• 空間分布計測用装置
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  • 次世代エッチング装置(I-4100)
  • UHFプラズマCVDシステム
  • 地球環境調和型量子反応制御装置
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  • 電子ビーム励起プラズマ装置
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  • プラズマ診断装置
    • 赤外半導体レーザー吸収分光装置
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    • 質量分析装置
  • 表面反応診断装置
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    • 反射型フーリエ変換赤外半導体分光装置(FT-IR)
    • 分光エリプソメトリー装置
  • 分光光度計
  • フェムト秒(fs)パルスレーザー(フェムトライト)
  • 波長可変フェムト秒(fs)ソリトンパルス光源システム
  • モード同期ピコ秒Nd:YAGレーザー