2006

1. 『新規エッチングガスを用いた半導体微細加工プロセス』
   化学工業、第57巻、第3号、pp. 55-58、2006年3月
   堀　勝、高橋　俊次
2. 精密シリコンスライスでフッ素系ガスプラズマ切断浮上
   ガスレビュー、　No. 614、p. 25、2006年12月15日号
   堀　勝

その他

1. 研究室紹介
   応用物理学会プラズマエレクトロニクス分科会会報、No. 45、2006年12月25日
   堀　勝

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