Invited talk 石川 健治, 竹内 拓也, 尼崎 新平, 浅野 高平, 山本 洋, 鈴木 俊哉, 竹田 圭吾, 近藤 博基, 関根 誠, 堀 勝プラズマプロセス中材料の表面反応の機構解析 堀 勝地域クラスター間の連携によるグリーンイノベーションの創出に向けて 堀 勝先進プラズマプロセスが切り拓くグローバルイノベーションと新デバイスの期待 堀 勝世界の潮流と我が国のプラズマ科学技術への提言 堀 勝, 関根 誠, 石川 健治, 近藤 博基, 竹田 圭吾, 河野 昭彦, 堀邊 英夫リアルタイム計測によるラジカルと固体表面相互反応プロセスの体系化 堀 勝先進プラズマプロセスを用いた表面技術のイノベーション 堀 勝大気圧プラズマ表面科学技術が拓く元気で、明るい日本の未来 堀 勝先進プラズマナノ基盤技術の開発 堀 勝プラズマエレクトロニクスの現状と未来 堀 勝プラズマエレクトロニクスの現状と未来 堀 勝コンビナトリアルによるプラズマ科学の構築と有機材料の超微細加工への展開 石川 健治電子スピン共鳴測定によるプラズマ表面相互作用のその場観察 General N. Ebizuka, K. Ishikawa, H. Kondo, M. HoriNovel Gratings for Subaru Telescope, TMT and E-ELT 岩田 義幸, 堀 勝, 坂本 一, 乾 裕俊, 竹田 圭吾60Hz駆動超高密度非平衡大気圧プラズマ中の活性種の計測と表面処理への展開 石川 健治, 萩野 達也, 鷲見 直也, 加納 浩之, 竹田 圭吾, 近藤 博基, 関根 誠, 堀 勝アルコール気液プラズマ生成するナノカーボンの電子スピン共鳴法によるその場観察 Arkadiusz Malinowski, Masaru Hori, Makoto Sekine, Kenji Ishikawa, Hiroki Kondo, Hiroshi Yamamoto, Takuya Takeuchi, Toshiya Suzuki, Lidia Lukasiak, Andrzej Jakubowski, Dan TomaszewskiRadical Flux Analysis in ArF Photoresist Plasma Etching using Parallel Plate Structure 井関 紗千子, 堀 勝, 渡邊 均, 太田 貴之, 近藤 博基, 石川 健治, 竹田 圭吾, 関根 誠, 伊藤 昌文カーボンナノウォールの超親水化と機能性バイオテンプレートへの応用 賈 鳳東, 竹田 圭吾, 石川 健治, 乾 裕俊, 井関 紗千子, 加納 浩之, 近藤 博基, 関根 誠, 堀 勝バイオ応用に向けた60Hz大気圧プラズマ源の生成酸素原子の空間分布 加藤 正規, 竹田 圭吾, 石川 健治, 近藤 博基, 関根 誠, 堀 勝非平衡大気圧プラズマにおける活性種の3次元気相反応解析 山本 洋, 浅野 高平, 竹田 圭吾, 石川 健治, 近藤 博基, 関根 誠, 堀 勝In-situ FTIRを用いたプラズマ曝露および大気曝露によるポーラスSiOCH low-k膜の化学組成変化解析 尼崎 新平, 竹内 拓也, 竹田 圭吾, 石川 健治, 近藤 博基, 関根 誠, 堀 勝, 櫻井 典子, 林 久貴, 酒井 伊都子, 大岩 徳久SF6/O2プラズマを用いたSiエッチング機構II 林 俊雄, 石川 健治, 関根 誠, 堀 勝, 河野 明廣, 鄒 弘綱エッチング代替ガスの解離過程 近藤 祐介, 宮脇 雄大, 竹田 圭吾, 石川 健治, 近藤 博基, 林 俊雄, 関根 誠, 岡本 秀一, 堀 勝C3F6O代替ガスを用いた絶縁膜の高速エッチングとその機構解明(II) 阿部 祐介, 竹田 圭吾, 石川 健治, 近藤 博基, 関根 誠, 堀 勝薄膜太陽電池製造装置開発に向けたSiH4/H2プラズマにおける水素ラジカル表面損失確率計測 盧 翌, 陳 尚, 米谷 亮祐, 石川 健治, 近藤 博基, 竹田 圭吾, 関根 誠, 江川 孝志, 天野 浩, 節原 裕一, 堀 勝低損傷GaNエッチングのための塩素プラズマビーム表面相互作用と角度分解ＸＰＳによるその場解析 陳 尚, 盧 翌, 米谷 亮祐, 江川 孝志, 石川 健治, 近藤 博基, 加納 浩之, 徳田 豊, 関根 誠, 節原 裕一, 竹田 圭吾, 天野 浩, 堀 勝真空一貫プロセスによるGaNプラズマビームエッチング及び水素ラジカルダメージ層除去とその表界面反応機構の解明 竹内 拓也, 尼崎 新平, 竹田 圭吾, 石川 健治, 近藤 博基, 関根 誠, 堀 勝フルオロカーボン系エッチング種によるArFフォトレジスト表面改質の解明 鷲見 直也, 石川 健治, 河野 昭彦, 堀邊 英夫, 竹田 圭吾, 近藤 博基, 関根 誠, 堀 勝プラズマプロセス中における有機薄膜表面反応の実時間・その場観察電子スピン共鳴（ESR）解析 近藤 博基, 木野 徳重, 石川 健治, 関根 誠, 堀 勝プラズマ励起化学気相堆積法で成長したアモルファスカーボン膜の結晶構造に対するRFバイアス印加の効果 萩野 達也, 乾 裕俊, 加納 浩之, 石川 健治, 竹田 圭吾, 近藤 博基, 関根 誠, 堀 勝アルコール気液プラズマを用いたナノグラフェンの合成 村田 健一, 内藤 全晃, 平松 美根男, 高島 成剛, 近藤 博基, 堀 勝吸収分光法を用いた炭素含有ガスによるマイクロ波プラズマ中のラジカルの計測 井上 真里, 太田 貴之, 家苗 毅司, 伊藤 昌文, 加納 浩之, 山川 晃司, 堀 勝レーザ吸収分光法を用いたマイクロホローカソード放電中の準安定He原子の挙動 浦川 達也, 野村 卓也, 松崎 秀文, 山下 大輔, 内田 儀一郎, 古閑 一憲, 白谷 正治, 節原 裕一, 関根 誠, 堀 勝プラズマCVDで製膜したトレンチ基板上の炭素系薄膜の製膜速度の主放電電力依存性 古閑 一憲, 野村 卓也, 浦川 達也, 内田 儀一郎, 鎌滝 晋礼, 板垣 奈穂, 白谷 正治, 節原 裕一, 関根 誠, 堀 勝Deposition of carbon films on top surface of fine trenches at 100oC using a plasma anisotropic CVD method 太田 貴之, 森 拓海, 伊藤 昌文, 竹田 圭吾, 堀 勝Plasma Agriculture (V) - Fluorescence observation of spore of Penicillium digitatum during atmospheric pressure plasma treatment - Jagath Kularatne, 加納 浩之, 太田 貴之, 伊藤 昌文, 竹田 圭吾, 近藤 博基, 堀 勝Measuring Metal Elements in Wastewater Using Ar Atmospheric Pressure Plasma 趙 研, 節原 裕一, 竹中 弘祐, 白谷 正治, 関根 誠, 堀 勝プラズマを用いた無機／有機積層構造の形成初期過程における界面の化学結合状態分析 安田 幸司, 近藤 博基, 平松 美根男, 関根 誠, 堀 勝カーボンナノウォールの初期成長過程におけるナノグラフェン核発生の観察 神田 貴幸, 近藤 博基, 山川 晃治, 竹田 圭吾, 石川 健治, 平松 美根男, 関根 誠, 堀 勝単一カーボンナノウォールの架橋成長制御およびその電気的特性評価 堀 勝先端ナノ・マイクロプラズマ加工プロセッシング支援 竹田 圭吾, 近藤 博基, 石川 健治, 関根 誠, 堀 勝超高密度60Hz大気圧非平衡プラズマを用いた表面処理技術の開発 鷲見 直也, 石川 健治, 河野 昭彦, 堀邊 英夫, 竹田 圭吾, 近藤 博基, 関根 誠, 堀 勝水素ラジカル照射による有機薄膜表面処理の実時間・その場観察電子スピン共鳴（ESR）解析 海老塚 昇, 石川 健治, 近藤 博基, 堀 勝, A. Bianco, F. MariaZerbiすばる望遠鏡および次世代巨大望遠鏡用の新しい回折格子 K. Yasuda, H. Kondo, M. Hiramatsu*, M. Sekine, M. HoriChemical structures of initial growth surfaces of carbon nanowalls by angle-resolved X-ray photoelectron spectroscopy Y. Abe, S. Kawashima, K. Takeda, H. Kondo, K. Ishikawa, M. Sekine, M. Horiラジカル注入型プラズマ化学気相堆積法を用いた高結晶性・低欠陥密度微結晶シリコン薄膜の作製 K. Ishikawa, N. Sumi, A. Kono, H. Horibe, K. Takeda, H. Kondo, M. Sekine, M. HoriElectron-SpinResonance (ESR) Analyisis of Plasma-Surface Interaction T. Horaguchi, M. Hiramatsu, M. HoriFabrication of Aligned Carbon Nanotube Films with Self-Assembled Conical Tips and their Electron Field Emission Properties S. Mitsuguchi, M. Hiramatsu, H. Kondo, M. HoriGrowth of Carbon Nanowalls using Inductively Coupled Plasma-Enhanced Chemical Vapor Deposition on Carbon Fiber Paper Y. Nihashi, M. Hiramatsu, H. Kondo, M. HoriGrowth of Carbon Nanostructures Using Plasma-Enhanced Chemical Vapor Deposition Employing Camphor K. Cho, K. Takenaka, Y. Setsuhara, M. Shratani, M. Sekine, M. HoriInvestigation of chemical bonding steates at interface of Zn/organic materials for analysis of early stage of inorganic/organic hybrid multi-layer formation 萩野 達也, 加納 浩之, 石川 健治, 竹田 圭吾, 近藤 博基, 関根 誠, 堀 勝アルコール液中プラズマを用いたナノグラフェンの合成メカニズム 陸 雅, 福島 敦史, 阿部 祐介, 竹田 圭吾, 石川 健治, 近藤 博基, 関根 誠, 堀 勝水素ラジカル注入型プラズマ源を用いた微結晶シリコン成膜における欠陥密度の抑制効果 加藤 正規, 竹田 圭吾, 石川 健治, 近藤 博基, 関根 誠, 堀 勝, 三好 秀典, 久保田 雄介, 伊藤 仁10GHzマイクロ波スロット励起大気圧プラズマにおけるプラズマ生成と活性種の挙動に関する研究 盧 翌, 陳 尚, 米谷 亮祐, 石川 健治, 近藤 博基, 竹田 圭吾, 関根 誠, 江川 孝志, 天野 浩, 堀 勝高温エッチングにおける窒化ガリウム（GaN）の表面変性：角度分解X線光電子解析 米谷 亮祐, 陳 尚, 盧 翌, 竹田 圭吾, 石川 健治, 近藤 博基, 関根 誠, 江川 孝志, 天野 浩, 堀 勝高温における窒化ガリウム（GaN）のエッチング機構 A. Malinowski, 堀 勝, 関根 誠, 石川 健治, 近藤 博基, 山本 洋, 竹内 拓也, 鈴木 俊哉, L. Lukasiak, A. JakubowskiTime-dependent Radical Flux Analysis in ArF Photoresist Plasma Etching using Parallel Plate Structure 深沢 正永, 宮脇 雄大, 近藤 祐介, 竹田 圭吾, 石川 健治, 近藤 博基, 関根 誠, 南 正樹, 上澤 史且, 堀 勝, 辰巳 哲也SiNx:H膜エッチングに及ぼす紫外線の影響 陳 尚, 盧 翌, 米谷 亮祐, 竹田 圭吾, 石川 健治, 近藤 博基, 加納 浩之, 徳田 豊, 関根 誠, 江川 孝志, 天野 浩, 堀 勝GaNにおけるプラズマダメージの水素ラジカル修復 尼崎 新平, 竹内 拓也, 竹田 圭吾, 石川 健治, 近藤 博基, 関根 誠, 堀 勝, 櫻井 典子, 林 久貴, 酒井 伊都子, 大岩 徳久SF6/O2プラズマを用いたSiエッチング機構III 于 楽泳, 九鬼 淳, 竹田 圭吾, 近藤 博基, 石川 健治, 関根 誠, 堀 勝プラズマ励起気相堆積法で合成したアモルファスカーボン結晶構造解析 堀部 剛良, 三ツ口 真司, 平松 美根男, 近藤 博基, 関根 誠, 堀 勝超臨界流体を用いた酸化チタン微粒子のカーボン材料への担持 古室 達也, 竹田 圭吾, 石川 健治, 関根 誠, 大矢 欣伸, 近藤 博基, 堀 勝DCバイアス重畳二周波容量結合型プラズマの電子密度空間分布計測 宮脇 雄大, 近藤 祐介, 竹田 圭吾, 石川 健治, 山崎 敦代, 伊東 安曇, 松本 裕一, 関根 誠, 堀 勝C5HF7ガスを用いたSiO2高選択エッチング実現の機構解明 近藤 祐介, 宮脇 雄大, 竹田 圭吾, 石川 健治, 林 俊雄, 関根 誠, 堀 勝モデリングによるC3F6O プラズマ絶縁膜エッチング機構の解明 浅野 高平, 山本 洋, 宮脇 雄大, 竹田 圭吾, 近藤 博基, 石川 健治, 関根 誠, 堀 勝, 山崎 敦代, 伊藤 安曇, 松本 裕一C5HF7/O2/ArプラズマによるArfレジスト表面ラフネス発生抑制機構 (II) 鈴木 俊哉, 竹田 圭吾, 近藤 博基, 石川 健治, 節原 裕一, 白谷 正治, 関根 誠, 堀 勝有機材料の超微細エッチングにおける白金微粒子の側壁保護作用に関する研究 鷲見 直也, 石川 健治, 河野 昭彦, 堀邊 英夫, 竹田 圭吾, 近藤 博基, 関根 誠, 堀 勝プラズマプロセス中における有機薄膜表面反応の実時間・その場観察電子スピン共鳴（ESR）解析（2） 石川 健治, 井関 紗千子, 太田 貴之, 伊藤 昌文, 加納 浩之, 竹田 圭吾, 近藤 博基, 関根 誠, 堀 勝カビ胞子とプラズマの相互作用の電子スピン共鳴法による観察 Jagath Kularatne, 太田 貴之, 伊藤 昌文, 加納 浩之, 竹田 圭吾, 近藤 博基, 石川 健治, 堀 勝Ar Flow Rate Dependence of Emission Intensity of Metal Atoms in Atmospheric Pressure Atomization Plasma Fendong Jia, 竹田 圭吾, 石川 健治, 加納 浩之, 近藤 博基, 関根 誠, 堀 勝高密度60Hz大気圧プラズマ生成酸素原子絶対密度の空間分布 阿部 祐介, 竹田 圭吾, 石川 健治, 近藤 博基, 関根 誠, 堀 勝薄膜シリコン太陽電池プラズマプロセスにおけ水素ラジカル表面反応 福島 敦史, 阿部 祐介, 竹田 圭吾, 近藤 博基, 石川 健治, 関根 誠, 堀 勝SiH4/H2プラズマ化学気相堆積法における気相ラジカルとシリコン薄膜結晶性の関係性 竹内 拓也, 尼崎 新平, 竹田 圭吾, 石川 健治, 近藤 博基, 関根 誠, 堀 勝フルオロカーボン系エッチング種によるArFフォトレジスト表面改質の解明 (2) 平岡 丈弘, 海老塚 昇, 竹田 圭吾, 太田 貴之, 近藤 博基, 伊藤 昌文, 川瀬 晃道, 関根 誠, 堀 勝非平衡大気圧プラズマを用いたミドリカビ殺菌におけるテラヘルツ分光センシング 安田 幸司, 近藤 博基, 平松 美根男, 関根 誠, 堀 勝カーボンナノウォールの初期成長過程における表面元素組成および化学結合状態の変化 神田 貴幸, 近藤 博基, 山川 晃司, 竹田 圭吾, 石川 健治, 平松 美根男, 関根 誠, 堀 勝カーボンナノウォールの配向成長 下枝 弘尚, 近藤 博基, 石川 健治, 平松 美根男, 関根 誠, 堀 勝プラズマ化学気相堆積法によって成長したカーボンナノウォールの結晶構造に対する酸素ガス添加効果 近藤 博基, 下枝 弘尚, 石川 健治, 関根 誠, 堀 勝, 平松 美根男プラズマ化学気相堆積法によって成長したカーボンナノウォールの微細構造解析 九鬼 淳, 于 楽泳, 近藤 博基, 石川 健治, 関根 誠, 堀 勝プラズマ励起化学気相堆積法で成長したアモルファスカーボン膜の欠陥密度に対するRFバイアス印加の効果 渡邊 均, 近藤 博基, 平松 美根男, 関根 誠, 堀 勝大気圧プラズマ表面処理によるカーボンナノウォール表面の超親水性・超撥水性発現機構 趙 亨峻, 竹田 圭吾, 近藤 博基, 石川 健治, 関根 誠, 堀 勝CH4/H2プラズマを用いて成長したカーボンナノウォールにおける電気的特性 Kohei Asano, Hiroshi Yamamoto, Kenji Ishikawa, Keigo Takeda, Hiroki Kondo, Makoto Sekine, Masaru HoriIn-situ Analysis of Modification on Porous SiOCH During and After O2 Plasmas 堀 勝プラズマナノ科学技術が拓く未来 岩田 義幸, 坂本 一, 鷲見 直也, 竹田 圭吾, 堀 勝次世代高密度プリント配線板技術のための非平衝大気圧プラズマの応用研究 渡邊 均, 近藤 博基, 関根 誠, 堀 勝, 平松 美根男大気圧プラズマ処理によるカーボンナノウォール表面の超親水・超撥水発生機構 加藤 正規, 竹田 圭吾, 石川 健治, 近藤 博基, 関根 誠, 堀 勝, 豊田 浩孝, 三好 秀典, 久保田 雄介, 伊藤 仁H2/Ar混合ガスを用いた高密度非平衡大気圧プラズマによる酸化銅還元ドライプロセス 竹田 圭吾, 近藤 博基, 石川 健治, 関根 誠, 堀 勝非平衡大気圧H2/Arプラズマによる酸化銅還元メカニズム 太田 貴之, 堤 隆嘉, 伊藤 昌文, 平岡 丈弘, 竹田 圭吾, 堀 勝光干渉計を用いた非接触ウエハ温度・膜厚計測 阿部 祐介, 竹田 圭吾, 近藤 博基, 石川 健治, 関根 誠, 堀 勝SiH4/H2プラズマにおける水素多事狩る表面損失確率 村田 健一, 内藤 全晃, 平松 美根男, 高島 成剛, 近藤 博基, 堀 勝真空紫外吸収分光法を持ちたマイクロ波プラズマ中のC原子の密度計測 F. Jia, K. Takeda, K. Ishikawa, H. Kano, H. Kondo, M. Sekine, M. HoriAtom Behaivior of Ultrahigh Density 60 Hz Atmospheric Pressure Plasma under Ar ambient Conditions 鷲見 直也, 石川 健治, 河野 昭彦, 堀邊 英夫, 竹田 圭吾, 近藤 博基, 関根 誠, 堀 勝実時間・その場観察電子スピン共鳴（ESR）を用いた水素原子照射による有機薄膜表面処理メカニズムの解析 L. Yu, J. Kuki, K. Takeda, H. Kondo, K. ishikawa, M. Sekine, M. HoriCrystallographic Analysis of Amorphous Carbon Films Synthesized by Radical-injection Plasma-enhanced Chemical Vapor Deposition 趙 研, 竹中 弘裕, 節原 裕一, 白谷 正治, 関根 誠, 堀 勝次世代フレキシブルデバイスの作成プロセスに向けたプラズマ‐有機相互作用のナノ表面解析 陸 雅, 福島 敦史, 阿部 祐介, 竹田 圭吾, 石川 健治, 近藤 博基, 関根 誠, 堀 勝微結晶シリコン成膜における水素ラジカル注入型プラズマ源の特性 鈴木 俊哉, 竹田 圭吾, 近藤 博基, 石川 健治, 節原 裕一, 白谷 正治, 関根 誠, 堀 勝白金微粒子の側壁保護作用を用いた有機材料の超微細エッチング 近藤 祐介, 宮脇 雄大, 竹田 圭吾, 近藤 博基, 石川 健治, 林 俊雄, 関根 誠, 堀 勝C3F6/O2プラズマ中のイオン・ラジカルの生成機構 尼崎 新平, 竹内 拓也, 竹田 圭吾, 石川 健治, 近藤 博基, 関根 誠, 堀 勝SF6/O2プラズマを用いたSiエッチング機構 竹内 拓也, 尼崎 新平, 竹田 圭吾, 石川 健治, 近藤 博基, 関根 誠, 堀 勝フルオロカーボン系エッチング種によるArFフォトレジスト表面改質過程の解明 浅野 高平, 山本 洋, 竹田 圭吾, 近藤 博基, 石川 健治, 関根 誠, 堀 勝酸素プラズマによるポーラスSiOCH膜の構造変化機構 九鬼 淳, 于 楽泳, 近藤 博基, 石川 健治, 関根 誠, 堀 勝アルモファスカーボン膜の結晶構造及び血管密度に対するRFバイアス印加効果 堀部 剛良, 三ツ口 真司, 加納 浩之, 近藤 博基, 石川 健治, 平松 美根男, 関根 誠, 堀 勝超臨界流体を用いたカーボンナノウォール（CNWｓ）へのTiO2微粒子担持 三ツ口 真司, 堀部 剛良, 平松 美根男, 近藤 博基, 堀 勝燃料電池応用に向けたカーボンナノウォールの作製 安田 幸司, 近藤 博基, 平松 美根男, 関根 誠, 堀 勝カーボンナノウォール初期成長過程における結晶構造変化 趙 亨峻, 竹田 圭吾, 近藤 博基, 石川 健治, 関根 誠, 堀 勝CH4/H2プラズマを用いて成長したカーボンナノウォールにおける電気伝導度の温度依存性 神田 貴幸, 近藤 博基, 山川 晃司, 竹田 圭吾, 石川 健治, 平松 美根男, 関根 誠, 堀 勝配列カーボンナノウォールの作製 下枝 弘尚, 近藤 弘尚, 近藤 博基, 石川 健治, 平松 美根男, 関根 誠, 堀 勝カーボンナノウォールの結晶構造に対する酸素ラジカル照射効果 陳 尚, 盧 翌, 米谷 亮祐, 竹田 圭吾, 石川 健治, 近藤 博基, 関根 誠, 堀 勝水素ラジカルによるGaN中プラズマ誘導欠陥の不活性化 Y. Lu, S. Chen, R. Kometani, K. Ishikawa, H. Kondo, K. Takeda, M. Sekine, T. Egawa, H. Amano, M. HoriHigh Temperature N2 Plasma Induced Stoichiometric Modification In Etched GaN Surface Using Angle-resolved XPS Depth Profiling Analysis 米谷 亮祐, 陳 尚, 竹田 圭吾, 石川 健治, 近藤 博基, 関根 誠, 節原 裕一, 江川 孝志, 天野 浩, 堀 勝In-situX線光電子分光法によるGaNをプラズマビームの相互作用解明 萩野 達也, 加納 浩之, 石川 健治, 竹田 圭吾, 近藤 博基, 関根 誠, 堀 勝アルコール液中プラズマを用いたナノグラフェンの制御合成 渡邊 均, 近藤 博基, 関根 誠, 平松 美根男, 堀 勝大気圧プラズマ表面処理によるカーボンナノウォール表面の超親水・超撥水性出現機構 橋爪 博司, 太田 貴之, 伊藤 昌文, 賈 鳳東, 竹田 圭吾, 堀 勝ミドリカビのプラズマ殺菌における酸素ラジカルの効果 平岡 丈弘, 海老塚 昇, 竹田 圭吾, 太田 貴之, 近藤 博基, 石川 健治, 川瀬 晃道, 伊藤 昌文, 関根 誠, 堀 勝テラヘルツ時間領域分光法を用いた非平衡大気圧プラズマによるミドリカビ殺菌の評価 福島 敦史, 阿部 祐介, 竹田 圭吾, 近藤 博基, 石川 健治, 関根 誠, 堀 勝SiH4/H2プ ラズマ化学気相堆積法における気相ラジカルとシリコン薄膜の膜質との関係性 九鬼 淳, 近藤 博基, 関根 誠, 堀 勝アモルファスカーボン膜の光学的特性に対する成長温度の効果 渡邉 誠, 新井 祐, 河野 昭彦, 鷲見 直也, 石川 健治, 堀 勝, 堀邊 英夫加熱触媒体により生成した原子状水素を用いたPMMA 系ポリマーの除去 安田 幸司, 近藤 博基, 平松 美根男, 関根 誠, 堀 勝カーボンナノウォールの初期成長表面における化学構造の変化に関する研究 趙 亨峻, 竹田 圭吾, 近藤 博基, 石川 健治, 関根 誠, 堀 勝CH4/H2プラズマを用いて成長したカーボンナノウォールの結晶構造及び電気的特徴 橋爪 博司, 太田 貴之, 森 拓海, 伊藤 昌文, 竹田 圭吾, 石川 健治, 堀 勝低温大気圧プラズマとミドリカビ胞子の相互作用 古閑 一憲, 浦川 達也, 内田 儀一朗, 鎌滝 晋礼, 板垣 奈穂, 白谷 正治, 節原 裕一, 関根 誠, 堀 勝低温プラズマ異方性CVDを用いた微細とトレンチ上面への自己組織カーボンマスク形成 太田 貴之, 堤 隆嘉, 伊藤 昌文, 堀 勝光干渉計を用いたプラズマプロセス中の非接触ウエア温度モニタリング 加藤 正規, 竹田 圭吾, 石川 健治, 近藤 博基, 関根 誠, 堀 勝O2/Ar非平衡大気圧プラズマにおける活動週の3次元気相反応解析 浦川 達也, 松崎 秀文, 山下 大輔, 内田 儀一朗, 古閑 一憲, 白谷 正治, 節原 裕一, 関根 誠, 堀 勝水素原子原付プラズマCVD装置を用いた炭素薄膜の異方性製膜に対する基板バイアスの影響 内藤 全晃, 平松 美根男, 堀 勝マイクロ波プラズマCVD法を用いた銅基板へのグラフェン膜の作製 栗原 一彰, 石川 健治, 唐橋 一浩, 江利口 浩二プラズマプロセスを理解するには～電子スピン共鳴測定によるプラズマ表面相互作用 渡邊 均, 近藤 博基, 平松 美根男, 関根 誠, 堀 勝大気圧プラズマ表面処理によるカーボンナノウォール表面の超親水性の発現機構 神田 貴幸, 近藤 博基, 竹田 圭吾, 石川 健治, 関根 誠, 堀 勝, 山川 晃治, 平松 美根男カーボンナノウォールの低温二段階成長 堀部 剛良, 三ツ口 真司, 近藤 博基, 石川 健治, 加納 浩之, 平松 美根男, 関根 誠, 堀 勝超臨界流体を用いたTiO2 微粒子のカーボンナノウォール(CNWs) への超高密度担持と光触媒特性の評価