Invited talk
- 堀 勝
スマートナノプロセス
ULSI技術講演会, 神奈川,
2004年4月 9日, (招待講演
)
- 堀 勝
ナノアセンブリングシステムの開発
半導体製造装置検討委員会, ,
2004年4月 12日, (招待講演
)
- Masaru Hori
Development of Smart Nano-Process Workshop on Nitrogen Plasmas
The 21st Century COE Program, Nagoya University,
2004年4月 23日, (招待講演
)
- 堀 勝
ナノアセンブリングシステムの開発
ナノテクものづくり研究会, 名古屋大学,
2004年6月 12日, (基調講演
)
- 堀 勝
モノ作りと半導体ナノ製造装置
ナノテクものづくり研究会, 名古屋大学,
2004年6月 12日, (招待講演
)
- 堀 勝
ラジカル制御プラズマとナノテクノロジー
半導体技術講演会, ,
2004年6月 12日, (招待講演
)
- 堀 勝
スマートプラズマプロセスの研究開発と産業応用
テクノ・シンポジウム名大――プラズマ技術の最新動向と産学連携への応用―― , 名古屋大学,
2004年7月 27日, (招待講演
)
- 堀 勝
プラズマ技術について
技術開発討論会, ,
2004年8月 5日, (招待講演
)
- 堀 勝
大気圧プラズマとそのMEMSプロセスへの応用
第2回マイクロ光システム研究部会＆第13回果樹栽培育成状況リアルタイムモニタリングのためのフォトニクス研究部会, 和歌山大学システム工学部,
2004年9月 10日, (招待講演
)
- 堀 勝
大気圧プラズマと産学連携について
技術開発討論会, ,
2004年9月 21日, (招待講演
)
- 堀 勝
反応性プラズマ中の気相･表面反応
第15回プラズマエレクトロニクス講習会「プラズマの基礎と応用最前線」――ULSIからフォトニック、MEMS、ナノチューブ、プラズマイオン注入、環境まで―― , 慶応義塾大学日吉キャンパス,
2004年10月 14-15日, (招待講演
)
- 堀 勝, 高島 成剛
マイクロ波励起非平衡大気圧プラズマプロセス技術
産学官テクノプラザ名古屋, 財団法人中部科学技術センター,
2004年11月 24日, (招待講演
)
- 堀 勝, 山川 晃司
マイクロ波励起非平衡大気圧プラズマプロセス技術
産学官テクノプラザ名古屋、名古屋国際センター, 財団法人中部科学技術センター,
2004年11月 24日, (招待講演
)
- 堀 勝
カーボンナノウォールの創成とラジカル制御プラズマCVD装置製品化
第40回CVD研究会, 名古屋大学,
2004年12月 10日, (招待講演
)
- 堀 勝
新規カーボンナノ構造体の形成と次世代電子デバイスへの応用
第338回名城大学理工談話会, 名城大学,
2004年12月 11日, (招待講演
)
- 堀 勝
極薄型擬単結晶シリコン太陽電池の研究開発
第1回結晶シリコン先導研究技術分科会, 太陽光発電技術組合,
2004年12月 16日, (招待講演
)
- 堀 勝
半導体プロセスにおけるエッチング技術
リアライズ理工センターセミナー, 日本教育会館,
2004年12月 8-9日, (招待講演
)
General
- 内田 三郎, 堀 勝, 後藤 俊夫, 安藤 厚博, 辰巳 哲也, 篠原 啓二
ラジカル注入型イオンビームを用いた有機系low-k膜エッチングプロセスの解析(III)
2004年（平成16年）秋季第65回応用物理学関係連合講演会, 東北学院大学,
2004年9月 1-4日, 1a-ZH-15/I,II (
)
- 杉浦 幹在, 堀 勝, 藤本 究
2周波RF60MHz/2MHz容量結合型プラズマを用いたlow-k膜エッチング
2004年（平成16年）秋季第65回応用物理学関係連合講演会, 東北学院大学,
2004年9月 1-4日, 1p-ZH-13/I,II (
)
- 岩崎 正博, 堀 勝, 伊藤 昌文, 北畠 裕也, 上原 剛
大気圧フロン系ガスプラズマによるSiO2膜エッチングと気相診断(IV)
2004年（平成16年）秋季第65回応用物理学関係連合講演会, 東北学院大学,
2004年9月 1-4日, 1a-ZH-11/I,II (
)
- 堀 勝, 山川 晃司, 高橋 俊次, 田 昭治, 片桐 俊郎, 加納 浩之
コンパクトC2F4ガス供給装置の開発とSiO2高速、高選択比エッチングへの応用
2004年（平成16年）秋季第65回応用物理学関係連合講演会, 東北学院大学,
2004年9月 1-4日, 1a-ZH-9/I,II (
)
- 山川 晃司, 堀 勝, 後藤 俊夫, 田 昭治, 片桐 俊郎, 加納 浩之
マイクロ波励起非平衡大気圧プラズマを用いた超高速エッチングプロセス(Ⅴ)
2004年（平成16年）秋季第65回応用物理学関係連合講演会, 東北学院大学,
2004年9月 1-4日, 1a-ZH-8/I,II (
)
- 谷口 雅樹, 長尾 英俊, 平松 美根男, 安藤 義則, 堀 勝
レーザアブレーション法で作製した触媒微粒子からのCNT成長
2004年（平成16年）秋季第65回応用物理学関係連合講演会, 東北学院大学,
2004年9月 1-4日, 3p-Q-1/I,II,III (
)
- 志治 健一, 平松 美根男, 榎本 篤, 中村 匡利, 天野 浩, 堀 勝
平成16年9月1-4日
2004年（平成16年）秋季第65回応用物理学関係連合講演会, 東北学院大学,
2004年9月 1-4日, 2p-Q-21/I,II,III (
)
- 木村 美幸, 山川 晃司, 竹田 圭吾, 平松 美根男, 堀 勝, 安藤 義則
電子ビーム励起プラズマを用いたカーボンナノ構造体の作製
2004年（平成16年）秋季第65回応用物理学関係連合講演会, 東北学院大学,
2004年9月 1-4日, 2p-Q-16/I,II,III (
)
- 堀 直樹, 堀 勝, 後藤 俊夫, 塚田 勉, 知京 豊裕
パルス変調 UHF SiH4/H2プラズマを用いた微結晶シリコン薄膜の低温形成
2004年（平成16年）秋季第65回応用物理学関係連合講演会, 東北学院大学,
2004年9月 1-4日, 1p-ZB-11/I,II (
)
- 山本 昌宏, 高畑 正史, 堀 勝, 後藤 俊夫, 知京 豊裕
UHF SiH4/H2プラズマを用いたナノシリコン微粒子の室温合成
2004年（平成16年）秋季第65回応用物理学関係連合講演会, 東北学院大学,
2004年9月 1-4日, 1p-ZB-5/I,II (
)
- 太田 貴之, 伊藤 昌文, 石田 哲朗, 堀 勝, 川上 聡, 後藤 俊夫
SiH4/希釈ガスにおけるVHF容量結合プラズマ中のSi原子密度及び並進温度の挙動
2004年（平成16年）秋季第65回応用物理学関係連合講演会, 東北学院大学,
2004年9月 1-4日, 1p-ZB-2/I,II (
)
- 伊藤 治彦, 山川 晃司, 加納 浩之, 堀 勝
マイクロアーク光の発生
2004年（平成16年）秋季第65回応用物理学関係連合講演会, 東北学院大学,
2004年9月 1-4日, 3a-S-15/I (口頭
)
- 石田 哲朗, 松原 丈晃, 堀 勝, 後藤 俊夫, 多田重和
VHD-CCPによる有機基板上へのSiN膜の低温形成における励起周波数効果[II]
2004年（平成16年）秋季第65回応用物理学関係連合講演会, 東北学院大学,
2004年9月 1-4日, 3a-N-2/I (口頭
)
- 久保田 良規, 山川 晃司, 堀 勝, 後藤 俊夫
希ガス添加酸素プラズマにおける粒子の振る舞い
2004年（平成16年）秋季第65回応用物理学関係連合講演会1a-S-8/I, 東北学院大学,
2004年9月 1-4日, 1a-S-8/I (口頭
)
- 永井 幹雄, 杉浦 幹在, 堀 勝, 後藤 俊夫
高密度容量結合プラズマにおける中性ガス及びフルオロカーボンラジカルの温度
2004年（平成16年）秋季第65回応用物理学関係連合講演会1a-S-8/I, 東北学院大学,
2004年9月 1-4日, 1a-S-7/I (口頭
)
- 高島 成剛, 海老原 勝, 堀 勝, 加納 浩之
コンパクト原子状ラジカル絶対密度計測装置による複数原子計測
2004年（平成16年）秋季第65回応用物理学関係連合講演会, 東北学院大学,
2004年9月 1-4日, 1a-S-3/I (口頭
)
- 海老原 勝, 竹田 圭吾, 高島 成剛, 堀 勝, 田 昭治, 加納 浩之
低圧窒素プラズマ源の開発
2004年（平成16年）秋季第65回応用物理学関係連合講演会, 東北学院大学,
2004年9月 1-4日, 1a-S-1/I (口頭
)
- 堀 直樹, 堀 勝, 後藤 俊夫, 知京 豊裕, 中川 行人
UHF SiH4/H2プラズマによる高品質微結晶シリコンの低温形成とその機構解明
第31回アモルファス物質の物性と応用セミナー , 金沢エクセルホテル東急,
2004年11月 25-26日, (
)
- 高畑 正史, 山本 昌宏, 堀 勝, 知京 豊裕
UHF SiH4/H2プラズマを用いたシリコンナノ微粒子の合成
第31回アモルファス物質の物性と応用セミナー , 金沢エクセルホテル東急,
2004年11月 25-26日, (
)
- 谷口 雅樹, 長尾 英俊, 平松 美根男, 安藤 義則, 堀 勝
マイクロ波プラズマCVD法を用いた２層カーボンナノチューブの高速成長
第15回日本MRS学術シンポジウム, 日本大学,
2004年12月 23-24日, H2-O13 (
)
- 平松 美根男, 堀 勝
プラズマCVDを用いた２次元カーボンナノ構造体の作製
第15回日本MRS学術シンポジウム, 日本大学,
2004年12月 23-24日, H2-O10 (
)
- 竹田 圭吾, 堀 勝, 留河 裕, 太田 貴之, 伊藤 昌文
パルス変調型電子ビーム励起プラズマを用いた微笑光学素子作製プロセス
第15回日本MRS学術シンポジウム, 日本大学,
2004年12月 23-24日, H2-P22 (
)
- 高橋 俊次, 田 昭治, 片桐 俊郎, 堀 勝, 山川 晃司, 加納 浩之
コンパクトC2F4ガス供給装置の開発とCVDチャンバークリーニングへの応用
第15回日本MRS学術シンポジウム, 日本大学,
2004年12月 23-24日, H2-P21 (
)
- 杉浦 幹在, 堀 勝, 藤本 究
VHF容量結合型プラズマを用いたSiOCHのナノ加工プロセス
第15回日本MRS学術シンポジウム, 日本大学,
2004年12月 23-24日, H2-P20 (
)
- 内田 三郎, 堀 勝, 太田 貴之, 伊藤 昌文
シンクロトン放射光を用いたフルオロカーボンポリマーフィルム微細加工の開発
第15回日本MRS学術シンポジウム, 日本大学,
2004年12月 23-24日, H2-P18 (
)
- 田村 永児, 堀 勝, 後藤 俊夫, 徳田 豊, 知京 豊裕
プラズマCVDによる高誘電率HfAlYO薄膜の形成
第15回日本MRS学術シンポジウム, 日本大学,
2004年12月 23-24日, H2-P11 (
)
- 木村 美幸, 平松 美根男, 安藤 義則, 山川 晃司, 竹田 圭吾, 堀 勝
電子ビーム励起プラズマを用いたカーボンナノ構造体の作製
第15回日本MRS学術シンポジウム, 日本大学,
2004年12月 23-24日, H2-P10 (
)
- 志治 健一, 中村 匡利, 榎本 篤, 平松 美根男, 天野 浩, 堀 勝
水素ラジカル注入RFプラズマCVD法による配向カーボンナノウォールの作製
第15回日本MRS学術シンポジウム, 日本大学,
2004年12月 23-24日, H2-P07 (
)
- 山川 晃司, 堀 勝, 後藤 俊夫, 木村 美幸, 平松 美根男
マイクロ波励起大気圧非平衡プラズマCVDによる配向カーボンナノチューブの形成
第15回日本MRS学術シンポジウム, 日本大学,
2004年12月 23-24日, H2-P06 (
)
- 永井 幹雄, 堀 勝, 後藤 俊夫
マイクロ波励起大気圧プラズマのガス温度計測
第15回日本MRS学術シンポジウム, 日本大学,
2004年12月 23-24日, H2-P03 (
)
- 堀 勝, 田 昭治, 加納 浩之
ラジカル制御自律型ナノプロセスシステムに関する基礎研究
第15回日本MRS学術シンポジウム, 日本大学,
2004年12月 23-24日, H1-P15 (
)
- 山本 昌宏, 高畑 正史, 堀 勝, 後藤 俊夫, 知京 豊裕
UHF SiH4/H2プラズマによるシリコンナノ微粒子の高速形成
第15回日本MRS学術シンポジウム, 日本大学,
2004年12月 23-24日, H1-P10 (
)
- 堀 直樹, 青山 健太郎, 堀 勝, 後藤 俊夫, 中川 行人, 知京 豊裕
UHF SiH4/H2プラズマによる微結晶シリコンのCeO2上における形成
第15回日本MRS学術シンポジウム, 日本大学,
2004年12月 23-24日, H1-P09 (
)
- 太田 貴之, 伊藤 昌文, 石田 哲朗, 堀 勝, 川上 総
SiH4ガスを用いたVHF容量結合プラズマ中のSi原子密度及び並進温度の測定
第15回日本MRS学術シンポジウム, 日本大学,
2004年12月 23-24日, H1-P08 (
)
- 石田 哲朗, 松原 丈晃, 堀 勝, 後藤 俊夫, 竹内 秀夫, 多田 重和
VHF容量結合型プラズマによるプラスチック基板上におけるSiN膜の低温形成
第15回日本MRS学術シンポジウム, 日本大学,
2004年12月 23-24日, H1-P07 (
)
- 久保田 良規, 高島 成剛, 堀 勝
希ガス添加酸素プラズマにおける粒子の振る舞い
第15回日本MRS学術シンポジウム, 日本大学,
2004年12月 23-24日, H1-P02 (
)
- 高島 成剛, 堀 勝, 海老原 勝, 加納 浩之
コンパクト原子状ラジカル絶対密度計測装置によるH,N,O原子同時計測
第15回日本MRS学術シンポジウム, 日本大学,
2004年12月 23-24日, (
)