 近藤 博基, 関根 誠, 堀 勝
    ミドリカビ胞子からの電子スピン共鳴信号の同定
    第59回応用物理学関係連合講演会, 東京都, 早稲田大学,
    2012年3月 15-18日, 17a-B8-7 (口頭 )


13. 下枝 弘尚, 近藤 博基, 石川 健治, 平松 美根男, 関根 誠, 堀 勝
    カーボンナノウォールの結晶学的構造に対する過酸化水素水処理の効果
    第59回応用物理学関係連合講演会, 東京都, 早稲田大学,
    2012年3月 15-18日, 17p-A3-9 (口頭 )


14. 古室 達也, 竹田 圭吾, 石川 健治, 関根 誠, 近藤 博基, 堀 勝
    ハイドロフルオロカーボンプラズマにおける絶縁膜の高選択エッチングメカニズムの解明
    第59回応用物理学関係連合講演会, 東京都, 早稲田大学,
    2012年3月 15-18日, 17p-A7-10 (口頭 )


15. 浅野 高平, 山本 洋, 宮脇 雄大, 竹田 圭吾, 近藤 博基, 石川 健治, 山崎 敦代, 鈴木 建文, 松本 裕一, 関根 誠, 堀 勝
    絶縁膜プラズマエッチングにおけるArFフォトレジストの表面モフォロジと化学結合変化の解析
    第59回応用物理学関係連合講演会, 東京都, 早稲田大学,
    2012年3月 15-18日, 17p-A7-13 (口頭 )


16. 田嶋 聡美, 石川 健治, 林 俊雄, 堀 勝
    プラズマレスSiケミカルドライエッチング手法の開発
    第59回応用物理学関係連合講演会, 東京都, 早稲田大学,
    2012年3月 15-18日, 17p-A7-14 (口頭 )


17. 鈴木 俊哉, 竹田 圭吾, 近藤 博基, 石川 健治, 節原 裕一, 白谷 正治, 関根 誠, 堀 勝
    H2/N2プラズマ中のラジカル密度へ前のプロセスが与える影響
    第59回応用物理学関係連合講演会, 東京都, 早稲田大学,
    2012年3月 15-18日, 17p-A7-16 (口頭 )


18. 宮脇 雄大, 近藤 祐介, 竹田 圭吾, 近藤 博基, 石川 健治, 伊東 安曇, 鈴木 健文, 松本 裕一, 関根 誠, 堀 勝
    C5HF7ガスを用いたSiO2高選択エッチングの機構解明
    第59回応用物理学関係連合講演会, 東京都, 早稲田大学,
    2012年3月 15-18日, 17p-A7-17 (口頭 )


19. 林 俊雄, 石川 健治, 関根 誠, 堀 勝, 河野 明廣, 鄒 弘綱
    SiエッチングにおけるO2、N2添加効果(II)
    第59回応用物理学関係連合講演会, 東京都, 早稲田大学,
    2012年3月 15-18日, 17p-A7-19 (口頭 )


20. 林 俊雄, 石川 健治, 関根 誠, 堀 勝, 河野 明廣, 鄒 弘綱
    基本的なエッチングガスの電子物性
    第59回応用物理学関係連合講演会, 東京都, 早稲田大学,
    2012年3月 15-18日, 17p-A7-20 (口頭 )


21. 陳 尚, 盧 翌, 米谷 亮祐, 石川 健治, 竹田 圭吾, 近藤 博基, 加納 浩之, 徳田 豊, 関根 誠, 江川 孝志, 天野 浩, 堀 勝
    GaN におけるプラズマダメージの水素ラジカル修復(2)
    第59回応用物理学関係連合講演会, 東京都, 早稲田大学,
    2012年3月 15-18日, 17p-A7-7 (口頭 )


22. 米谷 亮祐, 陳 尚, 盧 翌, 石川 健治, 竹田 圭吾, 近藤 博基, 関根 誠, 江川 孝志, 天野 浩, 堀 勝
    高温における窒化ガリウム（GaN）のエッチング機構（2）
    第59回応用物理学関係連合講演会, 東京都, 早稲田大学,
    2012年3月 15-18日, 17p-A7-8 (口頭 )


23. 鷲見 直也, 石川 健治, 河野 昭彦, 堀邊 英夫, 竹田 圭吾, 近藤 博基, 関根 誠, 堀 勝
    プラズマプロセス中における有機薄膜表面反応の実時間・その場観察電子スピン共鳴（ESR）解析（3）
    第59回応用物理学関係連合講演会, 東京都, 早稲田大学,
    2012年3月 15-18日, 17p-A7-9 (口頭 )


24. 堀部 剛良, 三ツ口 真司, 加納 浩之, 近藤 博基, 石川 健治, 平松 美根男, 関根 誠, 堀 勝
    超臨界流体を用いたPt-Au合金ナノ微粒子/カーボンナノウォール(CNWs)複合材料の作成
    第59回応用物理学関係連合講演会, 東京都, 早稲田大学,
    2012年3月 15-18日, 17p-B2-16 (口頭 )


25. 安藤 睦, 太田 貴之, 伊藤 昌文, 鈴木 智子, 井上 栄, 安藤 義則, 平松 美根男, 堀 勝
    単層カーボンナノチューブ高速合成のためのアークプラズマの分光診断
    第59回応用物理学関係連合講演会, 東京都, 早稲田大学,
    2012年3月 15-18日, 17p-B8-1 (口頭 )


26. 平岡 丈弘, 夏目 将利, 加藤 寛人, 堤 隆嘉, 太田 貴之, 伊藤 昌文, 竹田 圭吾, 近藤 博基, 堀 勝
    光干渉計を用いたカーボンナノウォール/Si基板の基板温度計測
    第59回応用物理学関係連合講演会, 東京都, 早稲田大学,
    2012年3月 15-18日, 18a-A7-8 (口頭 )


27. 浦川 達也, 鳥越 隆平, 徐 鉉雄, 内田 儀一郎, 板垣 奈穂, 古閑 一憲, 白谷 正治, 節原 裕一, 関根 誠, 堀 勝
    プラズマ異方性CVDカーボン膜の硬度のイオンエネルギー依存性
    第59回応用物理学関係連合講演会, 東京都, 早稲田大学,
    2012年3月 15-18日, 18a-B8-10 (口頭 )


28. 内藤 全晃, 平松 美根男, 近藤 博基, 堀 勝
    マイクロ波プラズマCVD法を用いたグラフェン膜の作製
    第59回応用物理学関係連合講演会, 東京都, 早稲田大学,
    2012年3月 15-18日, 18a-B8-8 (口頭 )


29. 九鬼 淳, 于 楽泳, 近藤 博基, 関根 誠, 堀 勝
    プラズマ励起化学気相堆積法で成長したアモルファスカーボン膜の電気的特性
    第59回応用物理学関係連合講演会, 東京都, 早稲田大学,
    2012年3月 15-18日, 18a-B8-9 (口頭 )


30. 佐藤 龍仁, 熊谷 慎也, 堀 勝, 佐々木 実
    浮遊電極浮遊電極の一部がガス流路内にガス流路内にある誘導結合型誘導結合型マイクロプラズマイクロプラズ源
    第59回応用物理学関係連合講演会, 東京都, 早稲田大学,
    2012年3月 15-18日 (口頭 )


31. 東島 康裕, 高島 成剛, 竹田 圭吾, 石川 健治, 関根 誠, 堀 勝
    フッ素ラジカル密度計測システムの開発
    中部ナノテク総合支援: ナノ材料創製加工と先端機器分析 平成23年度成果報告会, 自然科学研究機構岡崎コンファレンスセンター,
    2012年3月 31日, T05 ( )


32. 竹田 圭吾, 加藤 正規, 石川 健治, 関根 誠, 堀 勝
    AC励起大気圧非平衡O2/Arプラズマジェットの酸素原子空間密度分布
    中部ナノテク総合支援: ナノ材料創製加工と先端機器分析 平成23年度成果報告会, 自然科学研究機構岡崎コンファレンスセンター,
    2012年3月 31日, P05 ( )


33. 新井 祐, 能登 雄祐, 渡邉 誠, 鷲見 直也, 高橋 聖司, 河野 昭彦, 石川 健治, 堀 勝, 堀邊 英夫
    水素ラジカルによるPMMA系ポリマーの分解機構の解明
    第9回 Cat-CVD研究会, 千葉県, 日本大学 津田沼キャンパス,
    2012年6月 22-23日, OS-03 (口頭 )


34. 堀部 剛良, 近藤 博基, 加納 浩之, 石川 健治, 関根 誠, 平松 美根男, 堀 勝
    超臨界流体を用いたカーボンナノウォール(CNWs)へのPt
    第73回応用物理学会学術講演会, 愛媛県, 愛媛大学城北地区・松山大学文京キャンパス,
    2012年9月 11-14日, 11p-C2-38 ( )


35. 堤 隆嘉, 竹田 圭吾, 石川 健治, 近藤 博基, 太田 貴之, 伊藤 昌文, 関根 誠, 堀 勝
    窒化ガリウム（GaN）向けサファイア基板の周波数領域型低コヒーレンス干渉計による温度計
    第73回応用物理学会学術講演会, 愛媛県, 愛媛大学城北地区・松山大学文京キャンパス,
    2012年9月 11-14日, 11p-E2-8 ( )


36. 平岡 丈弘, 竹田 圭吾, 太田 貴之, 海老塚 昇, 近藤 博基, 石川 健治, 伊藤 昌文, 川瀬 晃道, 関根 誠, 堀 勝
    カーボンナノウォールのテラヘルツ時間領域分光計測による光学特性評価
    第73回応用物理学会学術講演会, 愛媛県, 愛媛大学城北地区・松山大学文京キャンパス,
    2012年9月 11-14日, 12a-C2-2 ( )


37. 趙 亨峻, 近藤 博基, 石川 健治, 関根 誠, 平松 美根男, 堀 勝
    窒素/水素混合ガスプラズマを用いたグラフェンエッジ化学修飾によるカーボンナノウォールの電気的特性制御
    第73回応用物理学会学術講演会, 愛媛県, 愛媛大学城北地区・松山大学文京キャンパス,
    2012年9月 11-14日, 12a-C2-6 ( )


38. 近藤 博基, 萩野 達也, 石川 健治, 関根 誠, 加納 浩之, 堀 勝
    Study on synthesis mechanisms of nano-graphene materials employing alcohol in-liquid plasma
    第73回応用物理学会学術講演会, 愛媛県, 愛媛大学城北地区・松山大学文京キャンパス,
    2012年9月 11-14日, 12a-E1-4 ( )


39. 下枝 弘尚, 近藤 博基, 石川 健治, 平松 美根男, 関根 誠, 堀 勝
    カーボンナノウォールの結晶構造に対するラジカル酸化効果
    第73回応用物理学会学術講演会, 愛媛県, 愛媛大学城北地区・松山大学文京キャンパス,
    2012年9月 11-14日, 12p-E3-2 ( )


40. 橋爪 博司, 太田 貴之, 伊藤 昌文, 賈 鳳東, 竹田 圭吾, 石川 健治, 堀 勝
    活性酸素種の密度測定によるミドリカビ胞子殺菌の定量的評価の検討
    第73回応用物理学会学術講演会, 愛媛県, 愛媛大学城北地区・松山大学文京キャンパス,
    2012年9月 11-14日, 13a-E1-35 ( )


41. 田中 宏昌, 水野 正明, 石川 健治, 中村 香江, 梶山 広明, 加納 浩之, 吉川 史隆, 堀 勝
    プラズマ培養液によるグリオーマ脳腫瘍細胞の選択的殺傷
    第73回応用物理学会学術講演会, 愛媛県, 愛媛大学城北地区・松山大学文京キャンパス,
    2012年9月 11-14日, 13a-E1-37 ( )


42. 陸 雅, 福島 敦史, 阿部 祐介, 金 淵俊, 竹田 圭吾, 石川 健治, 近藤 博基, 関根 誠, 堀 勝
    水素ラジカル注入型プラズマ源を用いた微結晶シリコン成膜のRFパワーによる膜質変化
    第73回応用物理学会学術講演会, 愛媛県, 愛媛大学城北地区・松山大学文京キャンパス,
    2012年9月 11-14日, 13a-E2-6 ( )


43. 福島 敦史, 阿部 祐介, 竹田 圭吾, 近藤 博基, 石川 健治, 関根 誠, 堀 勝, 陸 雅
    SiH4/H2プラズマ化学気相堆積法におけるHラジカル・成膜前駆体フラックス比とシリコン薄膜膜質の関係性
    第73回応用物理学会学術講演会, 愛媛県, 愛媛大学城北地区・松山大学文京キャンパス,
    2012年9月 11-14日, 13a-E2-7 ( )


44. 深沢 正永, 松谷 弘康, 本多 孝好, 宮脇 雄大, 近藤 祐介, 竹田 圭吾, 近藤 博基, 石川 健治, 関根 誠, 南 正樹, 上澤 史且, 堀 勝, 辰巳 哲也
    プラズマからの紫外線照射によるSiNx:H/Si界面準位生成
    第73回応用物理学会学術講演会, 愛媛県, 愛媛大学城北地区・松山大学文京キャンパス,
    2012年9月 11-14日, 13a-E3-1 ( )


45. 林 俊雄, 石川 健治, 関根 誠, 堀 勝
    C5F8および C5HF7の励起解離
    第73回応用物理学会学術講演会, 愛媛県, 愛媛大学城北地区・松山大学文京キャンパス,
    2012年9月 11-14日, 13a-E3-4 ( )


46. 田嶋 聡美, 林 俊雄, 石川 健治, 関根 誠, 堀 勝
    プラズマレスSiケミカルドライエッチング手法の開発(II)
    第73回応用物理学会学術講演会, 愛媛県, 愛媛大学城北地区・松山大学文京キャンパス,
    2012年9月 11-14日, 13a-F7-4 ( )


47. Yudai Miyawaki, Yusuke Kondo, Keigo Takeda, Hiroki Kondo, Kenji Ishikawa, Azumi Ito, Hirikazu Matsumoto, Makoto Sekine, Masaru Hori
    Relationship between Ion Energy and Highly Selective SiO2 Etching Characteristics using C5HF7 Gas
    第73回応用物理学会学術講演会, 愛媛県, 愛媛大学城北地区・松山大学文京キャンパス,
    2012年9月 11-14日, 13p-E1-1 (口頭 )


48. Hiroko Mizuno, Hiroshi Hashizume, Hiromasa Tanaka, Kenji Ishikawa, Takayuki Ohta, Masafumi Ito, Keigo Takeda, Hiroki Kondo, Makoto Sekine, Masaru Hori
    Identification of ESR signals arisen from Penicillium digitatum spores-2
    第73回応用物理学会学術講演会, 愛媛県, 愛媛大学城北地区・松山大学文京キャンパス,
    2012年9月 11-14日, 13p-E1-10 (口頭 )


49. Kenji Ishikawa, Hiroko Mizuno, Hiromasa Tanaka, Keigo Takeda, Hiroki Kondo, Makoto Sekine, Masaru Hori
    Vibrational Sum-Frequency-Generation (SFG) Spectroscopic study -2
    第73回応用物理学会学術講演会, 愛媛県, 愛媛大学城北地区・松山大学文京キャンパス,
    2012年9月 11-14日, 13p-E1-11 (口頭 )


50. Jagath Kularatne, Hiroyuki Kano, Masafumi Ito, Takayuki Ohta, Keigo Takeda, Hiroki Kondo, Kenji Ishikawa, Makoto Sekine, Masaru Hori
    Measuring Metal Elements in Food Products Using Ar Atmospheric Pressure Plasma
    第73回応用物理学会学術講演会, 愛媛県, 愛媛大学城北地区・松山大学文京キャンパス,
    2012年9月 11-14日, 13p-E1-12 (口頭 )


51. Yusuke Abe, Atsushi Fukushima, Ya Lu, Youn Joon Kim, Keigo Takeda, Hiroki Kondo, Kenji Ishikawa, Makoto Sekine, Masaru Hori
    Measurement of SiH3 Radicals in SiH4/H2 Plasma for Silicon Thin-Film Solar Cells
    第73回応用物理学会学術講演会, 愛媛県, 愛媛大学城北地区・松山大学文京キャンパス,
    2012年9月 11-14日, 13p-E1-16 (口頭 )


52. Leyong Yu, Jun Kuki, Hiroki Kondo, Kenji Ishikawa, Makoto Sekine, Masaru Hori
    Effect of nitrogen doping on photoconductivity of amorphous carbon films grown by radical-injection plasma-enhanced chemical vapor deposition
    第73回応用物理学会学術講演会, 愛媛県, 愛媛大学城北地区・松山大学文京キャンパス,
    2012年9月 11-14日, 13p-E1-17 (口頭 )


53. Yi Lu, Akiko Kobayashi, Youn Joon Kim, Kenji Ishikawa, Hiroki Kondo, Makoto Sekine, Masaru Hori
    Study on reaction mechanism of plasma-enhanced atomic layer deposition of SiO2 using in-situ ATR-FTIR
    第73回応用物理学会学術講演会, 愛媛県, 愛媛大学城北地区・松山大学文京キャンパス,
    2012年9月 11-14日, 13p-E1-18 (口頭 )


54. Yusuke Kondo, Yudai Miyawaki, Keigo Takeda, Hiroki Kondo, Kenji Ishikawa, Toshio Hayashi, Makoto Sekine, Masaru Hori
    Mechanism of Etching and Generating Active Species in CHxFy Plasma
    第73回応用物理学会学術講演会, 愛媛県, 愛媛大学城北地区・松山大学文京キャンパス,
    2012年9月 11-14日, 13p-E1-2 (口頭 )


55. Toshiya Suzuki, Arkadiusz Malinowski, Keigo Takeda, Hiroki Kondo, Kenji Ishikawa, Yuiichi Setsuhara, Masaharu Shiratani, Makoto Sekine, Masaru Hori
    Impact of Last Reactor Condition to Radical Density in Subsequent H2/N2 plasma and its Control
    第73回応用物理学会学術講演会, 愛媛県, 愛媛大学城北地区・松山大学文京キャンパス,
    2012年9月 11-14日, 13p-E1-3 (口頭 )


56. Jongyun Park, Takuya Takeuchi, Jiadong Cao, Kenji Ishikawa, Yuichi Setsuhara, Keigo Takeda, Hiroki Kondo, Makoto Sekine, Masaru Hori
    Properties of GaAs surface by ion irradiation of chlorine
    第73回応用物理学会学術講演会, 愛媛県, 愛媛大学城北地区・松山大学文京キャンパス,
    2012年9月 11-14日, 13p-E1-4 (口頭 )


57. Keigo Takeda, Kenji Ishikawa, Hiromasa Tanaka, Hiroyuki Kano, Makoto Sekine, Masaru Hori
    Behaviors of activated species generated by ultrahigh density 60 Hz atmospheric pressure Ar plasma in atmospheric gas
    第73回応用物理学会学術講演会, 愛媛県, 愛媛大学城北地区・松山大学文京キャンパス,
    2012年9月 11-14日, 13p-E1-9 (口頭 )


58. 浅野 高平, 宮脇 雄大, 竹田 圭吾, 近藤 博基, 石川 健治, 伊東 安曇, 松本 裕一, 関根 誠, 堀 勝
    C5HF7ガスプラズマによるArFフォトレジストの表面ラフネス形成の低減機構
    第73回応用物理学会学術講演会, 愛媛県, 愛媛大学城北地区・松山大学文京キャンパス,
    2012年9月 11-14日, 13p-E2-17 ( )


59. 古室 達也, 竹田 圭吾, 石川 健治, 関根 誠, 大矢 欣伸, 近藤 博基, 堀 勝
    二周波容量結合型プラズマへのDCバイアス重畳によるSiC膜に対する高選択比絶縁膜エッチング
    第73回応用物理学会学術講演会, 愛媛県, 愛媛大学城北地区・松山大学文京キャンパス,
    2012年9月 11-14日, 13p-E2-19 ( )


60. Zecheng Liu, 陳 尚, 盧 翌, 米谷 亮祐, 石川 健治, 加納 浩之, 竹田 圭吾, 近藤 博基, 関根 誠, 江川 孝志, 堀 勝, 天野 浩
    GaNにおけるプラズマダメージのラジカル修復（３）
    第73回応用物理学会学術講演会, 愛媛県, 愛媛大学城北地区・松山大学文京キャンパス,
    2012年9月 11-14日, 13p-E2-20 ( )


61. 曹 佳棟, 米谷 亮祐, 朴 鐘胤, 盧 翌, 陳 尚, 石川 健治, 関根 誠, 堀 勝
    Ga系化合物半導体のプラズマエッチングに関する研究
    第73回応用物理学会学術講演会, 愛媛県, 愛媛大学城北地区・松山大学文京キャンパス,
    2012年9月 11-14日, 13p-E2-21 ( )


62. 孫 昿達, 竹田 圭吾, 近藤 博基, 田嶋 聡美, 石川 健治, 関根 誠, 堀 勝, 伊藤 仁
    プリンタブルエレクトロニクスに向けた大気圧ミスト化学気相堆積技術の構築
    第73回応用物理学会学術講演会, 愛媛県, 愛媛大学城北地区・松山大学文京キャンパス,
    2012年9月 11-14日, 13p-E2-3 ( )


63. 鈴木 俊哉, Arkadiusz Malinowski, 竹田 圭吾, 近藤 博基, 石川 健治, 節原 裕一, 白谷 正治, 関根 誠, 堀勝
    有機材料エッチングによる電界電子放出ナノピラーの作成(II)
    第73回応用物理学会学術講演会, 愛媛県, 愛媛大学城北地区・松山大学文京キャンパス,
    2012年9月 11-14日, 13p-F7-1 ( )


64. 井上 真里, 太田 貴之, 土谷 茂樹, 伊藤 昌文, 堀 勝
    半導体レーザ吸収分光法を用いたマイクロホローカソード放電中の原子の挙動解析
    第73回応用物理学会学術講演会, 愛媛県, 愛媛大学城北地区・松山大学文京キャンパス,
    2012年9月 11-14日 ( )


65. 安藤 睦, 竹田 圭吾, 太田 貴之, 伊藤 昌文, 平松 美根男, 鈴木 智子, 井上 栄, 安藤 義則, 堀 勝
    Ni-Y触媒を用いたカーボンナノチューブ合成アークプラズマ中の微粒子の挙動
    第73回応用物理学会学術講演会, 愛媛県, 愛媛大学城北地区・松山大学文京キャンパス,
    2012年9月 11-14日 ( )


66. 九鬼 淳, 于 楽泳, 近藤 博基, 関根 誠, 堀 勝
    プラズマ励起化学気相堆積法で成長したアモルファスカーボン膜の膜構造に対するパルスバイアス印加効果
    第73回応用物理学会学術講演会, 愛媛県, 愛媛大学城北地区・松山大学文京キャンパス,
    2012年9月 11-14日 ( )


67. 鳥越 隆平, 浦川 達也, 山下 大輔, 内田 儀一郎, 古閑 一憲, 白谷 正治, 節原 裕一, 関根 誠, 堀 勝
    プラズマ異方性CVD による窒化レジスト上への硬質カーボン膜の製膜
    第73回応用物理学会学術講演会, 愛媛県, 愛媛大学城北地区・松山大学文京キャンパス,
    2012年9月 11-14日 ( )


68. 米谷 亮祐, 陳 尚, 曹 佳棟, Michael Liu, 石川 健治, 竹田 圭吾, 近藤 博基, 関根 誠, 江川 孝志, 天野 浩, 堀 勝
    高温における窒化ガリウム（GaN）のエッチング機構（3）
    第73回応用物理学会学術講演会, 愛媛県, 愛媛大学城北地区・松山大学文京キャンパス,
    2012年9月 11-14日 ( )


69. 加藤 寛人, 橋爪 博司, 太田 貴之, 平松 美根男, 伊藤 昌文, 堀 勝
    酸素ラジカル照射によるミドリカビ胞子のラマンスペクトルの変化
    第73回応用物理学会学術講演会, 愛媛県, 愛媛大学城北地区・松山大学文京キャンパス,
    2012年9月 11-14日 ( )


70. 渡邊 均, 近藤 博基, 岡本 行広, 関根 誠, 平松 美根男, 堀 勝, 馬場 嘉信
    細胞培養に対するカーボンナノウォール足場の効果
    第73回応用物理学会学術講演会, 愛媛県, 愛媛大学城北地区・松山大学文京キャンパス,
    2012年9月 11-14日 ( )


71. 堀川 佳峰, 林 俊雄, 佐々木 浩一
    マイクロ波リモート窒素プラズマのダウンフローにおける準安定状態窒素分子密度測定
    第73回応用物理学会学術講演会, 愛媛県, 愛媛大学城北地区・松山大学文京キャンパス,
    2012年9月 11-14日 ( )


72. 新井 祐, 能登 雄佑, 鷲見 直也, 高橋 聖司, 河野 昭彦, 石川 健治, 堀 勝, 堀邊 英夫
    水素ラジカルによるPMMA系ポリマーの分解反応
    第61回高分子討論会, 愛知県, 名古屋工業大学,
    2012年9月 19-21日, 2N07 ( )


73. Toshiya Suzuki, A. Malinowski, Keigo Takeda, Hiroki Kondo, Kenji Ishikawa, Yuichi Setsuhara, Masaharu Shiratani, Makoto Sekine, Masaru Hori
    Etched Profile Control in H2/N2 Plasma with Radical Density Monitoring
    Advanced Metallization Conference (ADMETA), 東京都, 東京大学,
    2012年10月 23-25日, P-9 ( )

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