- 空間分布計測用装置
- ＸＰＳ装置
- 次世代エッチング装置(I-4100)
- UHFプラズマCVDシステム
- 地球環境調和型量子反応制御装置
- インラインモニタリング開発装置
- 電子ビーム励起プラズマ装置
- ICP装置
- プラズマ診断装置
- 赤外半導体レーザー吸収分光装置
- レーザ誘起蛍光装置
- 紫外リングレーザ吸収分光装置
- 質量分析装置
- 表面反応診断装置
- XPS、AES、RHEED
- 反射型フーリエ変換赤外半導体分光装置(FT-IR)
- 分光エリプソメトリー装置
- 分光光度計
- フェムト秒(fs)パルスレーザー(フェムトライト)
- 波長可変フェムト秒(fs)ソリトンパルス光源システム
- モード同期ピコ秒Nd:YAGレーザー