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情報・ライフ・グリーンテクノロジーの革新のための

高度機能スマートナノプロセスとナノシステムに関する研究

 1.   革新的グリーンテクノロジー

ハイブリッドナノカーボン材料の創成とそれを用いた革新的な薄膜太陽電池の実現

薄膜Si太陽電池の超高性能化のための、高精度ラジカル制御SiH4/H2プラズマによる高品質微結晶シリコン薄膜低温形成技の確立

超臨界流体を用いたカーボンナノウォールへの超高密度白金ナノ微粒子担持プロセスの確立と、それを用いた固体高分子型燃料電池の高性能化・低コスト化の実現

単一橋架けカーボンナノウォールを用いた、3次元ナノグラフェントランジスタの開発

原子分解能その場観察によるカーボンナノウォールの初期成長機構の解明

 2.   先端プラズマプロセスが実現するバイオ・ライフテクノロジー(プラズマ医療、プラズマアグリカルチャ)

超高密度・高精度大気圧非平衡プラズマを用いた低負荷癌治療技術の確立

腹腔内プラズマ治療のためのカテーテル型プラズマ源の開発

先端プラズマ技術に基づくプラズマ滅菌技術の開発

アトマイゼーションによる水質検査技術、農産物内組成分析技術の構築

 3.   ナノエレクトロニクス

脱温暖化のための新規フルオロカーボンガスを用いた高速low-k膜エッチングプロセスの確立

原子・ラジカル・イオンビームによる表面反応素過程の解明

プラズマ中の電子の挙動・空間分布に関する研究(レーザートムソン散乱法を用いた電子温度・電子密度・電子エネルギー分布関数の高空間分解能技術の確立)

SF6/O2ガスを用いた高速SiエッチングプロセスにおけるFラジカル、Oラジカルの挙動の解明

超高密度ラジカルソースの開発と、それを用いたGaN高速MBE成長技術の開発(白色LEDの実現)

4.   大気圧非平衡プラズマ・液中プラズマを用いた表界面機能化プロセス・新機能材料合成

液中プラズマを用いた高品質ナノグラフェン材料の超高速合成技術の開発

超高密度非平衡大気圧リモートプラズマ源の開発とガラス表面洗浄プロセスの確立

非平衡大気圧プラズマによるアモルファスカーボン膜成長技術の確立

大気圧プラズマ中の粒子密度計測技術の確立・・・レーザー誘起蛍光法

 5.   自律型ナノプロセス装置(プラズマナビゲーションシステム)

自律型ナノエッチング装置の開発

低誘電率層間絶縁膜のダメージフリーアッシングプロセスに関する研究

ラジカル制御低誘電率膜超微細エッチング

デスクトップ型コンビナトリアルプラズマナノプロセス解析装置の創成

 6.   高精度プラズマ気相計測技術

超小型ラジカル絶対密度モニタリング装置の開発

赤外線、可視光、紫外線、真空紫外光および各種レーザーを駆使したプロセスインラインモニタリングシステムの構築

低コヒーレンス干渉計を用いた基板表面温度モニタリングシステムの開発

 

研究設備一覧

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