Invited talk 堀 勝低温プラズマで持続可能な地球環境を実現する 堀 勝低温プラズマで持続可能な地球環境を実現する 堤 隆嘉グリーンプラズマエッチングに向けた活性種輸送の実験的解明 堀 勝プラズマ科学が拓く未来医療 堀 勝プラズマエッチングの基礎と最先端の現状 堤 隆嘉ALD代替に向けたダメージレスALEプロセス 橋爪 博司，北野 英己，松本 省吾，阿部 明子，水野 寛子，三田 薫，湯浅 元気，東野 里江，田中 宏昌，石川 健治，榊原 均，広末 庸治, 前島 正義，齋藤 邦彰，水野 正明，堀 勝低温プラズマ農業のもたらす効果と技術化への期待 近藤 隆，井上 健一，橋爪 博司，田中 宏昌，石川 健治，堀 勝放射線、超音波および低温プラズマによるフリーラジカル生成―スピン捕捉法による検討 関根 誠半導体プラズマプロセスの基礎 井上 健一「液中プラズマプロセスの評価手法としての電子スピン共鳴の活用」「Electron Spin Resonance for Evaluation of Plasma Processing in Liquids」 近藤 隆，井上 健一，橋爪 博司，田中 宏昌，石川 健治，堀 勝プラズマ誘発アミノ酸ラジカルに関するスピン捕捉法による検討 Free Radical Formation Induced by Low-temperature Plasma in Amino acids. An EPR-Spin Trapping Study General 近藤 隆，熊谷 純，平山 亮一，橋爪 博司，田中 宏昌，石川 健治，堀 勝放射線および低温プラズマによるアミノ酸のフリーラジカル生成―結晶アラニンの脱アミノラジカルを利用した線量評価－ 田中 宏昌，田中 文子，柴田 由紀，水野 正明，石川 健治，岡崎 泰昌，豊國 伸哉，中村 香江，梶山 広明，堀 勝乳がん培養細胞系を用いたプラズマ活性乳酸リンゲル液による選択的殺傷効果の細胞内分子機構 近藤 隆，趙 慶利，齋藤 淳一イソフラキシジンによる温熱誘発アポトーシスの増強 近藤 隆，村谷 珠輝，古澤 之裕，齋藤 淳一，橋爪 博司，田中 宏昌，石川 健司，堀 勝低温プラズマによるがん治療の可能性―温熱による増強効果― 近藤 隆，村谷 珠輝，古澤 之裕，齋藤 淳一，橋爪 博司，田中 宏昌，石川 健治，堀 勝温熱による低温プラズマ誘発細胞死の増強ー直接照射から照射溶液の効果へ 臼田 淳一，柳生 憲伸，田中 宏昌，石川 健治，堀 勝，高橋 康史プラズマ活性乳酸リンゲル液添加に起因する表面形状変化の経時評価 馬緻宇PF3/H2プラズマを用いたPoly-Siに対するSiO2の選択エッチング 島津 大隼，堤 隆嘉，井上 健一，石川 健治窒化ガリウムに対するノンイオン原子層エッチングについて 田中 健太郎，石川 健治，堤 隆嘉，関根 誠，堀 勝AHF(無水フッ酸)ガスを用いた異方性エッチング 藤田 力丸，山内 拓，秋山 真一，石川 健治，堀 勝，田中 宏昌非平衡大気圧プラズマを用いたアルテミア卵への応用 平井 俊也，篠田 和典，堤 隆嘉，井上 健一，石川 健治塩素ラジカルを用いた金属窒化物の原子層エッチングメカニズムに関する研究 若司 瞭，中村 香江，水野 正明，豊國 伸哉，梶山 広明，堀 勝，石川 健治，田中 宏昌複数回PAL処理による抗腫瘍効果の持続性の調査及びメカニズムの解明ー耐性獲得によるがん再発防止の実現ー 伊藤 輝喜，橋爪 博司，石川 健治，堀 勝，田中 宏昌低温プラズマ処理による種子の発芽促進要因の解明 尾崎 孝太朗，高田 昇治，堤 隆嘉，石川 健治，Yamamoto Yuji，Wen Wei-Chen，牧原 克典エピタキシャル成長した Si0.7Ge0.3 および Si 薄膜におけるH2 希釈 CF4 ガスによるドライエッチングの選択性評価 胡 留剛，石川 健治，Thi-Thuy-Nga Nguyen，蕭 世男，堀 勝リモート酸素プラズマによるSiO2上の単層グラフェンの選択的除去 針谷 達，井上 健一，髙島 成剛，上坂 裕之，石川 健治，堀 勝EBEP CVD法を用いたBN膜形成における基板種の影響 泉 祐輔，堤 隆嘉，近藤 博基，関根 誠，石川 健治，堀 勝電子線支援原子層エッチングにおけるGaN表面フッ素化反応 三輪 和弘，ｸﾞｴﾝ ﾃｨ ﾄｩｲ ｶﾞｰ，赤木 大二郎，岡東 健，堀 勝，石川 健治酸素プラズマとギ酸蒸気によるPtの原子層エッチング時の表面反応 布村 正太，堤 隆嘉，堀 勝プラズマ誘起欠陥の発生と修復～アニールにおける雰囲気ガスの効果～ 高橋 遼人，酒井 流星，石川 健治，関根 誠，堤 隆嘉，堀 勝紫外光照射時のGaN表面エッチング反応機構 来島 拓海，堤 隆嘉，関根 誠，堀 勝，石川 健治高アスペクト比ホール内におけるラジカルの付着確率の輸送への影響 今井 祐輔，蕭 世男，関根 誠，堤 隆嘉，石川 健治，堀 勝CF4/H2プラズマによるSiO2低温エッチングのRFバイアス依存性 馬 緻宇，蕭 世男，Britun Nikolay，関根 誠，堀 勝PF3/H2プラズマを用いた Poly-Siに対するSiO2の選択エッチング ゴ クアンミン，ノ ヴァンノン，小田 修，石川 健治，堀 勝カーボンナノウォール成長時の構造制御と基板温度効果 橋爪 博司，北野 英己，水野 寛子，蕭 世男，湯浅 元気，東野 里江，田中 宏昌，松本 省吾，榊原 均，広末 庸治，前島 正義，水野 正明，齋藤 邦彰，堀 勝“スマートプラズマ農業”システム活用による稲穂へのプラズマ照射の酒米品質向上 渡邊 拓哉，北川 大慈，石川 健治，堀 勝，伊藤 昌文温度制御した酸素ラジカル活性化ピロール溶液の殺菌効果 北川 大慈，渡邊 拓哉，志水 元亨，加藤 雅士，石川 健治，堀 勝，伊藤 昌文酸素ラジカル活性化インドール溶液による中性pH領域での殺菌効果 小野 浩毅，田中 文子，石川 健治，竹内 和歌奈，上原 賢一，安原 重雄，堀 勝，田中 宏昌SiC被覆カーボンナノウォール上でのヒト間葉系幹細胞への電気刺激印加の効果 田島 慶人，石川 健治，堀 勝，伊藤 昌文酸素ラジカル活性L-トリプトファン溶液による線維芽細胞の増殖促進効果 小栗 楓子，橋本 和宜，村田 富保，田中 宏昌，堀 勝，伊藤 昌文ラジカル活性化乳酸リンゲル液による肺がん細胞の不活性化効果 森 皓平，石川 健治，田中 宏昌，堀 勝プラズマ活性乳酸リンゲル液による正常細胞のマイトファジー誘導評価 鈴木 崇矢，山川 太嗣，田中 文子，水野 正明，豊國 伸哉，梶山 広明，中村 香江，石川 健治，堀 勝，田中 宏昌マンモスフェア由来細胞を標的としたプラズマ活性溶液の影響 山田 真帆，中村 香江，梶山 広明，豊國 伸哉，水野 正明，石川 健治，堀 勝，田中 宏昌Heプラズマジェットを用いた直接照射による豚皮膚への影響 小島 陽太，石川 健治，橋爪 博司，堀 勝，田中 宏昌プラズマ活性乳酸リンゲル液（PAL）が及ぼすプラナリアの再生評価 井上 健一，近藤 隆，石川 健治，堀 勝スピントラップ法を用いたプラズマ/液相界面ラジカルの実時間検出 近藤 隆放射線および低温プラズマによる結晶アミノ酸のフリーラジカル生成 近藤 隆，水野 裕貴，安田 啓司，石川 健治，堀 勝超音波および低温プラズマによるフリーラジカル生成に関するスピン捕捉法による検討 大竹 将平，塚越 啓央，田中 宏昌，堀 勝，伊藤 昌文酸素ラジカル照射によるシロイヌナズナ根の形態変化 Morphological Changes in Arabidopsis thaliana Root Induced by Oxygen-Radical 渡邊 拓哉，北川 大慈，石川 健治，田中 宏昌，堀 勝，伊藤 昌文低温環境下での酸素ラジカル活性化ピロール溶液の殺菌効果 Bactericidal effect of oxygen radical-activated pyrrole solution in low temperature environment 福井 公輝，石川 健治，田中 宏昌，堀 勝，伊藤 昌文酸素ラジカル処理されたヒスチジン溶液が線維芽細胞へ与える影響 Effect of Oxygen Radical-Treated Histidine Solution on Fibroblasts 川口 幸大，大竹 将平，塚越 啓央，田中 宏昌，石川 健治，堀 勝，伊藤 昌文シロイヌナズナの種子における酸素ラジカルの照射効果 Irradiation Effects of Oxygen Radical Irradiation on Arabidopsis thaliana Seeds 来島 拓海，堤 隆嘉，関根 誠，堀 勝，石川 健治四重極型質量分析を用いた材料表面の中性粒子の付着確率計測 安藤 悠介，堤 隆嘉，近藤 博基，関根 誠，石川 健治，堀 勝機械学習を⽤いたアモルファスカーボン薄膜の堆積機構におけるプロセスパラメータの寄与度解析 田中 宏昌，水野 正明，石川 健治，梶山 広明，豊國 伸哉，堀 勝プラズマ活性溶液による⽣命エレクトロニクスの展開 田中 文子，水野 正明，石川 健治，カメリア ミロン，橋爪 博司，岡崎 泰昌，豊國 伸哉，中村 香江，梶山 広明，堀 勝，田中 宏昌プラズマ活性乳酸リンゲル液による乳がん細胞選択的殺傷機構の解明 山川 太嗣，田中 文子，ミロン キャミリア，中村 香江，梶山 広明，豊國 伸哉，水野 正明，石川 健治，堀 勝，田中 宏昌プラズマ活性乳酸リンゲル液内オートファジー誘導物質の特定 Akira Miyazaki，Tomoki Taki，Kae Nakamura，Hiromasa Tanaka，Masaru Hori，Katsumi Ebisawa，Masashi AkiyamaLow-temperature plasma-activated Ringer’s lactate solution induces cell death on malignant melanoma cells 高橋 遼人，酒井 流星，堤 隆嘉，井上 健一，関根 誠，堀 勝，石川 健治UVレーザー光照射エッチングプロセスにおけるGaN表⾯の脱離挙動 石川 健治シンポジウム：「アカデミックロードマップ」 近藤 隆，村谷 珠輝，古澤 之裕，井上 健一，橋爪 博司，田中 宏昌、石川 健治，堀 勝がん治療増感に関わる放射線，温熱、超音波および低温プラズマの相互関係 山川 太嗣，井上 健一，石川 健治，堀 勝，田中 宏昌プラズマ活性乳酸リンゲル液におけるプラズマ由来NOの挙動分析 山川 太嗣新規創薬プロセスの確立を目指したプラズマ源開発 尾崎 孝太朗，佐分利 伊吹，堤 隆嘉，石川 健治，Yamamoto Yuji，Wen Wei-Chen，牧原 克典エピタキシャル成長したSi0.7Ge0.3およびSi薄膜におけるH2希釈CF4ガスによるドライエッチング -基板温度依存性- 橋爪 博司，水野 寛子，勝又 優子，阿部 明子，三田 薫，中村 香江，湯浅 元気，東野 里江，ミロン カメリア，田中 宏昌，広末 庸治，伊藤 昌文，前島 正義，齋藤 邦彰，宮下 直人，水野 正明，堀 勝プラズマ活性化溶液を用いた真菌胞子の強力殺菌 Powerful inactivation of fungal spores with plasma-activated solution 小野 浩毅，田中 文子，石川 健治，竹内 和歌奈，上原 賢一，安原 重雄，堀 勝，田中 宏昌SiC コートCNW 上でのヒト間葉系幹細胞への電気刺激と壁の厚みの変化が分化能に及ぼす影響 Impact of electrical stimulation and wall thickness variation on the differentiation potential of human mesenchymal stem cells cultured on SiC-coated CNWs 山川 太嗣，井上 健一，石川 健治，堀 勝，田中 宏昌プラズマ活性乳酸リンゲル液内NOラジカルの経時分析 Time course analysis of NO radicals in plasma-activated Ringer's lactate solution 福井 公輝，田島 慶人，石川 健治，田中 宏昌，堀 勝，伊藤 昌文酸素ラジカル活性化L-トリプトファン溶液中に生成されたキヌレニンによる線維芽細胞の増殖促進効果 北川 大慈，清水 健太，渡邊 拓哉，志水 元亨，加藤 雅士，田中 宏昌，石川 健治，堀 勝，伊藤 昌文酸素ラジカル活性化インドール溶液による殺菌効果の温度依存性 道山 大智，橋爪 博司，田中 宏昌，堀 勝，伊藤 昌文酸素ラジカル活性化界面活性剤溶液による強力殺菌 川口 幸大，塚越 啓央，田中 宏昌，石川 健治，堀 勝，伊藤 昌文大気圧質量分析法を用いたソラマメ種皮の酸化窒素ラジカル透過率測定 髙橋 康太朗，安藤 悠介，堤 隆嘉，井上 健一，関根 誠，堀 勝，石川 健治機械学習を活用した中性種スペクトルのリアルタイム解析 Real-time Analysis of Neutral species spectrum Using Machine Learning Takumi Kurushima，Takayoshi Tsutsumi，Makoto Sekine，Kenichi Inoue2，Kenji Ishikawaラジカルの付着確率が高アスペクト比ホール内の輸送に与える影響 Effects of Radical Sticking Probability on Transport in High-Aspect-Ratio Holes 平井 俊也，篠田 和典，グエン ティ トゥイ ガー，堤 隆嘉，井上 健一，石川 健治低温下での塩素ラジカル照射による窒化チタン原子層エッチングにおけるin-situ表面反応解析 In-situ Surface Reaction Analysis during Atomic Layer Etching of TiN Irradiated by Cl Radicals at Low Temperature 三輪 和弘，グエン ティ トウイ ガー，赤木 大二郎，富澤 毅，堀 勝，石川 健治酸素プラズマとギ酸蒸気処理によるPt 薄膜のサイクルエッチング A Cyclic Etching of Platinum Thin Films by An Oxygen Plasma and A Formic Acid Vapor Treatment 林 俊雄，石川 健治，関根 誠，堀 勝計算化学による1-C4F8の電子物性と解離特性 林 俊雄，石川 健治，関根 誠，堀 勝1-C5F10分子の電子物性と解離 布村 正太，堤 隆嘉，堀 勝プラズマ誘起欠陥の発生と修復 ～SiO2/Si界面酸化と微細構造変化～ 中村 昭平，谷出 敦，木村 貴弘，トラン グエン トラン，井上 健一，石川 健治酸素添加塩素プラズマによるGaN 選択エッチングの温度依存性 尾崎 孝太朗，堤 隆嘉，石川 健治，Yamamoto Yuji，Wen Wei-Chen，牧原 克典CF4/H2プラズマによるエピタキシャル成長したSi0.7Ge0.3/Si/Si0.7Ge0.3積層膜からのSiナノシートの形成