Invited talk 堀 勝新規カーボンナノ構造体の形成とその応用技術 平松 美根男, 堀 勝プラズマCVD法によるカーボンナノウォールの形成 堀 勝, 平松 美根男ラジカル制御プラズマCVDによるカーボンナノウォールの形成 堀 勝Low-k膜エッチングにおける光(VUV、UV)、イオン、ラジカルの影響と低ダメージプロセス 堀 勝新規エッチングガスを用いた半導体微細加工プロセス 堀 勝三次元自己組織化ナノ構造インテグレーション（「シリコンナノエレクトロニクスの新展開－ポストスケーリングテクノジー－」シンポジウム） 山川 晃司, 堀 勝, 後藤 俊夫, 田 昭治, 片桐 俊郎, 加納 浩之講演奨励賞受賞記念講演：マイクロ波励起非平衡大気圧プラズマを用いた超高速エッチングプロセス(VI) 堀 勝大学（シーズ）から、ベンチャー、事業化へ 堀 勝大気圧プラズマ技術の基礎とその応用 堀 勝新材料カーボンナノウォールのULSIデバイス応用の可能性 堀 勝45nmノードULSI用ダメージフリーLow-kエッチングプロセス 堀 勝低次元カーボン系プラズマナノプロセス 堀 勝非平衡大気圧プラズマの物理と応用 堀 勝ラジカル制御プラズマCVDによるカーボンナノウォールの創成とディスプレイデバイスへの応用 堀 勝ラジカル制御プラズマCVDによるカーボンナノウォールの形成と応用 堀 勝超高精度微細加工のためのプロセスプラズマの課題と展望 平松 美根男, 堀 勝プラズマCVD法によるカーボンナノ構造体の作製 General 杉浦 幹在, 堀 勝, 藤本 究VHF容量結合型プラズマを用いたSiOCHエッチングプロセスにおける選択比向上メカニズムの解析 竹田 圭吾, 留 河裕, 太田 貴之, 伊藤 昌文, 堀 勝パルス変調型電子ビーム励起プラズマにおける絶縁体材料エッチングと発光分光計測 田村 永児, 堀 勝, 後藤 俊夫, 徳田 豊, 知京 豊裕VHF60MHz帯を用いたプラズマMOCVDによる三元系高誘電率ゲート絶縁膜HfAlYOの形成 石田 哲朗, 松原 丈晃, 堀 勝, 後藤 俊夫, 森 竜雄, 竹内 秀夫, 多田 重和Low Temperature Formation SiN Films on Organic Substrate Employing Very High Frequency-Capacitively Coupled Plasma and Measurements of Organic Light Emitting Diodes Characteristics 永井 幹雄, 杉浦 幹在, 堀 勝, 後藤 俊夫高密度容量結合プラズマにおけるフルオロカーボンラジカルの温度計測 海老原 勝, 高島 成剛, 堀 勝, 田 昭治, 加納 浩之超高真空チャンバ用新ラジカルクリーニング技術の開発 久保田 良規, 高島 成剛, 堀 勝希ガス添加酸素プラズマにおける粒子の振る舞い 中村 匡利, 榎本 篤, 志治 健一, 平松 美根男, 天野 浩, 堀 勝RFプラズマCVD法による配向カーボンナノウォールの作製 志治 健一, 榎本 篤, 中村 匡利, 平松 美根男, 天野 浩, 堀 勝カーボンナノウォール作製におけるRFプラズマ中のラジカル測定 榎本 篤, 中村 匡利, 志治 健一, 平松 美根男, 安藤 義則, 堀 勝高周波プラズマCVD法を用いて作製したカーボンナノウォールの電子放出特性 長尾 英俊, 谷口 雅樹, 平松 美根男, 天野 浩, 堀 勝マイクロ波プラズマCVD法を用いた高密度カーボンナノチューブ膜の作製 木村 美幸, 山川 晃司, 安藤 義則, 平松 美根男, 堀 勝非平衡大気圧プラズマを用いたカーボンナノ構造体の作製 山川 晃司, 堀 勝, 後藤 俊夫, 田 昭治, 片桐 俊郎, 加納 浩之マイクロ波励起非平衡大気圧酸素プラズマを用いた有機膜の超高速(0.3mm/min)エッチング 内田 三郎, 堀 勝, 後藤 俊夫, 安藤 厚博, 辰巳 哲也ラジカルイオンビームを用いた有機Low-k膜のエッチング反応メカニズム 岩崎 正博, 伊藤 昌文, 堀 勝, 北畠 裕也, 上原 剛大気圧CF4/Arパルスプラズマを用いたO2/H2O添加SiO2エッチングとその気相診断 伊藤 治彦, 山川 晃司, 加納 浩之, 堀 勝アーク放電を用いたラジカル計測用小型光源の開発 谷口 雅樹, 長尾 英俊, 平松 美根男, 安藤 義則, 堀 勝マイクロ波プラズマCVD法を用いたカーボンナノフレークの作製 堤井 君元, 内野 喜一郎, 堀 勝, 後藤 俊夫Surface Reaction Kinetics during Diamond Growth and Nucleation in Low-Pressure Plasmas 高畑 正史, 山本 昌宏, 堀 勝, 知京 豊裕パルス変調UHF SiH4/H2 プラズマを用いたシリコンナノ微粒子の高速堆積 堀 直樹, 青山 健太郎, 堀 勝, 後藤 俊夫, 知京 豊裕, 中川 行人UHF SiH4/H2 プラズマによる高品質微結晶シリコン薄膜の形成とその気相診断 堀 勝極薄型擬単結晶シリコン太陽電池の研究開発 山川 晃司, 伊藤 治彦, 堀 勝, 田 昭治, 片桐 俊郎, 加納 浩之マイクロ波励起非平衡大気圧プラズマを用いた超高速エッチングプロセス(VII) 竹田 圭吾, 留 河裕, 太田 貴之, 伊藤 昌文, 堀 勝パルス変調型電子ビーム励起プラズマを用いた光MEMS用SiO2エッチング(Ｉ) 岩崎 正博, 伊藤 昌文, 堀 勝, 上原 剛大気圧フロン系ガスプラズマによるSiO2膜エッチングと気相診断(Ｖ) 杉浦 幹在, 高島 成剛, 堀 勝, 久保田 和宏, 北村 彰規ポーラスLow-k膜エッチングプロセスにおけるダメージ解析 永井 幹雄, 堀 勝フルオロカーボンガスプラズマを用いたlow-k膜エッチングにおける窒素ガス添加効果 内田 三郎, 堀 勝, 安藤 厚博, 辰巳 哲也ラジカル注入型イオンビームを用いた有機low-k膜のエッチング基礎反応過程 高島 成剛, 高橋 俊次, 山川 晃司, 田 昭治, 片桐 俊郎, 加納 浩之, 堀 勝コンパクトC2F4ガス供給装置の開発とSiOCH高速、高選択比エッチングへの応用 中村 匡利, 榎本 篤, 平松 美根男, 天野 浩, 加納 浩之, 町野 琢磨, 高島 成剛, 堀 勝超臨界CO2を用いたカーボンナノウォールへの白金粒子担持 長尾 英俊, 平松 美根男, 天野 浩, 堀 勝マイクロ波プラズマCVD法を用いたカーボンナノチューブ膜の先端自己組織化成長 長尾 英俊, 平松 美根男, 天野 浩, 堀 勝マイクロ波プラズマCVD法による高密度二層カーボンナノチューブ膜の高速成長 海老原 勝, 高島 成剛, 堀 勝, 田 昭治, 加納 浩之, 前田 知宏, 阿部 要一, 平松 美根男ラジカル注入プラズマCVDによるカーボンナノウォール高速成膜における気相反応解析 木村 美幸, 山川 晃司, 平松 美根男, 安藤 義則, 堀 勝フルオロカーボンを用いた非平衡大気圧プラズマCVD法によるカーボンナノ構造体の作製 榎本 篤, 平松 美根男, 安藤 義則, 堀 勝カーボンナノウォールからの電界電子放出特性 高畑 正史, 山本 昌宏, 堀 勝, 後藤 俊夫, 知京 豊裕パルス変調 UHF SiH4/H2 プラズマを用いたナノシリコン微粒子の室温高速合成（II） 前田 知宏, 阿部 要一, 堀 勝, 平松 美根男, 加納 浩之, 海老原 勝新規ラジカル注入プラズマCVD法によるカーボンナノウォールの高速成長と制御 伊藤 治彦, 山川 晃司, 加納 浩之, 堀 勝マイクロアーク光の発生（II） 吉田 直史, 加納 浩之, 田 昭治, 堀 勝新規マイクロホローカソード大気圧プラズマと大気圧表面処理技術の開発 久保田 良規, 竹田 圭吾, 高島 成剛, 堀 勝表面波励起Kr/O2プラズマにおける粒子の挙動 海老原 勝, 高島 成剛, 堀 勝, 田 昭治, 加納 浩之ダメージフリーラジカルクリーニングの開発 竹田 圭吾, 久保田 良規, 高島 成剛, 堀 勝真空紫外レーザシステムを用いた表面波プラズマ中における酸素原子の計測 吉田 直史, 加納 浩之, 田 昭治, 堀 勝Development of Compact Non-Equilibrium Atmospheric Pressure Plasma and its Application to the Surface Modification 岩崎 正博, 伊藤 昌文, 上原 剛, 堀 勝SiO2 Etching and Measurements of Gases in a Non-Equilibrium Atmospheric Pressure Pulsed Plasma with Ion Attachment Atmospheric Pressure Mass Spectroscopy 永井 幹雄, 堀 勝Diagnostics of 60MHz Capacitively Coupled Ar/C4F8/N2 Plasma in Low-K Films Etching 高島 成剛, 海老原 勝, 加納 浩之, 堀 勝Development of Simultaneous Monitoring Technique of H, N and O Atom Densities in the Reactive Plasma Employing Vacuum Ultraviolet Absorption Spectroscopy 竹田 圭吾, 太田 貴之, 伊藤 昌文, 堀 勝Silicon Dioxide Etching Process Employing Compact DC-Controlled Electron-Beam-Excited Plasma 木村 美幸, 安藤 義則, 平松 美根男, 堀 勝Fabrication of Aligned Carbon Nanotubes Using Microwave-Excited Non-Equilibrium Atmospheric pressure Plasma 山川 晃司, 田 昭治, 片桐 俊郎, 加納 浩之, 堀 勝Ultrahigh-Speed Etching Process Using Microwave Excited Non-Equilibrium Atmospheric Pressure Plasma 海老原 勝, 高島 成剛, 堀 勝, 田 昭治, 加納 浩之Damage Free for N Radical Cleaning Technology 平松 美根男, 長尾 英俊, 天野 浩, 堀 勝Fabrication of Double-Walled Carbon Nanotube Film with Self-Assembled Tip Arrays Using Microwave Plasma-Enhanced CVD 堀 勝, 平松 美根男, 海老原 勝, 山川 晃司, 田 昭治, 加納 浩之Ultrafast Growth of Carbon Nanowalls in a Novel Plasma CVD with Radical Infection Technique 内田 三郎, 大島 啓示, 安藤 厚博, 長畑 和典, 辰巳 哲也, 堀 勝Fundamental Study of Organic Low-K Etching Using Ion Beam with Radical Infection 財満 鎭明, 近藤 博基, 坂下 満男, 酒井 朗, 小川 正毅, 堀 勝Si Surface Nitridation and Advanced ULSI Processing Using Nitrogen Radicals 高畑 正史, 伊藤 優, 堀 勝, 知京 豊裕パルス変調UHF SiH4/H2プラズマを用いたシリコンナノ微粒子の室温高速合成 杉浦 幹在, 高島 成剛, 堀 勝, 久保田 和宏, 北村 彰規X線光電子分光法によるLow-k膜エッチングダメージの解析 松原 丈晃, 堀 勝, 伊藤 貴昭, 森 竜雄, 多田 重和, 早川 晴仁VHF容量結合型プラズマによるSiN膜低温形成の有機デバイスへの応用 永井 幹雄, 林 孝行, 堀 勝60MHz容量結合フルオロカーボンプラズマを用いたSiOCH膜エッチングと気相診断 竹田 圭吾, 久保田 良規, 高島 成剛, 松見 豊, 堀 勝真空紫外レーザ吸収分光法を用いたKr/O2プラズマ中における酸素原子の絶対密度計測 岩崎 正博, 伊藤 昌文, 上原 剛, 堀 勝大気圧非平衡パルスプラズマを用いたSiO2エッチングにおける気相計測 長尾 英俊, 平松 美根男, 天野 浩, 堀 勝マイクロ波プラズマCVD法を用いた配向単層カーボンナノチューブ膜の作製 竹田 圭吾, 久保田 良規, Anna Serdyuchenko, 高島 成剛, 堀 勝波長可変真空紫外レーザシステムを用いた希ガス添加酸素プラズマ中の酸素原子(2p1D2)の計測 久保田 良規, 竹田 圭吾, 高島 成剛, 加納 浩之, 田 昭治, 堀 勝マイクロホローカソード光源を用いた真空紫外吸収分光法による準安定酸素原子の密度計測 高島 成剛, 加納 浩之, 堀 勝原子状ラジカルセンサー光源用モニタリング技術の開発 高畑 正史, 伊藤 優, 堀 勝, 知京 豊裕パルス変調 UHF SiH4/H2 プラズマを用いたナノシリコン微粒子の室温高速合成（III） 浦 雅登, 中村 和歌奈, 徳田 豊, 平松 美根男, 加納 浩之, 堀 勝カーボンナノウォールの平面方向電流‐電圧特性 松原 丈晃, 堀 勝, 伊藤 貴昭, 森 竜雄, 多田 重和, 早川 晴仁VHF容量結合型プラズマを用いたSiN膜低温形成による有機EL素子の長寿命化 内田 三郎, 大島 啓示, 長畑 和典, 安藤 厚博, 辰巳 哲也, 堀 勝ラジカル注入型イオンビームを用いた有機low-k膜のエッチング基礎反応過程(II) 杉浦 幹在, 高島 成剛, 堀 勝, 久保田 和宏, 北村 彰規ポーラスLow-k膜エッチングプロセスにおけるダメージ解析（II） 林 孝行, 永井 幹雄, 早川 雪絵, 岡本 秀一, 堀 勝代替フルオロカーボンガスを用いたlow-k膜エッチングプロセス 高橋 俊次, 山川 晃司, 田 昭治, 片桐 俊郎, 加納 浩之, 堀 勝コンパクトC2F4ガス供給装置の開発とCVDチャンバークリーニングへの応用 岩崎 正博, 伊藤 昌文, 上原 剛, 堀 勝大気圧フロン系ガスプラズマによるSiO2膜エッチングと気相診断(VI) 中村 匡利, 榎本篤, 平松 美根男, 天野 浩, 加納 浩之, 高島 成剛, 堀 勝超臨界CO2を用いたカーボンナノウォールへの白金ナノ粒子担持II 海老原 勝, 田 昭治, 加納 浩之, 前田 知宏, 平松 美根男, 高島 成剛, 堀 勝ラジカル注入プラズマCVD装置によるガラス基板上への成長 海老原 勝, 田 昭治, 加納 浩之, 前田 知宏, 平松 美根男, 高島 成剛, 堀 勝超微細構造体へのカーボンナノウォール成長 山川 晃司, 海老原 勝, 田 昭治, 片桐 俊郎, 加納 浩之, 前田 知宏, 平松 美根男, 堀 勝ラジカル注入プラズマCVD装置によるカーボンナノウォール成膜のO2クリーニング効果 木村 美幸, 平松 美根男, 安藤 義則, 堀 勝非平衡大気圧プラズマCVD法による配向カーボンナノチューブの作製 出野 琢也, 加納 浩之, 近藤 道雄, 堀 勝大気圧マイクロプラズマを用いたSi 高速微細パターニング 伊藤 優, 高畑 正史, 堀 勝, 知京 豊裕パルス変調UHF SiH4/H2プラズマによるシリコンナノ微粒子の室温合成 竹田 圭吾, 久保田 良規, 高島 成剛, A. Serdyuchenko, 松見 豊, 堀 勝真空紫外レーザ吸収分光法を用いた表面波励起酸素プラズマにおけるKｒ希釈効果の診断 高島 成剛, 加納 浩之, 堀 勝原子状ラジカルセンサー光源用モニタリング技術の開発 浦 雅登, 中村 和歌奈, 徳田 豊, 平松 美根男, 加納 浩之, 堀 勝カーボンナノウォールの成長とその電気的特性 松原 丈晃, 竹田 圭吾, 伊藤 貴昭, 森 竜雄, 多田 重和, 早川 晴仁, 堀 勝VHF容量結合型プラズマを用いたSiN膜の低温形成及び有機EL素子への応用 内田 三郎, 高島 成剛, 大島 啓示, 安藤 厚博, 長畑 和典, 辰巳 哲也, 堀 勝低誘電率膜エッチングの選択性の研究 林 孝行, 永井 幹雄, 早川 雪絵, 岡本 秀一, 堀 勝代替フルオロカーボンガスによるlow-k膜エッチングプロセス 海老原 勝, 田 昭治, 加納 浩之, 前田 智宏, 平松 美根男, 高島 成剛, 堀 勝タンデム型水素ラジカル注入プラズマCVD装置を用いたカーボンナノウォールの高速成長 伊藤 優, 高畑 正史, 知京 豊裕, 堀 勝パルス変調UHF SiH4/H2 プラズマによるシリコンナノ微粒子の室温高速堆積 木村 美幸, 平松 美根男, 安藤 義則, 勝マイクロ波励起非平衡大気圧プラズマCVD法を用いた高密度、配向多層カーボンナノチューブの作製 長尾 英俊, 平松 美根男, 出口 高啓, 天野 浩, 堀 勝マイクロ波プラズマCVD法を用いた成長範囲選択された高密度配向単層カーボンナノチューブ膜の作製 岩崎 正博, 伊藤 昌文, 上原 剛, 堀 勝非平衡大気圧パルスプラズマ中のCF2ラジカル密度分布の計測 高橋 俊次, 田 昭治, 片桐 俊郎, 河内 良太, 鈴木 達也, 堀 勝, 伊藤 昌文, 加納 浩之ラジカルフィードバック制御システムの開発