Invited talk
- 堀 勝
スマートナノプロセス
「21世紀COEプログラムPlasma-Nanoシンポジウム」最先端もの創り研究と拠点形成---プラズマナノ工学研究センターの設立に向けて---, 名古屋大学IB電子情報館大講義室,
2006年1月 12日, (招待講演
)
- 堀 勝
半導体MIRAIプロジェクト
半導体MIRAIプロジェクト講演会, 産総研つくば西事業所ＳＣＲ棟５F 第５会議室,
2006年1月 16日, (招待講演
)
- 堀 勝
ラジカル制御プラズマナノプロセス
大阪大学接合科学研究所特別講演会, 大阪大学接合科学研究所,
2006年1月 19日, (招待講演
)
- 高島 成剛, 堀 勝
超小型ラジカルモニタリング計測装置の開発と反応性プラズマ中の原子状ラジカル計測への応用
表面技術協会「ナノテク部会」第１１回研究会, 名古屋大学VBLホール,
2006年1月 24日, (招待講演
)
- 堀 勝
カーボンナノウォールの形成・評価とデバイス応用
高度技術セミナー「機能性ナノ構造体の形成と評価」, 名古屋大学先端技術共同研究センター研修室,
2006年1月 24日, (招待講演
)
- 堀 勝
ラジカルモニター内蔵自律型ナノ製造装置の開発
「東海地域クラスターフォーラム」における成果発表会, メルパルク名古屋,
2006年2月 28-3月 1日, (招待講演
)
- 堀 勝
半導体プロセスにおけるエッチング技術
リアライズ理工センター／サイペック㈱主催セミナー, 日本教育会館,
2006年3月 9-10日, (招待講演
)
- 堀 勝
スマートプラズマナノプロセス
第５３回応用物理学関係連合講演会, 武蔵工業大学,
2006年3月 22-26日, (招待講演
)
- 堀 勝
プラズマサイエンスブレークスルーによる究極のエッチング技術
第５３回応用物理学関係連合講演会, 武蔵工業大学,
2006年3月 22-26日, (招待講演
)
- 堀 勝
カーボンナノウオールの合成とデバイス応用
大阪大学接合科学研究所共同研究集会「次世代ディスプレイ技術を探る（仮題）」, 大阪大学接合科学研究所,
2006年3月 30日, (招待講演
)
- 堀 勝
プラズマが拓くナノテクノロジーと安心安全･健康長寿の世界
第3回科学知総合研究所（SKIL）フォーラム, 東京大学産学連携プラザ,
2006年4月 21日, (招待講演
)
- 堀 勝
高密度プラズマを用いた高速CVD技術
応用電子物性分科会研究例会「先端半導体デバイス製造技術を押し上げる最近の低温薄膜形成技術」, 機械振興会館,
2006年5月 12日, (招待講演
)
- 堀 勝
プラズマ・教育
先端技術講演会, 埼玉,
2006年5月 20日, (招待講演
)
- 堀 勝
ラジカル制御プラズマプロセス
第18回アルバックシンポジウム「ラジカル源とその応用」, 神奈川,
2006年6月 2日, (招待講演
)
- 堀 勝
最先端プラズマナノプロセス
「先端プラズマプロセス」講演会, 福島,
2006年6月 28日, (招待講演
)
- 堀 勝
非バインダー系成膜技術
Sゼミ「非バインダー系成膜技術」, 神奈川,
2006年7月 19日, (招待講演
)
- 堀 勝, 平松 美根男
カーボンナノウォール技術とグラフェンシートデバイスの創成
TEL Advanced Technology Forum 2006, 山梨,
2006年8月 17日, (招待講演
)
- 堀 勝
プラズマ微細加工の最近の進展
日本学術振興会薄膜第131委員会第232回研究会, 武蔵工業大学総合研究所、東京,
2006年10月 2日, (招待講演
)
- 堀 勝
ナノテクノロジーを使った新しいモノづくり
平成18年度名古屋大学公開講座, 名古屋大学,
2006年10月 3日, pp. 119-132 (招待講演
)
- 堀 勝
プラズマプロセスを用いた微細加工技術
光ナノサイエンス特別講演, 奈良先端科学技術大学院大学,
2006年10月 11日, (招待講演
)
- 平松 美根男, 堀 勝
プラズマCVDによるカーボンナノ構造体の形
第7回カーボンナノチューブを利用した複合材の開発研究会, 名城大学附属図書館,
2006年10月 23日, (招待講演
)
- 堀 勝
プラズマによるカーボンナノウォールの創製と応用
第33回アモルファスセミナー, 九州大学医学部百年講堂、福岡,
2006年11月 7-9日, (招待講演
)
- 堀 勝
大学発「もの創り」によるエレクトロニクスの革新
大学発「もの創り」によるエレクトロニクスの革新, 愛知県立西尾高等学校,
2006年11月 9日, (招待講演
)
- 堀 勝
プラズマCVDを用いたカーボンナノウォールの成長
第22回九州・山口プラズマ研究会, やすらぎ伊王島、長崎,
2006年11月 17-18日, (招待講演
)
- 堀 勝
明日の仕事に役に立つプラズマエッチングの基礎と実例―半導体プロセスを中心としてー
リアライズ理工センター主催セミナー, 東京八重洲ホール,
2006年11月 21-22日, (招待講演
)
- 堀 勝
第2回Sゼミ
第2回Sゼミ, 富士写真フィルム㈱先進研究所、神奈川,
2006年11月 28日, (招待講演
)
- 堀 勝, 平松 美根男
カーボンナノウォールの合成と応用
プラズマ核融合学会第２３回年会学術シンポジウム, 筑波大学大学会館,
2006年11月 28-12月 1日, (招待講演
)
- 堀 勝
半導体製造現場でのラジカル計測の可能性と限界
「先端プラズマプロセス」講演会, スパンシオンジャパン㈱高久地区、福島,
2006年12月 5日, (招待講演
)
- 堀 勝
先進プラズマプロセス技術の研究開発
テクノ・シンポジウム名大「プラズマナノ工学研究センター」設立シンポジウム, 名古屋大学,
2006年12月 14日, (招待講演
)
- 堀 勝, 竹田 圭吾, 高島 成剛, 塩澤 俊彦, 壁 義郎, 北川 淳一, 中西 敏雄
Si低温酸化のための酸素―希ガス混合表面波プラズマ中のO(1D2)、O（3P)原子の定量計測
応用物理学会シリコンテクノロジー分科会第89回研究集会, 東京大学,
2006年12月 19日, (招待講演
)
- 深沢 正永, 辰巳 哲也, 大島 啓示, 清信 吉広, 鸙野 信介, 長畑 和典, 篠原 啓二, 上出 幸洋, 内田 三郎, 高島 成剛, 堀 勝
有機low-kエッチングの表面反応制御
応用物理学会シリコンテクノロジー分科会第89回研究集会, 東京大学,
2006年12月 19日, (招待講演
)
- 堀 勝
先端プラズマモニタリング技術とスマートナノプロセス
先端プラズマモニタリング技術とスマートナノプロセス, 長崎,
2006年12月 25日, (招待講演
)
General
- 伊藤 優, 高畑 正史, 知京 豊裕, 堀 勝
パルス変調UHF SiH4/H2プラズマによるシリコンナノ粒子の室温合成
「21世紀COEプログラムPlasma-Nanoシンポジウム」最先端もの創り研究と拠点形成---プラズマナノ工学研究センターの設立に向けて---, 名古屋大学IB電子情報館大講義室,
2006年1月 12日, (
)
- 高島 成剛, 加納 浩之, 堀 勝
原子状ラジカルセンサー用光源のモニタリング手法の確立
「21世紀COEプログラムPlasma-Nanoシンポジウム」最先端もの創り研究と拠点形成---プラズマナノ工学研究センターの設立に向けて---, 名古屋大学IB電子情報館大講義室,
2006年1月 12日, (
)
- 吉田 直史, 加納 浩之, 堀 勝
小型大気圧非平衡プラズマ源の開発と表面改質への応用
「21世紀COEプログラムPlasma-Nanoシンポジウム」最先端もの創り研究と拠点形成---プラズマナノ工学研究センターの設立に向けて---, 名古屋大学IB電子情報館大講義室,
2006年1月 12日, (
)
- 浦 雅登, 中村 和歌奈, 徳田 豊, 平松 美根男, 加納 浩之, 堀 勝
カーボンナノウォールの平面方向における電気的特性
「21世紀COEプログラムPlasma-Nanoシンポジウム」最先端もの創り研究と拠点形成---プラズマナノ工学研究センターの設立に向けて---, 名古屋大学IB電子情報館大講義室,
2006年1月 12日, (
)
- 内田 三郎, 高島 成剛, 大島 啓示, 安藤 厚博, 長畑 和典, 辰巳 哲也, 堀 勝
ラジカル注入型イオンビームを用いた有機low-k膜エッチング特性の評価
「21世紀COEプログラムPlasma-Nanoシンポジウム」最先端もの創り研究と拠点形成---プラズマナノ工学研究センターの設立に向けて---, 名古屋大学IB電子情報館大講義室,
2006年1月 12日, (
)
- 林 孝行, 永井 幹雄, 早川 雪絵, 岡本 秀一, 堀 勝
新規代替フルオロカーボンガスによるlow-k膜エッチングプロセス
「21世紀COEプログラムPlasma-Nanoシンポジウム」最先端もの創り研究と拠点形成---プラズマナノ工学研究センターの設立に向けて---, 名古屋大学IB電子情報館大講義室,
2006年1月 12日, (
)
- 松原 丈晃, 竹田 圭吾, 伊藤 貴昭, 森 竜雄, 多田 重和, 早川 晴仁, 堀 勝
VHF容量結合型プラズマによる有機EL用保護膜の低温形成
「21世紀COEプログラムPlasma-Nanoシンポジウム」最先端もの創り研究と拠点形成---プラズマナノ工学研究センターの設立に向けて---, 名古屋大学IB電子情報館大講義室,
2006年1月 12日, (
)
- 岩崎 正博, 伊藤 昌文, 上原 剛, 堀 勝
SiO2エッチングにおける大気圧非平衡パルスプラズマ中の気相計測
「21世紀COEプログラムPlasma-Nanoシンポジウム」最先端もの創り研究と拠点形成---プラズマナノ工学研究センターの設立に向けて---, 名古屋大学IB電子情報館大講義室,
2006年1月 12日, (
)
- 竹田 圭吾, 久保田 良規, 高島 成剛, 松見 豊, 堀 勝
表面波励起酸素プラズマにおけるKr希釈効果に関する研究
「21世紀COEプログラムPlasma-Nanoシンポジウム」最先端もの創り研究と拠点形成---プラズマナノ工学研究センターの設立に向けて---, 名古屋大学IB電子情報館大講義室,
2006年1月 12日, (
)
- 堀 勝, 財満 鎮明, 鈴木 達也, 高島 成剛, 加納 浩之, 高橋 俊次, 山川 晃司, 田 昭治, 河内 良太
ナノアセンブリングシステムの開発（1）超コンパクトラジカルモニタリング装置の開発
「21世紀COEプログラムPlasma-Nanoシンポジウム」最先端もの創り研究と拠点形成---プラズマナノ工学研究センターの設立に向けて---, 名古屋大学IB電子情報館大講義室,
2006年1月 12日, (
)
- 堀 勝, 高島 成剛, 平松 美根男, 加納 浩之, 山川 晃司, 田 昭治
ナノアセンブリングシステムの開発（2）カーボンナノウォールプロセッシングの開発
「21世紀COEプログラムPlasma-Nanoシンポジウム」最先端もの創り研究と拠点形成---プラズマナノ工学研究センターの設立に向けて---, 名古屋大学IB電子情報館大講義室,
2006年1月 12日, (
)
- 堀 勝, 西澤 典彦, 高島 成剛, 伊藤 昌文, 加納 浩之
ナノアセンブリングシステムの開発（3）広帯域瞬時多元素計測システムの開発：食品、土壌分析への展開
「21世紀COEプログラムPlasma-Nanoシンポジウム」最先端もの創り研究と拠点形成---プラズマナノ工学研究センターの設立に向けて---, 名古屋大学IB電子情報館大講義室,
2006年1月 12日, (
)
- 堀 勝, 高島 成剛, 加納 浩之, 吉田 直史
ナノアセンブリングシステムの開発（4）４次元大気圧プラズマ製造装置の開発
「21世紀COEプログラムPlasma-Nanoシンポジウム」最先端もの創り研究と拠点形成---プラズマナノ工学研究センターの設立に向けて---, 名古屋大学IB電子情報館大講義室,
2006年1月 12日, (
)
- 堀 勝, 高島 成剛, 平松 美根男, 加納 浩之, 山川 晃司, 田 昭治
ナノアセンブリングシステムの開発（5）超高速カーボンナノチューブ成長プロセッシングの開発
「21世紀COEプログラムPlasma-Nanoシンポジウム」最先端もの創り研究と拠点形成---プラズマナノ工学研究センターの設立に向けて---, 名古屋大学IB電子情報館大講義室,
2006年1月 12日, (
)
- 堀 勝, 高島 成剛, 伊籐 昌文, 加納 浩之
ナノアセンブリングシステムの開発（6）3次元立体構造エッチングプロセスの開発
「21世紀COEプログラムPlasma-Nanoシンポジウム」最先端もの創り研究と拠点形成---プラズマナノ工学研究センターの設立に向けて---, 名古屋大学IB電子情報館大講義室,
2006年1月 12日, (
)
- 堀 勝, 鈴木 達也, 高島 成剛, 加納 浩之, 高橋 俊次, 山川 晃司, 田 昭治, 河内 良太
ナノアセンブリングシステムの開発（7）自律型ナノエッチングシステムの開発
「21世紀COEプログラムPlasma-Nanoシンポジウム」最先端もの創り研究と拠点形成---プラズマナノ工学研究センターの設立に向けて---, 名古屋大学IB電子情報館大講義室,
2006年1月 12日, (
)
- 大林 友視, 山川 晃司, 加納 浩之, 平松 美根男, 堀 勝
カーボンナノウォールの電界電子放出特性の水素プラズマ処理効果
第53回応用物理学関係連合講演会, 武蔵工業大学,
2006年3月 22-26日, (
)
- 今枝 弘幸, 堀 勝, 知京 豊裕
UHF SiH4/H2 プラズマを用いた微結晶シリコン薄膜の形成とその気相診断
第53回応用物理学関係連合講演会, 武蔵工業大学,
2006年3月 22-26日, (
)
- 伊藤 優, 高畑正史, 知京 豊裕, 堀 勝
パルス変調 UHF SiH4/H2プラズマを用いたナノシリコン微粒子の室温高速合成(IV)
第53回応用物理学関係連合講演会, 武蔵工業大学,
2006年3月 22-26日, (
)
- 高島 成剛, 内田 三郎, 大島 啓示, 長畑 和典, 辰巳 哲也, 堀 勝
光、ラジカル、イオンによるLow-k膜ダメージ
第53回応用物理学関係連合講演会, 武蔵工業大学,
2006年3月 22-26日, (
)
- 林 孝行, 永井 幹雄, 早川 雪絵, 岡本 秀一, 堀 勝
代替フルオロカーボンガスを用いたlow-k膜エッチングプロセス(II)
第53回応用物理学関係連合講演会, 武蔵工業大学,
2006年3月 22-26日, (
)
- 堀 勝, 杉浦 幹在, 竹田 圭吾, 田原 慈, 久保田 和宏
ラジカル・イオン密度制御によるダメージフリー対Low-k(SiOCH)レジストアッシング
第53回応用物理学関係連合講演会, 武蔵工業大学,
2006年3月 22-26日, (
)
- 内田 三郎, 高島 成剛, 大島 啓示, 長畑 和典, 安藤 厚博, 辰巳 哲也, 堀 勝
ラジカル注入型イオンビームを用いた有機Low-k膜のエッチング基礎反応過程(III)
第53回応用物理学関係連合講演会, 武蔵工業大学,
2006年3月 22-26日, (
)
- 清信 吉広, 大島 啓示, 長畑 和典, 辰巳 哲也, 上出 幸洋, 内田 三郎, 高島 成剛, 堀 勝
N2/H2プラズマによる有機Low-k膜加工における形状制御
第53回応用物理学関係連合講演会, 武蔵工業大学,
2006年3月 22-26日, (
)
- 種田 諭志, 太田 貴之, 伊藤 昌文, 高島 成剛, 加納 浩之, 田 昭治, 堀 勝
マルチマイクロホローカソード光源の開発
第53回応用物理学関係連合講演会, 武蔵工業大学,
2006年3月 22-26日, (
)
- 原 安寛, 海老原 勝, 加納 浩之, 田 昭冶, 堀 勝
ホローカソード型プラズマ源の開発
第53回応用物理学関係連合講演会, 武蔵工業大学,
2006年3月 22-26日, (
)
- 松原 丈晃, 竹田 圭吾, 伊藤 貴昭, 森 竜雄, 多田 重和, 早川 晴仁, 堀 勝
VHF容量結合型プラズマを用いたSiN膜低温形成による有機EL素子の長寿命化（II）
第53回応用物理学関係連合講演会, 武蔵工業大学,
2006年3月 22-26日, (
)
- 竹田 圭吾, 久保田 良規, 高島 成剛, 堀 勝
真空紫外レーザシステムを用いた新規マイクロホローカソード光源の評価
第53回応用物理学関係連合講演会, 武蔵工業大学,
2006年3月 22-26日, (
)
- 伊藤 優, 高橋 栄治, 知京 豊裕, 堀 勝
パルス変調 UHF SiH4/H2 プラズマを用いたナノシリコン微粒子の室温高速合成（Ⅴ）
第67回応用物理学会学術講演会, 立命館大学びわこ・くさつキャンパス,
2006年8月 29-9月 1日, 29a-X-7 (
)
- 松原 丈晃, 李 明龍, 今枝 弘幸, 竹田 圭吾, 増元 祐介, 森 竜雄, 多田 重和, 早川 晴仁, 堀 勝
VHF SiH4/NH3 プラズマを用いた窒化シリコン膜の低温形成
第67回応用物理学会学術講演会, 立命館大学びわこ・くさつキャンパス,
2006年8月 29-9月 1日, 29p-Q-5 (
)
- 原 安寛, 高島 成剛, 山川 晃司, 田 昭冶, 加納 浩之, 堀 勝, 菅井 秀郎
高速ラジカルプロセス(Ⅰ) -高速ラジカル源の開発-
第67回応用物理学会学術講演会, 立命館大学びわこ・くさつキャンパス,
2006年8月 29-9月 1日, 29p-Y-11 (
)
- 大林 友視, 山川 晃司, 加納 浩之, 平松 美根男, 堀 勝
カーボンナノウォールにおける電界電子放出特性（II）
第67回応用物理学会学術講演会, 立命館大学びわこ・くさつキャンパス,
2006年8月 29-9月 1日, 30a-A-4 (
)
- 竹田 圭吾, 高島 成剛, 堀 勝, 塩澤 俊彦, 壁 義郎, 北川 淳一, 中西 敏雄
量産型Ar/O2表面波プラズマ装置を用いたSi酸化プロセスのレーザ気相診断
第67回応用物理学会学術講演会, 立命館大学びわこ・くさつキャンパス,
2006年8月 29-9月 1日, 30a-Q-11 (
)
- 岩崎 正博, 伊藤 昌文, 屋良 卓也, 上原 剛, 堀 勝
大気圧非平衡プラズマによる大面積クリーニングプロセスと気相診断
第67回応用物理学会学術講演会, 立命館大学びわこ・くさつキャンパス,
2006年8月 29-9月 1日, 30a-Q-6 (
)
- 近藤 真悟, 山川 晃司, 河合 信次, 田 昭治, 加納 浩之, 平松 美根男, 堀 勝
ラジカル注入プラズマCVD法を用いたカーボンナノウォールの初期構造の解明
第67回応用物理学会学術講演会, 立命館大学びわこ・くさつキャンパス,
2006年8月 29-9月 1日, 30p-A-2 (
)
- 丸山 茂敏, 大林 友視, 近藤 真悟, 山川 晃司, 河合 信次, 加納 浩之, 平松 美根男, 堀 勝
種々の基板に対するカーボンナノウォールの形成とその形状制御
第67回応用物理学会学術講演会, 立命館大学びわこ・くさつキャンパス,
2006年8月 29-9月 1日, 30p-A-3 (
)
- 河合 信次, 近藤 真悟, 加納 浩之, 平松 美根男, 堀 勝
カーボンナノウォールの表面構造評価
第67回応用物理学会学術講演会, 立命館大学びわこ・くさつキャンパス,
2006年8月 29-9月 1日, 30p-A-4 (
)
- 高島 成剛, 内田 三郎, 大島 啓示, 長畑 和典, 辰巳 哲也, 堀 勝
光、ラジカル、イオンによるLow-k膜ダメージ(II)
第67回応用物理学会学術講演会, 立命館大学びわこ・くさつキャンパス,
2006年8月 29-9月 1日, 30p-S-1 (
)
- 林 孝行, 佐々木 元, 岡本 秀一, 堀 勝
代替フルオロカーボンガスを用いたlow-k膜エッチングプロセス（Ⅲ）
第67回応用物理学会学術講演会, 立命館大学びわこ・くさつキャンパス,
2006年8月 29-9月 1日, 30p-S-6 (
)
- 出口 高啓, 平松 美根男, 堀 勝
マイクロ波プラズマCVD法を用いた単層カーボンナノチューブ膜の作製
第67回応用物理学会学術講演会, 立命館大学びわこ・くさつキャンパス,
2006年8月 29-9月 1日, 31p-D-14 (
)
- 堀 勝
まとめーモニタリングが開くプラズマプロセス科学とナノ製造世界拠点を目指してー
第67回応用物理学会学術講演会, 立命館大学びわこ・くさつキャンパス,
2006年8月 29-9月 1日, 31p-ZW-11 (
)
- 西澤 典彦, 堀 勝
uJ･psファイバレーザーを用いた超広帯域SC光の生成
第67回応用物理学会学術講演会, 立命館大学びわこ・くさつキャンパス,
2006年8月 29-9月 1日, 1a-W-5 (
)
- 堀 勝
大気圧プラズマ研究の動向
第10回共同研究合同検討会, 東京,
2006年9月 27日, (
)
- 高島 成剛, 加納 浩之, 山田 康裕, 田 昭二, 前田 知宏, 堀 勝
ユビキタスラジカルモニター
第１７回プラズマエレクトロニクス講習会, 東京都, 東京工業大学,
2006年10月 5日, (
)
- 平松 美根男, 堀 勝
プラズマCVDによるカーボンナノ構造体の合成
（社）表面技術協会第１４回『ナノテク部会』研究会, 佐賀県武雄市文化会館ミーテングホール、佐賀,
2006年10月 6-7日, (
)
- 青松 哲純, 井関 紗千子, 太田 貴之, 伊藤 昌文, 加納 浩之, 堀 勝
大気圧プラズマを用いた殺菌に関する研究
平成18年電気関係学会関西支部連合大会, 大阪工業大学,
2006年11月 25-26日, G1-29 (
)
- 高橋 栄治, 伊藤 優, 堀 勝, 知京 豊裕
パルス変調UHF SiH4/H2 プラズマを用いたナノ結晶シリコンの室温合成
第33回アモルファスセミナー, 福岡県, 九州大学医学部百年講堂,
2006年11月 7-9日, (
)
- 大林 友視, 堀 勝, 山川 晃司, 加納 浩之, 平松 美根男
電界電子放出特性におけるカーボンナノウォールの高さと間隔の影響
第17回日本MRS学術シンポジウム, 東京都, 日本大学 駿河台校舎,
2006年12月 8-10日, (
)
- 町野 琢磨, 堀 勝, 中村 匡利, 平松 美根男, 山川 晃司
カーボンナノウォールへの高分散白金微粒子担持とそのフィールドエミッション特性変化
第17回日本MRS学術シンポジウム, 東京都, 日本大学 駿河台校舎,
2006年12月 8-10日, (
)
- 丸山 茂敏, 大林 友視, 近藤 真悟, 堀 勝, 山川 晃司, 加納 浩之, 平松 美根男
種々の基板に対するカーボンナノウォールの生成と形状制御
第17回日本MRS学術シンポジウム, 東京都, 日本大学 駿河台校舎,
2006年12月 8-10日, (
)
- 増田 隆行, 木村 美幸, 平松 美根男, 堀 勝
非平衡大気圧プラズマCVD法を用いたカーボンナノチューブとカーボンナノウォールの形成
第17回日本MRS学術シンポジウム, 東京都, 日本大学 駿河台校舎,
2006年12月 8-10日, (
)
- 森 貴照, 平松 美根男, 山川 晃司, 竹田 圭吾, 堀 勝
電子ビーム励起プラズマCVD法を用いたカーボンナノウォールの作製
第17回日本MRS学術シンポジウム, 東京都, 日本大学 駿河台校舎,
2006年12月 8-10日, (
)
- 李 明龍, 松原 丈晃, 今枝 弘幸, 竹田 圭吾, 増元 祐介, 森 竜雄, 多田 重和, 早川 晴仁, 堀 勝
VHF容量結合型を用いたSiN膜の低温形成及び有機デバイスへの応用
第17回日本MRS学術シンポジウム, 東京都, 日本大学 駿河台校舎,
2006年12月 8-10日, (
)
- 高橋 栄治, 伊藤 優, 知京 豊裕, 堀 勝
パルス変調UHFプラズマを用いたシリコンナノ微粒子の室温高速合成
第17回日本MRS学術シンポジウム, 東京都, 日本大学 駿河台校舎,
2006年12月 8-10日, (
)
- 原 安寛, 高島 成剛, 堀 勝, 菅井 秀郎, 山川 晃司, 田 昭治, 加納 浩之
新型中性ビーム源の開発
第17回日本MRS学術シンポジウム, 東京都, 日本大学 駿河台校舎,
2006年12月 8-10日, (
)
- 林孝行, 佐々木元, 柴田英美, 堀 勝, 岡本 秀一
代替フルオロカーボンガスを用いたポーラスlow-k膜エッチングプロセス
第17回日本MRS学術シンポジウム, 東京都, 日本大学 駿河台校舎,
2006年12月 8-10日, (
)
- 内田 三郎, 高島 成剛, 深沢 正永, 大島 啓示, 安藤 厚博, 長畑 和典, 辰巳 哲也, 堀 勝
低誘電率膜の光、ラジカル、イオンによるプラズマダメージの究明
第17回日本MRS学術シンポジウム, 東京都, 日本大学 駿河台校舎,
2006年12月 8-10日, (
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- 出野 琢也, 乾 裕俊, 堀 勝
大気圧マイクロプラズマを用いたSiスライスエッチング
21世紀COEプログラム「プラズマが拓くナノ情報デバイス」最終成果報告シンポジウム, 愛知県, 名古屋大学,
2006年12月 15日, (
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- 竹田 圭吾, 松原 丈晃, 李 明龍, 増元 祐介, 森 竜雄, 堀 勝
高性能有機EL・ナノデバイス用封止膜のプラズマダメージフリー形成
21世紀COEプログラム「プラズマが拓くナノ情報デバイス」最終成果報告シンポジウム, 愛知県, 名古屋大学,
2006年12月 15日, (
)
- 原 安寛, 堀 勝
高速原子ビーム源の開発と基本特性の研究
21世紀COEプログラム「プラズマが拓くナノ情報デバイス」最終成果報告シンポジウム, 愛知県, 名古屋大学,
2006年12月 15日, (
)
- 内田 三郎, 高島 成剛, 堀 勝
次世代Low-k膜のエッチング基礎反応過程の解明
21世紀COEプログラム「プラズマが拓くナノ情報デバイス」最終成果報告シンポジウム, 愛知県, 名古屋大学,
2006年12月 15日, (
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- 竹内 和歌奈, 山川 晃司, 加納 浩之, 平松 美根男, 堀 勝
ラジカル注入プラズマCVD法を用いたカーボンナノウォールの作製と形状制御
21世紀COEプログラム「プラズマが拓くナノ情報デバイス」最終成果報告シンポジウム, 愛知県, 名古屋大学,
2006年12月 15日, (
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- 堀 勝
プラズマによる高精度ナノ加工プロセス技術の開発
21世紀COEプログラム「プラズマが拓くナノ情報デバイス」最終成果報告シンポジウム, 愛知県, 名古屋大学,
2006年12月 15日, (
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