高精度プラズマ気相計測技術

超小型ラジカル絶対密度モニタリング装置の開発
赤外線、可視光、紫外線、真空紫外光および各種レーザーを駆使したプロセスインラインモニタリングシステムの構築
低コヒーレンス干渉計を用いた基板表面温度モニタリングシステムの開発

自律型ナノプロセス装置（プラズマナビゲーションシステム）

自律型ナノエッチング装置の開発
低誘電率層間絶縁膜のダメージフリーアッシングプロセスに関する研究
ラジカル制御低誘電率膜超微細エッチング
デスクトップ型コンビナトリアルプラズマナノプロセス解析装置の創成

大気圧非平衡プラズマ・液中プラズマを用いた表界面機能化プロセス・新機能材料合成

液中プラズマを用いた高品質ナノグラフェン材料の超高速合成技術の開発
超高密度非平衡大気圧リモートプラズマ源の開発とガラス表面洗浄プロセスの確立
非平衡大気圧プラズマによるアモルファスカーボン膜成長技術の確立
大気圧プラズマ中の粒子密度計測技術の確立・・・レーザー誘起蛍光法