超小型ラジカルセンサー

自律型ナノアセンブリングシステム用超小型ラジカルセンサーの開発

目的

超小型原子状ラジカル絶対密度計測システムの開発

背景

これまでのプラズマによる"ものづくり"は、完成品を評価し、その結果をプラズマプロセスにフィードバックし、完全なものをつくり上げるという経験的な手法でなされてきました。しかし、今後の超微細ナノ加工の実現や新機能性ナノ材料の創製のためには、プラズマプロセスを担う各種粒子の絶対密度や基板温度、膜厚・構造・組成をリアルタイムで計測し、その計測結果をプラズマ装置へフィードバックし、最適プロセス条件のもとに行なわれなかればなりません。

この最適条件を常に装置が自分自身で考え、制御する装置が、自律型ナノアセンブリングシステムです。このシステムの「目」の役割を担う１つの技術がマイクロプラズマによる超小型ラジカルセンサーであり、このセンサーの更なる小型化、高機能化が必要不可欠です。