プラズマプロセスの診断技術
低コヒーレンス干渉計を用いた基板温度モニター
この計測系はマイケルソン干渉計を基本構造とし、光源には干渉しにくい低コヒーレンス性のスーパールミネッセンスダイオード(SLD)光源を用いていま す。図1のように基板側の入射光は基板の裏面と表面で反射され、それぞれ異なった光路長の光となります。またリファレンス側は、ミラーを駆動させることに より、ミラーで反射される光の光路長が変化します。この基板側とリファレンス側の反射光の光路長がコヒーレント長の範囲内で一致するときに、干渉波形が得 られます。基板温度が上昇すると熱膨張と屈折率の変化から光路長が変化し、その変化量から基板温度が計測できます。 この計測方法を用いることで基板裏面に接触させるセンサとは異なり、プロセス中の基板表面の温度を正確に計測することができます。
図１ 計測システム