Invited talk 関根 誠車載エレクトロニクス開発の課題 堀 勝吸収分光計測技術 堀 勝揺らぎフリー加工技術への挑戦ー最新動向と展望 関根 誠微細デバイス作製のためのドライエッチング技術 堀 勝, 伊藤 昌文, 西澤 典彦プラズマのバイオ応用への展開―プラズマアグリカルチャー― 堀 勝ナノアセンブリングシステム開発 堀 勝, 平松 美根男ラジカル制御によるグラフェンの構造制御と電気特性 関根 誠, 畠山 力三 プラズマ・プロセス技術 W. TakeuchiControl of the Structures and the Electrical Conduction of Carbon Nanowalls using Additional Gas 堀 勝BEOL向けエッチング技術と装置、エッチングソースの最新技術動向、エッチングガスの最新動向 堀 勝先進プラズマを用いた革新的表面加工技術 堀 勝プラズマを用いた加工技術 堀 勝, 平松 美根男垂直成長グラフェンナノシートによる新機能デバイス 堀 勝先進プラズマナノ基盤技術の開発、先進プラズマナノ科学拠点形成プログラム 堀 勝「テーマ１」、「広域化プログラム」全体説明 堀 勝ドライエッチング技術の基礎 堀 勝カーボンナノウォールのバイオテクノロジーへの応用 堀 勝Low-kエッチング技術の課題と展望 堀 勝明日の仕事に役立つプラズマエッチングの基礎と実例-半導体プロセスを中心として- 竹田 圭吾, 堀 勝プラズマセンサーによる環境管理 堀 勝「テーマ１」、「広域化プログラム」について 堀 勝テーマ3への先進プラズマ技術の応用可能性 General 竹田 圭吾, 高島 成剛, 堀 勝Si酸化プロセスにおける希ガス添加酸素プラズマ内の活性種の影響、 近藤 真悟, ステファノヴィック オリヴェラ, 山川 晃司, 平松 美根男, 堀 勝プラズマＣＶＤ法により作製したCNWの初期成長における酸素添加効果 竹内 和歌奈, 徳田 豊, 平松 美根男, 加納 浩之, 堀 勝ラジカル注入プラズマCVD法で作製したカーボンナノウォール構造における酸素ガス添加の効果 井関 紗千子, 山本 桂司, 太田 貴之, 伊藤 昌文, 加納 浩之, 東島 康裕, 堀 勝非平衡大気圧プラズマを用いたミドリカビの殺菌特性 高橋 俊次, 高島 成剛, 河内 良太, 田 昭治, 片桐 俊郎, 加納 浩之, 伊藤 昌文, 堀 勝自律型プラズマナノ製造装置の創成 太田 貴之, 橘 善洋, 田子多 直樹, 伊藤 昌文, 高島 成剛, 東島 康裕, 加納 浩之, 田 昭治, 堀 勝マルチマイクロホローカソード光源の発光特性 柏原 雅好, 竹内 和歌奈, 徳田 豊, 加納 浩之, 平松 美根男, 堀 勝プラズマCVD法で作製したカーボンナノウォールの金属接触の評価 菱川 貴文, 大平 真, 平松 美根男, 堀 勝誘導結合型プラズマCVD法を用いたカーボンナノ構造体の作製 増田 隆行, 木村 美幸, 平松 美根男, 山川 晃司, 堀 勝非平衡大気圧プラズマCVD法を用いたカーボンナノ構造体の作製 竹田 圭吾, 高島 成剛, 堀 勝真空紫外レーザシステムによる吸収分光用光源の特性評価 竹内 和歌奈, 高島 成剛, 堀 勝カーボンナノウォールデバイス応用に向けたグラファイト構造制御 近藤 真悟, 高島 成剛, 堀 勝イオン・ラジカル独立照射によるカーボンナノウォールの作製に関する研究 近藤 真悟, 山川 晃司, 平松 美根男, 堀 勝プラズマCVD法で作製したカーボンナノウォールの成長メカニズム 柏原 雅好, 丸山 茂敏, 山川 晃司, 平松 美根男, 堀 勝プラズマCVD法で作製したカーボンナノウォールの高速成長及び表面積制御 高島 成剛, 堀 勝プラズマナノ科学を基盤とした先端プラズマによるナノ・マイクロ加工 近藤 真悟, ステパノヴィッチ オリヴェラ, 山川 晃司, 田 昭治, 平松 美根男, 堀 勝イオン・ラジカル照射によるカーボンナノウォールの作製 竹内 和歌奈, 徳田 豊, 加納 浩之, 平松 美根男, 堀 勝酸素添加ガスによるカーボンナノウォールの構造制御II 柏原 雅好, 竹内 和歌奈, 徳田 豊, 加納 浩之, 平松 美根男, 堀 勝カーボンナノウォールに対するメタルコンタクト特性 大平 真, 菱川 貴文, 平松 美根男, 竹内 和歌奈, 堀 勝誘導結合型プラズマCVD法を用いたカーボンナノウォールの形成 渡辺 均, 森 貴照, 平松 美根男, 山川 晃司, 竹内 和歌奈, 竹田 圭吾, 堀 勝電子ビーム励起プラズマCVD法を用いたカーボンナノウォールの形成 (II) 三国 裕之, 竹内 和歌奈, 平松 美根男, 加納 浩之, 徳田 豊, 堀 勝単一橋架けカーボンナノウォールの作製 乾 裕俊, 増田 隆行, 山川 晃司, 加納 浩之, 平松 美根男, 堀 勝マイクロ波励起非平衡大気圧プラズマCVD法によるカーボンナノ構造体の作製 竹田 圭吾, 太田 貴之, 高島 成剛, 西澤 典彦, 伊藤 昌文, 堀 勝超広帯域スーパーコンティニューム光源を用いた近赤外吸収分光法による大気圧プラズマ診断 堀 勝, 高島 成剛, 加納 浩之, 天野 和男, 戸田 仁, 馬嶋 隆, 中田 和彦自律型四次元大気圧プラズマ製造装置の創成と応用 乾 裕俊, 岩崎 正博, 加納 浩之, 鈴木 保彦, 須藤 大輔, 中田 和彦, 平松 美根男, 堀 勝三相交流励起高密度非平衡大気圧プラズマの生成と高分子材料の表面改質プロセス 松平 雄人, 岩崎 正博, 乾 裕俊, 吉田 直史, 天野 和男, 加納 浩之, 堀 勝新規超高電子密度(～1016 cm-3 )非平衡大気圧リモートプラズマ中の気相診断及びガラス表面洗浄プロセス 山本 洋, 竹田 圭吾, 関根 誠, 堀 勝ポーラスSiOCH low-k膜へのアッシングダメージ発生機構の検討 柴田 英美, 岡本 秀一, 関根 誠, 堀 勝脱温暖化のための新規フルオロカーボンガスを用いた高速low-k膜エッチングプロセス(I) 文 昶盛, 竹田 圭吾, 高島 成剛, 関根 誠, 節原 裕一, 白谷 正治, 堀 勝デスクトップ型コンビナトリアルプラズマナノプロセス解析装置の創成（I） 高橋 俊次, 高島 成剛, 河内 良太, 田 昭治, 片桐 俊郎, 加納 浩之, 鈴木 達也, 伊藤 昌文, 堀 勝自律型ナノエッチング装置の創成（I） 高橋 俊次, 高島 成剛, 河内 良太, 田 昭治, 片桐 俊郎, 加納 浩之, 鈴木 達也, 伊藤 昌文, 堀 勝自律型ナノエッチング装置の創成（II） 安藤 賢一, 竹田 圭吾, 河野 悟司, 久保田 和宏, 輿水 地塩, 河野 明廣, 関根 誠, 堀 勝レーザートムソン散乱を用いた二周波容量結合エッチングプラズマにおける電子密度と電子エネルギー分布計測 原 安寛, 竹田 圭吾, 高島 成剛, 山川 晃司, 田 昭冶, 加納 浩之, 豊田 浩孝, 関根 誠, 堀 勝高速窒素原子・分子を用いた有機材料表面の窒化及びダメージの評価 高島 成剛, 斉藤 良太, 内田 三郎, 深沢 正永, 大島 啓示, 長畑 和典, 辰巳 哲也, 堀 勝二周波励起容量結合型プラズマにおける真空紫外光、紫外光、ラジカル、イオンによるLow-k膜へのダメージ 竹田 圭吾, 高島 成剛, 堀 勝希ガス添加酸素プラズマを用いたSi酸化膜形成メカニズムの解明 井関 紗千子, 山本 桂司, 太田 貴之, 伊藤 昌文, 加納 浩之, 東島 康裕, 堀 勝非平衡大気圧プラズマを用いたミドリカビの殺菌メカニズムの検証 堀 勝実用レベルプラズマ酸化プロセス装置：SPAにおけるラジカル計測と参加機構解明へのアプローチ 太田 貴之, 井関 紗千子, 伊藤 昌文, 堀 勝大気圧プラズマを用いた農業分野における殺菌技術 井関 紗千子, 山本 桂司, 太田 貴之, 伊藤 昌文, 加納 浩之, 東島 康裕, 堀 勝プラズマアグリカルチャー －非平衡大気圧プラズマを用いたミドリカビの殺菌－ 松平 雄人, 乾 裕俊, 加納 浩之, 堀 勝超高密度非平衡大気圧リモートプラズマを用いたアモルファスカーボン膜の作製 陳 尚, 加納 浩之, 田 昭治, 高島 成剛, 竹田 圭吾, 堀 勝高密度ラジカルソースにおける窒素ラジカルの挙動 竹内 和歌奈, 徳田 豊, 加納 浩之, 平松 美根男, 堀 勝カーボンナノウォール/Si接合における電気特性評価 近藤 真悟, 山川 晃司, 田 昭治, 平松 美根男, 関根 誠, 堀 勝イオン・ラジカル独立制御によるカーボンナノウォールの作製(II) 渡邊 均, 平松 美根男, 堀 勝ラジカル注入型プラズマCVD法によるカーボンナノウォールの作製と電気化学評価 田子多 直樹, 太田 貴之, 伊藤 昌文, 東島 康裕, 加納 浩之, 田 昭治, 堀 勝マルチマイクロホローカソード光源を用いたIZO膜成膜スパッタプロセスにおける金属原子密度のモニタリング 乾 裕俊, 松平 雄人, 屋良 卓也, 上原 剛, 堀 勝非平衡大気圧リモートプラズマによる有機材料表面の撥化プロセス 黒田 裕樹, 山本 洋, 伊藤 昌文, 太田 貴之, 関根 誠, 堀 勝低コヒーレンス干渉計を用いた基板温度計測に基づくプラズマエッチングプロセスの制御 高島 成剛, 竹田 圭吾, 堀 勝プロセスプラズマにおける窒素ラジカルの表面損失確率 文 昶盛, 竹田 圭吾, 高島 成剛, 林 俊雄, 関根 誠, 節原 裕一, 白谷 正治, 堀 勝H2 /N2 プラズマ中における水素および窒素ラジカルの表面損失確率計測 柴田 英美, 岡本 秀一, 関根 誠, 堀 勝脱温暖化のための新規フルオロカーボンガスを用いた高速low-k膜エッチングプロセス(II) 宮脇 雄大, 斉藤 良太, 内田 三郎, 深沢 正永, 大島 啓示, 長畑 和典, 辰巳 哲也, 高島 成剛, 竹田 圭吾, 関根 誠, 堀 勝二周波励起容量結合型プラズマにおける真空紫外光,紫外光,ラジカル,イオンによるLow-k膜へのダメージ(VI) 山本 洋, 竹田 圭吾, 関根 誠, 堀 勝ポーラスSiOCH low-k膜へのアッシングダメージ発生機構の検討(II) 阿部 祐介, 竹田 圭吾, 関根 誠, 堀 勝高圧領域でのVHF容量結合型プラズマ中におけるH原子の挙動 三國 裕之, 竹内 和歌奈, 平松 美根男, 加納 浩之, 徳田 豊, 堀 勝単一橋架けカーボンナノウォールの作製 陳 尚, 加納 浩之, 田 昭治, 竹田 圭吾, 高島 成剛, 堀 勝高密度ラジカルソースにおける窒素ラジカルの挙動 松平 雄人, 乾 裕俊, 加納 浩之, 関根 誠, 堀 勝超高密度(1016 cm-3 )非平衡大気圧リモートプラズマの応用 －アモルファスカーボン膜の作製－ 間瀬 航太, 町野 琢磨, 平松 美根男, 堀 勝超臨界CO2 を用いたカーボンナノウォールへの新規白金ナノ粒子合成法に関する研究 竹内 拓也, 竹田 圭吾, 知京 豊裕, 関根 誠, 堀 勝発光性シリコンナノ微粒子の結合状態の解明に関する研究 阿部 祐介, 竹田 圭吾, 関根 誠, 堀 勝高圧領域でのVHF容量結合型プラズマにおけるH原子絶対密度、並進温度計測 黒田 裕樹, 山本 洋, 伊藤 昌文, 太田 貴之, 関根 誠, 堀 勝低コヒーレンス干渉計を用いた基板温度計測に基づくラジカル制御プラズマエッチングプロセス 竹内 和歌奈, 加納 浩之カーボンナノウォールの作成とデバイスへの展開