- 堀 勝、関根 誠
低誘電率(Low-k)材料のドライエッチング
プラズマ・核融合学会誌、第85巻第4号、pp.193-194、2009年4月
- 堀 勝
SiH4/H2プラズマによる高品質微結晶シリコンの低温形成
月間ディスプレイ、vol.15、No.8、pp.3-8、2009年8月
- 堀 勝
ラジカル制御プラズマとその応用
JOURNAL OF THE VACUUM SOCIETY OF JAPAN、Vol.52 NO.9、pp.491-497、2009年9月
- 堀 勝
A scientific look at plasma technology
SPOTLIGHT ON NAGOYA, p16, 2009年10月8日