Invited talk
- 堀 勝, 竹田 圭吾, 竹内 和歌奈, 近藤 真悟, 柏原 雅好, 三国 裕之, 下枝 弘尚
低次元カーボン系チャネルエンジニアリング
科学研究費補助金特定領域研究「シリコンナのエレクトロニクスの新展開」―ポストスケーリングテクノロジー第5回全体会議, 東京大学本郷キャンパス, 東京都,
2009年1月 28-29日 (招待講演
)
- 堀 勝, 白谷 正治, 滝川 浩史, 一木 隆範, 渡辺 隆行, 大野 哲靖, 安藤 晃
プラズマが拓くバラ色の未来を語る
プラズマ科学シンポジウム2009/第26回プラズマプロセシング研究会ナイトセッション, 名古屋大学豊田講堂・シンポジオン, 名古屋,
2009年2月 2-4日 (招待講演
)
- 堀 勝
先進プラズマによる複合材料イノベーション
名古屋大学大学院工学研究科附属複合材工学研究センター設立シンポジウム, 名古屋大学野依記念学術交流館カンファレンスホール, 名古屋,
2009年2月 27日 (招待講演
)
- 竹内 和歌奈, 堀 勝, 木村 滋, 坂田 修身, 田尻 寛男, 竹田 圭吾, 高島 成剛
「新規カーボンナノ構造体カーボンナノウォールと種々の基板界面の構造解析」
重点ナノテクノロジー支援課題研究成果報告会, SPring-8 放射光普及棟大講堂, 兵庫県佐用郡,
2009年3月 12日 (招待講演
)
- 堀 勝
マイクロとナノテクノロジーを推進するためのプラズマプロセスイノベーション
第22回プラズマ材料科学シンポジウム SPSM-22, 東京大学山上会館, 東京,
2009年6月 16日 (招待講演
)
- 堀 勝
低温大気圧プラズマの魅力と産業革新
KICC 九州イノベーション創出促進協議会生産計測分科会プラズマ技術研究会, アルカスSASEBO, 長崎県佐世保市,
2009年8月 3日 (招待講演
)
- 堀 勝
先進プラズマナノ基盤技術の開発
知的クラスター創成事業成果発表会, トヨタテクノミュージアム産業技術記念館大ホール, 名古屋,
2009年9月 2日 (招待講演
)
- 堀 勝
プラズマナノ科学を基盤とする最先端モノづくり
テクノフェア名大2009, 名古屋大学IB電子情報館, 名古屋,
2009年9月 4日 (招待講演
)
- 堀 勝
より優れた科学研究費申請書を作成するために
科学研究費補助金に係る説明会, 豊田工業高等専門学校, 愛知県,
2009年9月 15日 (招待講演
)
- 堀 勝
MBE用高密度ラジカルソースの開発
第6回窒化物半導体応用研究会, 名古屋大学IB電子情報館大講義室, 名古屋,
2009年10月 30日 (招待講演
)
- 堀 勝
特許の意義と産学連携への展望～有用な特許の創出と契約交渉のポイント～
知的財産セミナー, 長崎大学, 長崎市,
2009年11月 5日 (招待講演
)
- 堀 勝
明日の仕事に役に立つプラズマエッチングの基礎と実例 －半導体プロセスを中心としてー
プラズマエッチングの基礎と実例セミナー, リアライズ理工センター, 東京都,
2009年11月 10-11日 (招待講演
)
- 堀 勝
プラズマによる地球再生イノベーション
（社）日本技術士会中部支部冬季例会, 名古屋都市センター, 名古屋,
2009年11月 28日 (招待講演
)
- 堀 勝
先進プラズマ技術の産業応用
第2回プラズマ・ナノ技術研究会, 愛知技術開発交流センター, 刈谷市,
2009年11月 30日 (招待講演
)
- 堀 勝
ドライエッチングの基礎―エッチング技術
平成21年度実施カリキュラムー薄膜の作製と超微細加工―, 産業技術総合研究所つくばセンター, 茨城,
2009年12月 14日 (招待講演
)
- 堀 勝, 竹内 和歌奈, 近藤 博基, 平松 美根男
先進プラズマプロセスによるグラフェンマテリアルの開発
平成21年度日本真空協会12月研究例会, 名古屋大学ベンチャービジネスラボラトリ3階ベンチャーホール, 名古屋,
2009年12月 17日, pp. 16-21 (招待講演
)
General
- 堀 勝, 竹田 圭吾, 竹内 和歌奈, 近藤 真悟, 柏原 雅好, 三国 裕之, 下枝 弘尚
「カーボンナノウォールチャネルエンジニアリングに向けた添加ガスによる構造物性制御及び単一橋架けカーボンナノウォール作製制御」低次元カーボン系チャネルエンジニアリング
科学研究費補助金特定領域研究「シリコンナのエレクトロニクスの新展開」―ポストスケーリングテクノロジー―第3回成果報告会, 東京大学 本郷キャンパス,
2009年1月 28-29日 (
)
- 柏原 雅好, 竹内 和歌奈, 堀 勝
「微量窒素添加ガスを用いて作製したカーボンナノウォールのドープ効果による電子状態変化」低次元カーボン系チャネルエンジニアリング
科学研究費補助金特定領域研究「シリコンナのエレクトロニクスの新展開」―ポストスケーリングテクノロジー―第3回成果報告会, 東京大学 本郷キャンパス,
2009年1月 28-29日 (
)
- 三国 裕之, 竹内 和歌奈, 堀 勝
「電子ビーム励起プラズマを用いた単一橋架けカーボンナノウォールの作製」低次元カーボン系チャネルエンジニアリング
科学研究費補助金特定領域研究「シリコンナのエレクトロニクスの新展開」―ポストスケーリングテクノロジー―第3回成果報告会, 東京大学 本郷キャンパス,
2009年1月 28-29日 (
)
- 三國 裕之, 竹内 和歌奈, 平松 美根男, 加納 浩之, 徳田 豊, 竹田 圭吾, 堀 勝
Fabrication of Bridge-shaped Carbon Nanowall by Using Patterned Template/パターン基板を用いた橋架けカーボンナノウォールの作製
プラズマ科学シンポジウム2009/第26回プラズマプロセシング研究会, 名古屋大学 豊田講堂・シンポジオン,
2009年2月 2-4日 (
)
- 松平 雄人, 乾 裕俊, 木野 徳重, 加納 浩之, 竹田 圭吾, 関根 誠, 堀 勝
Deposition of Amorphous Carbon Films by Plasma-Enhanced Chemical Vapor Deposition in Atmospheric-Pressure/大気圧下PECVD法によるアモルファスカーボン膜の堆積
プラズマ科学シンポジウム2009/第26回プラズマプロセシング研究会, 名古屋大学 豊田講堂・シンポジオン,
2009年2月 2-4日, P3-38 (
)
- 間瀬 航太, 町野 琢磨, 加納 浩之, 平松 美根男, 関根 誠, 堀 勝
Synthesis of Platinum Nanoparticles for Catalysts on Carbon Nano Materials by Using Supercritical Fluid/超臨界流体を用いたカーボンナノ構造体への触媒用白金微粒子担持
プラズマ科学シンポジウム2009/第26回プラズマプロセシング研究会, 名古屋大学 豊田講堂・シンポジオン,
2009年2月 2-4日, P1-15 (
)
- 竹内 拓也, 関根 誠, 豊田 浩孝, 竹田 圭吾, 堀 勝, 康 松潤, 沢田 郁夫
Investigation of Photoresist Surface Modified by Fluorocarbon Etching Plasma/CF系プラズマにより改質されたフォトレジスト表面層の観察
プラズマ科学シンポジウム2009/第26回プラズマプロセシング研究会, 名古屋大学 豊田講堂・シンポジオン,
2009年2月 2-4日, P3-09 (
)
- 黒田 裕樹, 山本 洋, 伊藤 昌文, 太田 貴之, 竹田 圭吾, 関根 誠, 堀 勝
Controlling Etch Processes of Organic Low-k Films based on Measurement of Substrate Temperature and Radical Density/基板温度及びラジカル密度計測に基づいた有機Low-k膜エッチングプロセスの制御
プラズマ科学シンポジウム2009/第26回プラズマプロセシング研究会, 名古屋大学 豊田講堂・シンポジオン,
2009年2月 2-4日, P3-11 (
)
- 近藤 真悟, 伊谷 佳泰, 山川 晃司, 田 昭治, 平松 美根男, 関根 誠, 堀 勝
Synthesis of Carbon Nanowalls by Ions and Radicals Controlled CVD/イオン・ラジカル制御CVD法によるカーボンナノウォールの作製
プラズマ科学シンポジウム2009/第26回プラズマプロセシング研究会, 名古屋大学 豊田講堂・シンポジオン,
2009年2月 2-4日, P2-06 (
)
- 乾 裕俊, 松平 雄人, 屋良 拓也, 上原 剛, 関根 誠, 堀 勝
Surface Modification Processes on Organic material in Nonequilibrium Atmospheric-Pressure Pulsed Remote Plasma/大気圧非平衡パルスリモートプラズマよる撥水化処理
プラズマ科学シンポジウム2009/第26回プラズマプロセシング研究会, 名古屋大学 豊田講堂・シンポジオン,
2009年2月 2-4日, P3-40 (
)
- 渡邊 均, 平松 美根男, 堀 勝
Fabrication of carbon nanowall by using radical injection plasma enhanced Chemical Vapor Deposition and its electrochemical evaluation/ラジカル注入型プラズマCVD法によるカーボンナノウォールの作製と電気化学測定
プラズマ科学シンポジウム2009/第26回プラズマプロセシング研究会, 名古屋大学 豊田講堂・シンポジオン,
2009年2月 2-4日, P1-14 (
)
- 井関 紗千子, 太田 貴之, 伊藤 昌文, 加納 浩之, 東島 康裕, 堀 勝
Spectroscopic characteristics of non-equilibrium atmospheric pressure plasma for penicillium digitatum disinfection/ミドリカビ殺菌における非平衡大気圧プラズマの分光特性
プラズマ科学シンポジウム2009/第26回プラズマプロセシング研究会, 名古屋大学 豊田講堂・シンポジオン,
2009年2月 2-4日, P1-32 (
)
- 竹中 弘祐, 趙 研, 節原 裕一, 白谷 正治, 関根 誠, 堀 勝, 池永 英司, 近藤 博基, 中塚 理, 財満 鎮明
Surface Analysis of Polymers Exposed to Low-Damage Plasma Sustained with Low-inductance-Antenna Modules/低インダクタンスアンテナを用いて生成した低ダメージプラズマを照射したポリマーの表面分析
プラズマ科学シンポジウム2009/第26回プラズマプロセシング研究会, 名古屋大学 豊田講堂・シンポジオン,
2009年2月 2-4日, P1-44 (
)
- 梅津 潤, 井上 和彦, 野村 卓矢, 松崎 秀文, 古閑 一憲, 白谷 正治, 節原 裕一, 関根 誠, 堀 勝
Deposition profile of toluene plasma CVD carbon films in trenches/微細溝へのトルエンを用いたプラズマCVDカーボン薄膜の堆積形状
プラズマ科学シンポジウム2009/第26回プラズマプロセシング研究会, 名古屋大学 豊田講堂・シンポジオン,
2009年2月 2-4日, P2-02 (
)
- 阿部 祐介, 川嶋 翔, 竹田 圭吾, 関根 誠, 堀 勝
Measurement of Absolute Density and Translational Temperature of Hydrogen Atoms in VHF Capacitively Coupled Plasma by Tunable Vacuum Ultraviolet Laser Absorption Spectroscopy/波長可変真空紫外レーザー吸収分光法を用いたVHF容量結合型プラズマ中の水素原子の絶対密度・並進温度測定
プラズマ科学シンポジウム2009/第26回プラズマプロセシング研究会, 名古屋大学 豊田講堂・シンポジオン,
2009年2月 2-4日, P2-38 (
)
- 田子多 直樹, 家苗 毅司, 太田 貴之, 伊藤 昌文, 東島 康裕, 加納 浩之, 田 昭治, 堀 勝
Monitoring of absolute densities of metallic atoms using multi-micro hollow cathode light source in a sputtering process for a transparent conductive film/マルチマイクロホローカソード光源を用いた透明導電膜性膜スパッタプロセスにおける金属原子密度のモニタリング
プラズマ科学シンポジウム2009/第26回プラズマプロセシング研究会, 名古屋大学 豊田講堂・シンポジオン,
2009年2月 2-4日, P2-40 (
)
- 陳 尚, 加納 浩之, 竹田 圭吾, 田 昭治, 高島 成剛, 堀 勝
Development of high density radical source and behaviors of nitrogen radicals/高密度ラジカルソースの開発と窒素ラジカルの挙動
プラズマ科学シンポジウム2009/第26回プラズマプロセシング研究会, 名古屋大学 豊田講堂・シンポジオン,
2009年2月 2-4日, P2-55 (
)
- 節原 裕一, 竹中 弘祐, 白谷 正治, 関根 誠, 堀 勝
Development of Combinatorial Plasma-Process Analyzer for Advanced R&D of Plasma Nano Process/プラズマナノプロセスの先進的研究開発に向けたコンビナトリアル・プラズマプロセス解析装置の開発
プラズマ科学シンポジウム2009/第26回プラズマプロセシング研究会, 名古屋大学 豊田講堂・シンポジオン,
2009年2月 2-4日, P3-01 (
)
- 山本 洋, 竹田 圭吾, 関根 誠, 堀 勝
Evaluation of fluorocarbon layer on porous SiOCH low-k films during plasma ashing process/ポーラスSiOCH low-k膜表面CF層のアッシングダメージへの影響
プラズマ科学シンポジウム2009/第26回プラズマプロセシング研究会, 名古屋大学 豊田講堂・シンポジオン,
2009年2月 2-4日, P3-10 (
)
- 宮脇 雄大, 竹田 圭吾, 深沢 正永, 大島 啓示, 長畑 和典, 辰巳 哲也, 高島 成剛, 関根 誠, 堀 勝
Damages on low-k films due to VUV, UV radiation, radical and ion in plasma etching employing H2 / N2 gases/水素/窒素プラズマによるlow-k膜のエッチングにおける真空紫外光、紫外光、ラジカル、イオンの膜へのダメージ
プラズマ科学シンポジウム2009/第26回プラズマプロセシング研究会, 名古屋大学 豊田講堂・シンポジオン,
2009年2月 2-4日, P3-12 (
)
- 堀 勝
先進発光分光計測技術によるDLCプラズマプロセスの解析
第3回環境調和型機能性表面フォーラム, 神奈川県, KSPホール,
2009年3月 16日 (
)
- 太田 貴之, 田子多 直樹, 伊藤 昌文, 東島 康裕, 加納 浩之, 田 昭治, 堀 勝
インジウム酸化亜鉛膜形成のためのRFマグネトロンスパッタリングプラズマの診断
2009年春季 第56回応用物理学関係連合講演会, 茨城県, 筑波大学,
2009年3月 30-4月 2日, 30p-ZX-1 (
)