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石川・田中研究室について
研究内容
プラズマバイオ
プラズマバイオ
先端プラズマプロセスが実現するバイオ・ライフテクノロジー(プラズマ医療、プラズマアグリカルチャ)
超高密度・高精度大気圧非平衡プラズマを用いた低負荷癌治療技術の確立
腹腔内プラズマ治療のためのカテーテル型プラズマ源の開発
先端プラズマ技術に基づくプラズマ滅菌技術の開発
アトマイゼーションによる水質検査技術、農産物内組成分析技術の構築
プラズマ科学
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プラズマバイオ
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ナノグラフェン
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カーボンナノウォール
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自律型ナノエッチング
アッシング(low-k)
ナノプロセス
コンビナトリアル
ラジカルセンサ
プラズマ診断
基板温度