革新的グリーンテクノロジー

ハイブリッドナノカーボン材料の創成とそれを用いた革新的な薄膜太陽電池の実現
薄膜Si太陽電池の超高性能化のための、高精度ラジカル制御SiH4/H2プラズマによる高品質微結晶シリコン薄膜低温形成技の確立
超臨界流体を用いたカーボンナノウォールへの超高密度白金ナノ微粒子担持プロセスの確立と、それを用いた固体高分子型燃料電池の高性能化・低コスト化の実現
単一橋架けカーボンナノウォールを用いた、３次元ナノグラフェントランジスタの開発
原子分解能その場観察によるカーボンナノウォールの初期成長機構の解明

ナノエレクトロニクス

脱温暖化のための新規フルオロカーボンガスを用いた高速low-k膜エッチングプロセスの確立
原子・ラジカル・イオンビームによる表面反応素過程の解明
プラズマ中の電子の挙動・空間分布に関する研究（レーザートムソン散乱法を用いた電子温度・電子密度・電子エネルギー分布関数の高空間分解能技術の確立）
SF6/O2ガスを用いた高速SiエッチングプロセスにおけるFラジカル、Oラジカルの挙動の解明
超高密度ラジカルソースの開発と、それを用いたGaN高速MBE成長技術の開発（白色LEDの実現）